本实用新型涉及单晶硅加工设备技术领域,尤其涉及一种换热装置。
背景技术:
着单晶硅的生产技术、加工技术的发展,目前的单晶硅逐步向着300毫米以上大直径材料发展,且缺陷含量以及杂志含量更低,材料分布更加均匀,且生产成本不断降低、效率更高。目前单晶硅的生长技术有两种,区熔法和直拉法,其中直拉法是目前普遍的采用的方法,在直拉法制造单晶硅时,由于单晶炉所使用的换热器需要随着热场的尺寸增大而增大,从而导致更换的换热器因尺寸问题无法使用。
技术实现要素:
有鉴于此,本实用新型实施例提供一种换热装置,主要目的是提供一种能够适应热场的尺寸变化的换热装置。
为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:
本实用新型实施例提供了一种换热装置,该装置包括:
支撑部件,所述支撑部件包括支撑环和多个支撑架,多个所述支撑架均匀设置在所述支撑环的周围,并且固定连接于所述支撑环;
换热部件,所述换热部件包括水冷屏、进水管、排水管和连接盘管,所述水冷屏设置在所述支撑环的上部,所述进水管的一端连接于所述水冷屏,另一端连接于所述连接盘管,所述排水管的一端连接于所述水冷屏,另一端连接于所述连接盘管,所述连接盘管固定连接于每个所述支撑架。
进一步的,每个所述支撑架包括底座、顶座和连接杆,所述底座的一端连接于所述支撑环的边缘,另一端连接于所述连接杆的一端,所述顶座连接于所述连接杆的另一端。
进一步的,每个所述支撑架还包括第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆的一端连接于所述底座,另一端连接于所述连接杆,所述第二支撑杆的一端连接于所述顶座,另一端连接于所述连接杆。
进一步的,所述底座垂直于所述连接杆,所述顶座垂直于所述连接杆。
进一步的,所述支撑部件还包括支撑管,所述支撑管的一端固定连接于所述连接盘管,另一端固定连接于所述水冷屏的边缘。
进一步的,所述连接盘管具有第一管道,所述第一管道设置在所述连接盘管的中间位置,所述第一管道的一端与所述进水管相互连通,另一端与所述排水管相互连通。
进一步的,所述支撑管包括第一支撑管和第二支撑管,所述第一支撑管和所述第二支撑管相对设置,所述进水管和所述排水管相对设置,并且,所述进水管和所述排水管位于所述第一支撑管和所述第二支撑管之间。
进一步的,所述水冷屏包括第一外壁和第一内壁,所述第一内壁设置在所述第一外壁的内侧,所述第一外壁和所述第一内壁之间具有间隔,所述间隔内设置隔板,所述隔板将所述间隔分隔为第一通道和第二通道。
进一步的,所述第一内壁的中部具有第一空腔,所述第一通道的一端连接于所述进水管,另一端与所述第一空腔连通,所述第二通道的一端连接于所述排水管,另一端与所述第一空腔相互连通。
与现有技术相比,本实用新型具有如下技术效果:
本实用新型实施例提供的技术方案中,支撑部件的作用是支撑换热部件,支撑部件包括支撑环和多个支撑架,多个支撑架均匀设置在支撑环的周围,并且固定连接于支撑环;换热部件的作用是对单晶炉进行循环换热,换热部件包括水冷屏、进水管、排水管和连接盘管,水冷屏设置在支撑环的上部,进水管的一端连接于水冷屏,另一端连接于连接盘管,排水管的一端连接于水冷屏,另一端连接于连接盘管,连接盘管固定连接于每个支撑架,相对于现有技术,换热器需要随着热场的尺寸增大而增大,从而导致更换的换热器因尺寸问题无法使用,本技术方案中,通过在换热部件的下部设置支撑部件,支撑环设置在支撑部件的中间位置,再将水冷屏放置在支撑环上,使得水冷屏位于中间位置,并且,通过多个支撑架对连接盘管进行支撑,使得换热部件能够在不改变尺寸的情况下,支撑部件能够根据热场的增大而增大,从而不需要改变换热部件尺寸即可适用不同尺寸的热场,从而达到节约拉晶成本的技术效果。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种换热装置的结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的一种支撑部件的结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的一种换热部件的结构示意图;
