本实用新型属于蚀刻生产技术领域，更具体地说，是涉及一种蚀刻预处理装置。
背景技术：
金属蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(weightreduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，金属蚀刻更是不可或缺的技术。
不论是铜、铝、不锈钢、镍片等，在材料商生产出金属料材后，有的会在表面涂一层防锈油，有的只表面附一层保护膜，如此对产品表面可以减少短时间内表面氧化，但是在上油墨之前若不清洗去氧化与除油，会严重影响油墨的附着力，进而影响蚀刻效果。另外，在金属原件上还可能会有氧化层的存在，这是由于金属表面在加工、运输或储存过程中与空气中的氧、硫、水分等接触，容易生成氧化膜或锈层，如果在蚀刻前不将锈层或膜层彻底清除，就会影响蚀刻的效果和质量，不需蚀刻部位的防护层质量不保证，蚀刻部位的表面由于有氧化膜的阻碍，不能充分与蚀刻溶液接触，影响金属溶解的速度和蚀刻表面的均匀度。
现有蚀刻前的清洗过程主要依靠操作人员手工完成，清洗效率较低。劳动强度较大，且清洗质量参差不齐，影响了蚀刻生产的整体效率。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种蚀刻预处理装置，旨在解决现有技术中存在的蚀刻前清洗过程主要通过手工完成，导致劳动强度大，清洗效率低的技术问题。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种蚀刻预处理装置，包括：
第一清理单元，用于清理工件表面油污；
第二清理单元，用于清理工件表面氧化层；以及
转运单元，用于将工件从所述第一清理单元转运至所述第二清理单元；
所述第一清理单元包括：
第一传送模块，用于沿第一路径传送工件；
第一护罩，罩设于所述第一传送模块上方；
第一喷淋模块，用于向工件喷淋微蚀剂；
第二喷淋模块，用于向工件喷淋清水；
透明观察窗，设于所述第一护罩侧壁上，且与所述第一护罩活动连接；
第一烘干模块，用于烘干工件；以及
第一液池，设于所述第一传送模块下方，用于收集所述第一喷淋模块和所述第二喷淋模块喷出的液体；
所述第一喷淋模块、所述第二喷淋模块、所述透明观察窗和所述第一烘干模块于所述第一护罩内沿所述第一路径分布。
作为本申请另一实施例，所述第一护罩的进口和出口均盖设有柔性帘，所述第一护罩上部设有第一排气口，所述第一排气口处设有第一抽吸过滤组件。
作为本申请另一实施例，所述第一抽吸过滤组件包括：
缓冲筒，底端与所述第一排气口连通，所述缓冲筒的内径从下至向逐渐增大；
过滤盒，所述过滤盒设于所述缓冲筒的顶部，所述过滤盒的底部开口与所述缓冲筒连通，所述过滤盒内部填充有过滤填料；以及
抽气泵，连接于所述过滤盒顶部开口处。
作为本申请另一实施例，所述第一抽吸过滤组件还包括：
第一分散板，设于所述缓冲筒中部，所述第一分散板上设有第一分散孔，所述第一分散孔为弧形孔；以及
第二分散板，设于所述缓冲筒上部，所述第二分散板上设有第二分散孔，所述第二分散孔为圆孔；
所述第一分散板和所述第二分散板的板面垂直于所述缓冲筒的中轴。
作为本申请另一实施例，所述第二清理单元包括：
第二传送模块，用于沿第二路径传送工件；
第二护罩，罩设于所述第二传送模块上方；
第二液池，设于所述第二传送模块下方，用于容纳用于除去氧化层的药剂，所述第二传送模块用于将工件传送至用于除去氧化层的药剂中浸泡，并将浸泡完成的工件传送出所述第二液池；
第三喷淋模块，用于向工件喷淋清水；
第二烘干模块，用于烘干工件；以及
第三液池，设于所述第二传送模块下方，用于收集第三喷淋模块喷出的液体；
所述第二液池、所述第三喷淋模块和所述第二烘干模块于所述第二护罩内沿所述第二路径分布。
作为本申请另一实施例，所述第一传送模块和所述第二传送模块均包括传送轮和传送皮带，所述传送轮包括：
轮主体；以及
皮带支撑环，分别设于所述轮主体的轴向两端，所述皮带支撑环的外周面设有用于容纳所述传送皮带的皮带定位环槽，所述皮带定位环槽的内径大于所述轮主体的外径；
相邻两个传送皮带的内缘间距不小于工件的宽度。
