本实用新型涉及金属化薄膜加工设备领域,特别涉及一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置。
背景技术:
需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,在镀膜工艺中需要运用到除尘机。在现有的中金属化薄膜镀膜用除尘装置有以下几点弊端:1、现有的金属化薄膜镀膜用除尘装置不易安装,安装过程繁琐不实用;2、现有的金属化薄膜镀膜用除尘装置大多不能适应不同规格的镀膜机,不具备普遍性,适应性差。
技术实现要素:
本实用新型的主要目的在于提供一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,包括除尘机,所述除尘机下端分别固定安装有前支架和后支架,且前支架和后支架以除尘机为中心呈前后对称分布,所述除尘机下端后部、后端中部和上端后部共同固定安装有夹板,所述前支架和后支架左右两端均穿插连接有滑轨,四个所述滑轨远离除尘机的一端分别固定连接有横向固定板,所述夹板后端下部设置有背挂装置,所述夹板后端上部螺栓连接有竖板,且竖板位于除尘机上方,所述竖板上端固定安装有纵向固定板,且竖板上端位于纵向固定板下端中部。
优选的,所述前支架和后支架之间固定安装有三个支撑板,且三个支撑板上端均与除尘机下端固定连接,所述竖板前端开有两组前后贯通的螺孔,所述夹板前端上部设置有一组螺栓,且螺栓与一组螺孔固定连接,所述横向固定板左端开有一组左右贯通的第一穿孔,所述纵向固定板上端开有一组上下贯通的第二穿孔。
优选的,所述前支架和后支架左端下部均开有左右贯通的滑动槽,所述前支架和后支架下端均开有限位槽,且限位槽与滑动槽相通,所述限位槽的长度小于滑动槽。
优选的,所述滑轨呈l字形,所述滑轨的长度等于滑动槽长度的一半。
优选的,所述背挂装置包括挂板和前圆盖,所述挂板前端左部和右部各开有两个前后贯通的第三穿孔,所述挂板前端中部分别开有大圆孔和小圆孔,且小圆孔位于大圆孔下方,所述大圆孔和小圆孔之间开有矩形孔,且矩形孔和大圆孔和小圆孔均相通,所述前圆盖前端与夹板后端下部固定连接,所述前圆盖后端固定安装有圆柱,且圆柱位于小圆孔内,所述圆柱后端固定安装有后圆盖。
优选的,所述前圆盖的直径等于后圆盖的直径,所述后圆盖的直径大于小圆孔的孔径,并小于大圆孔的孔径,所述圆柱的直径等于矩形孔的长度,且圆柱的宽度大于小圆孔的厚度。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
1、本实用新型一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置一般安装在真空仓内,首先固定好挂板和纵向固定板,然后移动整个装置,将夹板后的后圆盖穿过大圆孔,圆柱通过矩形槽到达小圆孔,将整个装置悬挂在挂板上,然后将夹板和竖板螺栓连接,最后拉动横向固定板,将横向固定板和真空仓两侧仓壁固定连接,整个装置安装方便,安装过程简单,安装牢固;
2、本实用新型一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置通过横向拉动横向固定板,横向固定板带动滑轨在滑动槽内移动,使得整个装置来适应不同规格的镀膜机,适应性强。
附图说明
图1为本实用新型一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置的细节结构示意图;
图3为本实用新型一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置的前支架剖切示意图;
图4为本实用新型一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置的背挂装置结构示意图。
图中:1、除尘机;2、前支架;3、后支架;4、夹板;5、滑轨;6、横向固定板;7、背挂装置;8、竖板;9、纵向固定板;21、滑动槽;22、限位槽;31、支撑板;41、螺栓;61、第一穿孔;81、螺孔;91、第二穿孔;71、第三穿孔;72、大圆孔;73、矩形孔;74、小圆孔;75、前圆盖;76、圆柱;77、后圆盖;78、挂板。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1-4所示,一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,包括除尘机1,除尘机1下端分别固定安装有前支架2和后支架3,且前支架2和后支架3以除尘机1为中心呈前后对称分布,除尘机1下端后部、后端中部和上端后部共同固定安装有夹板4,前支架2和后支架3左右两端均穿插连接有滑轨5,四个滑轨5远离除尘机1的一端分别固定连接有横向固定板6,夹板4后端下部设置有背挂装置7,夹板4后端上部螺栓连接有竖板8,且竖板8位于除尘机1上方,竖板8上端固定安装有纵向固定板9,且竖板8上端位于纵向固定板9下端中部。
