实施方式涉及一种半导体存储装置。
背景技术:
1、已知有存储单元呈三维状排列的nand(not and,与非)型闪存。
技术实现思路
1、实施方式提供一种抑制了周边电路元件的不良的半导体存储装置。
2、实施方式的半导体存储装置包括:半导体衬底;控制电路,配置在所述半导体衬底上;存储单元阵列,配置在所述控制电路的上方,且具有呈三维配置的多个存储单元,由所述控制电路所控制;第1氮化物层,配置在所述控制电路与所述存储单元阵列之间;以及第2氮化物层,配置在所述控制电路与所述第1氮化物层之间。
1.一种半导体存储装置,具备:
2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中
8.一种半导体存储装置,具备:
9.根据权利要求8所述的半导体存储装置,其中
10.根据权利要求8所述的半导体存储装置,其中
11.根据权利要求8所述的半导体存储装置,其中
12.根据权利要求8所述的半导体存储装置,其中
13.一种半导体存储装置,具备:
14.根据权利要求13所述的半导体存储装置,其中
15.根据权利要求13所述的半导体存储装置,其中
16.根据权利要求13所述的半导体存储装置,其中
17.根据权利要求13所述的半导体存储装置,其中
18.一种半导体存储装置,具备:
19.根据权利要求18所述的半导体存储装置,其中
20.根据权利要求18所述的半导体存储装置,其中
21.根据权利要求18所述的半导体存储装置,其中
22.根据权利要求18所述的半导体存储装置,其中
23.根据权利要求18所述的半导体存储装置,其中
24.根据权利要求18所述的半导体存储装置,其中
25.一种半导体存储装置,具备:
26.根据权利要求25所述的半导体存储装置,其中
27.根据权利要求25所述的半导体存储装置,其中
28.根据权利要求25所述的半导体存储装置,其中
29.根据权利要求25所述的半导体存储装置,其中
30.一种半导体存储装置,具备:
31.根据权利要求30所述的半导体存储装置,其中
32.根据权利要求30所述的半导体存储装置,其中
33.根据权利要求30所述的半导体存储装置,其中
34.根据权利要求30所述的半导体存储装置,其中