作为本申请另一实施例，所述第一喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第一喷淋件，所述第一喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；
所述第二喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第二喷淋件，所述第二喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；
所述第一烘干模块包括两个沿上下方向分布的第一烘干件，所述第一烘干件分别从上下两侧对工件进行吹风烘干；
所述第三喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第三喷淋件，所述第三喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；
所述第二烘干模块包括两个沿上下方向分布的第二烘干件，所述第二烘干件分别从上下两侧对工件进行吹风烘干。
作为本申请另一实施例，所述第一喷淋模块和所述第二喷淋模块之间设有第一感应器，所述第二喷淋模块和所述第一烘干模块之间设有第二感应器，所述第二液池和所述第三喷淋模块之间设有第四感应器；
所述第一感应器用于感测工件是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制所述第二喷淋模块开启，所述第二感应器用于感测工件是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制所述第一烘干模块开启，所述第四感应器用于感测工件是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制所述第三喷淋模块开启。
作为本申请另一实施例，所述第二护罩的进口和出口均盖设有柔性帘，所述第二护罩上部设有第二排气口，所述第二排气口处设有第二抽吸过滤组件。
作为本申请另一实施例，所述转运单元为转运小车，所述转运小车包括：
底架，所述底架上设有行走轮；
竖向架，设于所述底架一侧；
承载板，多个所述承载板沿竖直方向分布，且分别与所述竖向架沿上下方向滑动配合；
链条传动件，纵向设于所述竖向架上，多个所述承载板分别与所述链条传动件的链条固接，且相邻的所述承载板的间距均相同。
本实用新型提供的蚀刻预处理装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型蚀刻预处理装置具有用于除油的第一清理单元、用于除去氧化层的第二清理单元以及转运单元，在使用时只需将工件逐一摆放至第一传送模块的一端，随着第一传送模块的运行依次经过第一喷淋模块喷淋微蚀剂(酸性)与表面油污进行反应，经第二喷淋模块喷水洗净污物；随后，操作人员从透明观察窗处观察微蚀清洗的效果，也可打开透明观察窗观察，微蚀清洗不理想的话可做其他处理，例如重新经过第一喷淋模块的喷淋；经检测清理到位的工件经第一烘干模块烘干后，可从第一传送模块上被转运至转运单元，再进行下一步的除去氧化层的清洗过程；第一清理单元产生的废液全由第一液池集中收集，方便后续集中处理。本实用新型的蚀刻装置大大减少了人工参与微蚀清洗的步骤，在很大程度上降低了操作人员的劳动强度，同时能够保证微蚀剂的可靠性，清洗质量得到保证，提高了蚀刻生产整体的生产效率；另外，第一护罩起到了防止清洗过程中产生的气体溢出的现象，第一液池也集中收集了清洗产生的液体，清洗过程对生产环境的影响很小，有利于生产环境的保护。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例采用的第一清理单元的结构示意图；
图2为本实用新型实施例采用的第一抽吸过滤组件的结构示意图；
图3为图2中第一分散板的俯视结构示意图；
图4为图2中第二分散板的俯视结构示意图；
图5为本实用新型实施例采用的第二清理单元的结构示意图；
图6为图1中第一传送模块的右视结构剖视图；
图7为本实用新型实施例采用的传送皮带的工作原理示意图；
图8为本实用新型实施例采用的转运单元的结构示意图。