前支架2和后支架3之间固定安装有三个支撑板31,且三个支撑板31上端均与除尘机1下端固定连接,增大和除尘机1的接触面,提高稳固性,竖板8前端开有两组前后贯通的螺孔81,夹板4前端上部设置有一组螺栓41,且螺栓41与一组螺孔81固定连接,横向固定板6左端开有一组左右贯通的第一穿孔61,纵向固定板9上端开有一组上下贯通的第二穿孔91,横向固定板6固定整个装置的水平位置,纵向固定板9固定整个装置的纵向位置,加强牢固性;前支架2和后支架3左端下部均开有左右贯通的滑动槽21,前支架2和后支架3下端均开有限位槽22,且限位槽22与滑动槽21相通,限位槽22的长度小于滑动槽21,滑轨5可以在滑动槽22内滑动;滑轨5呈l字形,防止滑轨5脱离滑动槽22,滑轨5的长度等于滑动槽21长度的一半,两个滑轨5不会碰触;背挂装置7包括挂板78和前圆盖75,挂板78前端左部和右部各开有两个前后贯通的第三穿孔71,挂板78前端中部分别开有大圆孔72和小圆孔74,且小圆孔74位于大圆孔72下方,大圆孔72和小圆孔74之间开有矩形孔73,且矩形孔73和大圆孔72和小圆孔74均相通,前圆盖75前端与夹板4后端下部固定连接,前圆盖75后端固定安装有圆柱76,且圆柱76位于小圆孔74内,圆柱76后端固定安装有后圆盖77,当圆柱76位于小圆孔74处时,前圆盖75和后圆盖77将圆柱76卡连在小圆孔76内;前圆盖75的直径等于后圆盖77的直径,后圆盖77的直径大于小圆孔74的孔径,并小于大圆孔72的孔径,圆柱76的直径等于矩形孔73的长度,且圆柱76的宽度大于小圆孔74的厚度,确保圆柱76可以卡死在小圆孔74内,不会脱离小圆孔74。
需要说明的是,本实用新型为一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,首先通过挂板78上的第三穿孔71和真空仓后仓壁螺栓连接,纵向固定板9通过第二穿孔91与真空仓顶部螺栓连接,然后移动整个装置,将圆柱76通过大圆孔72和矩形孔73到达小圆孔74,后圆盖77和前圆盖75将圆柱76卡在挂板78上,从而将整个装置悬挂在挂板78上,然后将夹板4通过螺栓41与竖板8中的螺孔81连接,最后拉动两个横向固定板6,使得两个横向固定板6分别和真空仓左右仓壁接触,通过横向固定板6上的第一穿孔61和仓壁进行螺栓连接,整个装置可以通过拉动横向固定板6来适应不同规格的真空仓,本实用新型中先对整个装置进行悬挂后进行后续的固定工作,使得安装工作更加简单和轻松,有利于金属化薄膜镀膜用除尘装置的安装。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
1.一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,包括除尘机(1),其特征在于:所述除尘机(1)下端分别固定安装有前支架(2)和后支架(3),且前支架(2)和后支架(3)以除尘机(1)为中心呈前后对称分布,所述除尘机(1)下端后部、后端中部和上端后部共同固定安装有夹板(4),所述前支架(2)和后支架(3)左右两端均穿插连接有滑轨(5),四个所述滑轨(5)远离除尘机(1)的一端分别固定连接有横向固定板(6),所述夹板(4)后端下部设置有背挂装置(7),所述夹板(4)后端上部螺栓连接有竖板(8),且竖板(8)位于除尘机(1)上方,所述竖板(8)上端固定安装有纵向固定板(9),且竖板(8)上端位于纵向固定板(9)下端中部。
2.根据权利要求1所述的一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,其特征在于:所述前支架(2)和后支架(3)之间固定安装有三个支撑板(31),且三个支撑板(31)上端均与除尘机(1)下端固定连接,所述竖板(8)前端开有两组前后贯通的螺孔(81),所述夹板(4)前端上部设置有一组螺栓(41),且螺栓(41)与一组螺孔(81)固定连接,所述横向固定板(6)左端开有一组左右贯通的第一穿孔(61),所述纵向固定板(9)上端开有一组上下贯通的第二穿孔(91)。
3.根据权利要求1所述的一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,其特征在于:所述前支架(2)和后支架(3)左端下部均开有左右贯通的滑动槽(21),所述前支架(2)和后支架(3)下端均开有限位槽(22),且限位槽(22)与滑动槽(21)相通,所述限位槽(22)的长度小于滑动槽(21)。
4.根据权利要求1所述的一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,其特征在于:所述滑轨(5)呈l字形,所述滑轨(5)的长度等于滑动槽(21)长度的一半。
5.根据权利要求1所述的一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,其特征在于:所述背挂装置(7)包括挂板(78)和前圆盖(75),所述挂板(78)前端左部和右部各开有两个前后贯通的第三穿孔(71),所述挂板(78)前端中部分别开有大圆孔(72)和小圆孔(74),且小圆孔(74)位于大圆孔(72)下方,所述大圆孔(72)和小圆孔(74)之间开有矩形孔(73),且矩形孔(73)和大圆孔(72)和小圆孔(74)均相通,所述前圆盖(75)前端与夹板(4)后端下部固定连接,所述前圆盖(75)后端固定安装有圆柱(76),且圆柱(76)位于小圆孔(74)内,所述圆柱(76)后端固定安装有后圆盖(77)。
6.根据权利要求5所述的一种便于安装的金属化薄膜镀膜用除尘装置,其特征在于:所述前圆盖(75)的直径等于后圆盖(77)的直径,所述后圆盖(77)的直径大于小圆孔(74)的孔径,并小于大圆孔(72)的孔径,所述圆柱(76)的直径等于矩形孔(73)的长度,且圆柱(76)的宽度大于小圆孔(74)的厚度。
技术总结