图中：1、第一传送模块；2、第一护罩；3、第一喷淋模块；301、第一喷淋件；4、第二喷淋模块；401、第二喷淋件；6、第一烘干模块；601、第一烘干件；7、第一液池；8、工件；9、透明观察窗；10、柔性帘；11、第一抽吸过滤组件；1101、缓冲筒；1102、过滤盒；1103、抽气泵；1104、过滤填料；1105、第一分散板；1106、第二分散板；1107、第一分散孔；1108、第二分散孔；12、第二传送模块；13、第二护罩；14、第二液池；15、第三喷淋模块；1501、第三喷淋件；16、第二烘干模块；1601、第二烘干件；17、第三液池；18、轮主体；19、皮带支撑环；20、皮带定位环槽；21、卡接部；22、限位部；23、支撑部；24、第一感应器；25、第二感应器；27、第四感应器；28、第二抽吸过滤组件；29、底架；30、竖向架；31、承载板；32、链条传动件；33、行走轮。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
请一并参阅图1，现对本实用新型提供的蚀刻预处理装置进行说明。所述蚀刻预处理装置，包括第一清理单元、第二清理单元和转运单元，第一清理单元用于清理工件8表面油污，第二清理单元用于清理工件8表面氧化层，转运单元用于将工件8从第一清理单元转运至第二清理单元。
第一清理单元包括第一传送模块1、第一护罩2、第一喷淋模块3、第二喷淋模块4、透明观察窗9、第一烘干模块6和第一液池7；第一传送模1块用于沿第一路径传送工件，第一护罩2罩设于第一传送模块1上方，第一喷淋模块3用于向工件8喷淋微蚀剂，第二喷淋模块4用于向工件8喷淋清水，第一护罩2侧壁上设有与第一护罩1活动连接的透明观察窗9，第一烘干模块6用于烘干工件8，第一液池7设于第一传送模块1下方，用于收集第一喷淋模块3和第二喷淋模块4喷出的液体；第一喷淋模块3、第二喷淋模块4、透明观察窗9和第一烘干模块6于第一护罩2内沿第一路径分布。
与现有技术相比，本实用新型蚀刻预处理装置具有用于除油的第一清理单元、用于除去氧化层的第二清理单元以及转运单元，在使用时只需将工件8逐一摆放至第一传送模块1的一端，随着第一传送模块1的运行依次经过第一喷淋模块3喷淋微蚀剂(酸性)与表面油污进行反应，经第二喷淋模块4喷水洗净污物；随后，操作人员从透明观察窗9处观察微蚀清洗的效果，也可打开透明观察窗观察，微蚀清洗不理想的话可做其他处理，例如重新经过第一喷淋模块3的喷淋；经检测清理到位的工件经第一烘干模块6烘干后，可从第一传送模块1上被转运至转运单元，再进行下一步的除去氧化层的清洗过程；第一清理单元产生的废液全由第一液池集中收集，方便后续集中处理。
本实用新型的蚀刻装置大大减少了人工参与微蚀清洗的步骤，在很大程度上降低了操作人员的劳动强度，同时能够保证微蚀剂的可靠性，清洗质量得到保证，提高了蚀刻生产整体的生产效率；另外，第一护罩2起到了防止清洗过程中产生的气体溢出的现象，第一液池7也集中收集了清洗产生的液体，清洗过程对生产环境的影响很小，有利于生产环境的保护。
作为本实用新型提供的蚀刻预处理装置的一种具体实施方式，请参阅图1，第一护罩2的进口和出口均盖设有柔性帘10，第一护罩2上部设有第一排气口，第一排气口处设有第一抽吸过滤组件11。第一护罩2形成一个相对密闭的空间，柔性帘10对该空间的进出口起到密封覆盖的作用，同时不影响工件8的进出，进而清洗过程中产生的气体不易挥散到外界环境中，而是从第一排气口处经第一抽吸过滤组件11过滤后排出，排出的气体不影响生产环境。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图1至图4，第一抽吸过滤组件11包括缓冲筒1101、过滤盒1102和抽气泵1103，缓冲筒1101底端与第一排气口连通，缓冲筒1101的内径从下至向逐渐增大，过滤盒1102设于缓冲筒1101的顶部，过滤盒1102的底部开口与缓冲筒1101连通，过滤盒1102内部填充有过滤填料1104，抽气泵1103连接于过滤盒1102顶部开口处。当气体从第一排气口进入缓冲筒1101时，由于缓冲筒1101内腔空间较大，气体流速放缓，转而向四周扩散，气体与过滤盒1102中过滤填料1104的底面能够充分接触，而不是仅仅经过过滤填料1104底面某一区域进行过滤，保证过滤填料1104各个部分均能够充分与气体接触，延长过滤填料1104整体的使用寿命。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，参阅图2至图4，第一抽吸过滤组件11还包括第一分散板1105和第二分散板1106，第一分散板1105设于缓冲筒1101中部，第一分散板1105上设有第一分散孔1107，第一分散孔1107为弧形孔；第二分散板1106设于缓冲筒1101上部，第二分散板1106上设有第二分散孔1108，第二分散孔1108为圆孔；第一分散板1105和第二分散板1106的板面垂直于缓冲筒1101的中轴。气体经第一分散板1105上较大的第一分散孔1107进行初步分散，再经过较为细小的第二分散孔1108进一步分散，充分缓和了气体流速，增加了气体与过滤填料1104底面的接触面积。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图5，第二清理单元包括第二传送模块12、第二护罩13、第二液池14、第三喷淋模块15、第二烘干模块16和第三液池17；第二传送模块12用于沿第二路径传送工件8；第二护罩13罩设于第二传送模块12上方；第二液池14设于第二传送模块12下方，用于容纳用于除去氧化层的药剂，第二传送模块12用于将工件8传送至用于除去氧化层的药剂中浸泡，并将浸泡完成的工件传送出第二液池14；第三喷淋模块15用于向工件8喷淋清水；第二烘干模块16用于烘干工件8；第三液池17设于第二传送模块12下方，用于收集第三喷淋模块15喷出的液体；第二液池14、第三喷淋模块15和第二烘干模块16于第二护罩13内沿第二路径分布。其中，第二路径为非直线路径，工件在浸泡过程中第二传送模块12可处于停止运行状态。
在使用时只需将工件8逐一摆放至第二传送模块12的一端，随着第二传送模块12的运行依次经过第二液池14中除氧化层药剂的浸泡，经第三喷淋模块15喷水洗净污物，经第二烘干模块16烘干后，可从第二传送模块12上被转运至转运单元，再进行下一步的处理过程；第三喷淋模块15产生的废液全由第三液池17集中收集，方便后续集中处理。大大减少了人工参与除锈清洗的步骤，在很大程度上降低了操作人员的劳动强度，同时能够保证清洗的可靠性，清洗质量得到保证，提高了蚀刻生产整体的生产效率；另外，第二护罩13起到了防止清洗过程中产生的气体溢出的现象，第三液池17也集中收集了清洗产生的液体，清洗过程对生产环境的影响很小，有利于生产环境的保护。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图1及图5，第一喷淋模块3包括两个沿上下方向分布的第一喷淋件301，第一喷淋件301分别从上下两侧对工件进行喷淋；第二喷淋模块4包括两个沿上下方向分布的第二喷淋件401，第二喷淋件401分别从上下两侧对工件8进行喷淋；第一烘干模块6包括两个沿上下方向分布的第一烘干件601，第一烘干件601分别从上下两侧对工件8进行吹风烘干；第三喷淋模块15包括两个沿上下方向分布的第三喷淋件1501，第三喷淋件1501分别从上下两侧对工件8进行喷淋；第二烘干模块16包括两个沿上下方向分布的第二烘干件1601，第二烘干件1601分别从上下两侧对工件8进行吹风烘干。喷淋和烘干均从工件上下两侧进行，提高喷淋清洗效率以及烘干效率，进而提高整体生产效率。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图1、图5至图7，第一传送模块1和第二传送模块12均包括传送轮和传送皮带，传送轮包括轮主体18和皮带支撑环19，皮带支撑环19分别设于轮主体18的轴向两端，皮带支撑环19的外周面设有用于容纳传送皮带的皮带定位环槽20，皮带定位环槽20的内径大于轮主体18的外径；相邻两个传送皮带的内缘间距不小于工件的宽度。两个传送皮带间隔设置，从工件的两侧对工件进行支撑，不仅提供了有效的支撑，还方便向工件上下两侧同时喷淋液体，使液体比较充分的接触工件。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图6及图7，传送皮带包括卡接部21、限位部22和支撑部23，卡接部21与皮带定位环槽20卡接配合，限位部22抵接于皮带定位环槽20的外端，防止工件8接触到皮带支撑环19，支撑部23为截面尺寸很小的支撑凸条，在最大程度上减小了传送皮带与工件8的接触面积，使得微蚀剂和除氧化层药剂能充分与工件8表面接触。
进一步地，支撑部23外端面为弧面，使得工件8与支撑部23的接触极为接近线性接触。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图1及图5，第一喷淋模块3和第二喷淋模块4之间设有第一感应器24，第二喷淋模块4和第一烘干模块6之间设有第二感应器25，第二液池14和第三喷淋模块15之间设有第四感应器27。
第一感应器24用于感测工件8是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制第二喷淋模块4开启，第二感应器25用于感测工件8是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制第一烘干模块6开启，第四感应器27用于感测工件8是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制第三喷淋模块15开启。通过在不同的工序前设置不同的感应器，提前感知工件是否到达，提高了装置的自动化运行程度，避免人工观察操控。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图5，第二护罩13的进口和出口均盖设有柔性帘10，第二护罩12上部设有第二排气口，第二排气口处设有第二抽吸过滤组件28，其与第一抽吸过滤组件11的结构类似，在此不再赘述。第二护罩13形成一个相对密闭的空间，柔性帘10对该空间的进出口起到密封覆盖的作用，同时不影响工件8的进出，进而清洗过程中产生的气体不易挥散到外界环境中，而是从第一排气口处经第二抽吸过滤组件28过滤后排出，排出的气体不影响生产环境。
作为本实用新型实施例的一种具体实施方式，请参阅图8，转运单元为转运小车，转运小车包括底架29、竖向架30、承载板31和链条传动件32；底架29上设有行走轮33；竖向架30设于底架29一侧；多个承载板31沿竖直方向分布，且分别与竖向架30沿上下方向滑动配合；链条传动件32纵向设于竖向架上，多个承载板31分别与链条传动件32的链条固接，且相邻的承载板31的间距均相同。在使用时，操作人员先将最下方的承载板31与第一传送模块1或第二传送模块12的出件端对接，可通过手工将工件逐一摆放至承载板31上；当一个承载板31被摆满后，链条传动件32控制承载板31下降，使下面的倒数第二个承载板31与第一传送模块1或第二传送模块12的出件端对接，如此持续，直至转运小车上所有的承载板31均摆满工件；操作人员可将摆满工件的小车推送(或通过遥控行走轮驱动机构)将工件转运至指定位置。其使用方便，便于工件的转运，降低了操作人员的劳动强度。
本实施方式中，链条传动件32的驱动电机设于竖向架30的顶部。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.蚀刻预处理装置，其特征在于，包括：
第一清理单元，用于清理工件表面油污；
第二清理单元，用于清理工件表面氧化层；以及
转运单元，用于将工件从所述第一清理单元转运至所述第二清理单元；
所述第一清理单元包括：
第一传送模块，用于沿第一路径传送工件；
第一护罩，罩设于所述第一传送模块上方；
第一喷淋模块，用于向工件喷淋微蚀剂；
第二喷淋模块，用于向工件喷淋清水；
透明观察窗，设于所述第一护罩侧壁上，且与所述第一护罩活动连接；
第一烘干模块，用于烘干工件；以及
第一液池，设于所述第一传送模块下方，用于收集所述第一喷淋模块和所述第二喷淋模块喷出的液体；
所述第一喷淋模块、所述第二喷淋模块、所述透明观察窗和所述第一烘干模块于所述第一护罩内沿所述第一路径分布。
2.如权利要求1所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一护罩的进口和出口均盖设有柔性帘，所述第一护罩上部设有第一排气口，所述第一排气口处设有第一抽吸过滤组件。
3.如权利要求2所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一抽吸过滤组件包括：
缓冲筒，底端与所述第一排气口连通，所述缓冲筒的内径从下至向逐渐增大；
过滤盒，所述过滤盒设于所述缓冲筒的顶部，所述过滤盒的底部开口与所述缓冲筒连通，所述过滤盒内部填充有过滤填料；以及
抽气泵，连接于所述过滤盒顶部开口处。
4.如权利要求3所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一抽吸过滤组件还包括：
第一分散板，设于所述缓冲筒中部，所述第一分散板上设有第一分散孔，所述第一分散孔为弧形孔；以及
第二分散板，设于所述缓冲筒上部，所述第二分散板上设有第二分散孔，所述第二分散孔为圆孔；
所述第一分散板和所述第二分散板的板面垂直于所述缓冲筒的中轴。
5.如权利要求1所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第二清理单元包括：
第二传送模块，用于沿第二路径传送工件；
第二护罩，罩设于所述第二传送模块上方；
第二液池，设于所述第二传送模块下方，用于容纳用于除去氧化层的药剂，所述第二传送模块用于将工件传送至用于除去氧化层的药剂中浸泡，并将浸泡完成的工件传送出所述第二液池；
第三喷淋模块，用于向工件喷淋清水；
第二烘干模块，用于烘干工件；以及
第三液池，设于所述第二传送模块下方，用于收集第三喷淋模块喷出的液体；
所述第二液池、所述第三喷淋模块和所述第二烘干模块于所述第二护罩内沿所述第二路径分布。
6.如权利要求5所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一传送模块和所述第二传送模块均包括传送轮和传送皮带，所述传送轮包括：
轮主体；以及
皮带支撑环，分别设于所述轮主体的轴向两端，所述皮带支撑环的外周面设有用于容纳所述传送皮带的皮带定位环槽，所述皮带定位环槽的内径大于所述轮主体的外径；
相邻两个传送皮带的内缘间距不小于工件的宽度。
7.如权利要求6所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第一喷淋件，所述第一喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；
所述第二喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第二喷淋件，所述第二喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；
所述第一烘干模块包括两个沿上下方向分布的第一烘干件，所述第一烘干件分别从上下两侧对工件进行吹风烘干；
所述第三喷淋模块包括两个沿上下方向分布的第三喷淋件，所述第三喷淋件分别从上下两侧对工件进行喷淋；
所述第二烘干模块包括两个沿上下方向分布的第二烘干件，所述第二烘干件分别从上下两侧对工件进行吹风烘干。
8.如权利要求6所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第一喷淋模块和所述第二喷淋模块之间设有第一感应器，所述第二喷淋模块和所述第一烘干模块之间设有第二感应器，所述第二液池和所述第三喷淋模块之间设有第四感应器；
所述第一感应器用于感测工件是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制所述第二喷淋模块开启，所述第二感应器用于感测工件是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制所述第一烘干模块开启，所述第四感应器用于感测工件是否到达预设位置并在工件到达预设位置后控制所述第三喷淋模块开启。
9.如权利要求5所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述第二护罩的进口和出口均盖设有柔性帘，所述第二护罩上部设有第二排气口，所述第二排气口处设有第二抽吸过滤组件。
10.如权利要求1所述的蚀刻预处理装置，其特征在于，所述转运单元为转运小车，所述转运小车包括：
底架，所述底架上设有行走轮；
竖向架，设于所述底架一侧；
承载板，多个所述承载板沿竖直方向分布，且分别与所述竖向架沿上下方向滑动配合；
链条传动件，纵向设于所述竖向架上，多个所述承载板分别与所述链条传动件的链条固接，且相邻的所述承载板的间距均相同。
技术总结