图4为本实用新型实施例提供的一种水冷屏的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如图1至图4所示,本实用新型实施例提供了一种换热装置,该装置包括:
支撑部件,支撑部件包括支撑环11和多个支撑架,多个支撑架均匀设置在支撑环11的周围,并且固定连接于支撑环11;
换热部件,换热部件包括水冷屏21、进水管22、排水管23和连接盘管24,水冷屏21设置在支撑环11的上部,进水管22的一端连接于水冷屏21,另一端连接于连接盘管24,排水管23的一端连接于水冷屏21,另一端连接于连接盘管24,连接盘管24固定连接于每个支撑架。
本实用新型实施例提供的技术方案中,支撑部件的作用是支撑换热部件,支撑部件包括支撑环11和多个支撑架,多个支撑架均匀设置在支撑环11的周围,并且固定连接于支撑环11;换热部件的作用是对单晶炉进行循环换热,换热部件包括水冷屏21、进水管22、排水管23和连接盘管24,水冷屏21设置在支撑环11的上部,进水管22的一端连接于水冷屏21,另一端连接于连接盘管24,排水管23的一端连接于水冷屏21,另一端连接于连接盘管24,连接盘管24固定连接于每个支撑架,相对于现有技术,换热器需要随着热场的尺寸增大而增大,从而导致更换的换热器因尺寸问题无法使用,本技术方案中,通过在换热部件的下部设置支撑部件,支撑环11设置在支撑部件的中间位置,再将水冷屏21放置在支撑环11上,使得水冷屏21位于中间位置,并且,通过多个支撑架对连接盘管24进行支撑,使得换热部件能够在不改变尺寸的情况下,支撑部件能够根据热场的增大而增大,从而不需要改变换热部件尺寸即可适用不同尺寸的热场,从而达到节约拉晶成本的技术效果。
上述支撑部件的作用是支撑换热部件,支撑部件包括支撑环11和多个支撑架,多个支撑架均匀设置在支撑环11的周围,并且固定连接于支撑环11,支撑环11采用圆形结构,水冷屏21固定在支撑环11的上部,多个支撑架均匀设置在支撑环11的周围,支撑架通常为四个,可选的,每个支撑架包括底座121、顶座122和连接杆123,底座121的一端连接于支撑环11的边缘,另一端连接于连接杆123的一端,顶座122连接于连接杆123的另一端,支撑环11的边缘固定连接于每个支撑架的底座121,连接盘管24的底部固定连接于每个支撑架的顶座122,连接杆123对连接盘管24和每个顶座122进行支撑,从而提高支撑架的支撑性;换热部件的作用是对单晶炉进行循环换热,换热部件包括水冷屏21、进水管22、排水管23和连接盘管24,水冷屏21设置在支撑环11的上部,进水管22的一端连接于水冷屏21,另一端连接于连接盘管24,排水管23的一端连接于水冷屏21,另一端连接于连接盘管24,连接盘管24固定连接于每个支撑架,水从进水管22进入到水冷屏21内,然后通过排水管23进入到连接盘管24内,连接盘管24再将水通过进水管22输送至水冷屏21中,实现水的循环,并且能够在循环的过程中将热量带出,本技术方案中,通过在换热部件的下部设置支撑部件,支撑环11设置在支撑部件的中间位置,再将水冷屏21放置在支撑环11上,使得水冷屏21位于中间位置,并且,通过多个支撑架对连接盘管24进行支撑,使得换热部件能够在不改变尺寸的情况下,支撑部件能够根据热场的增大而增大,从而不需要改变换热部件尺寸即可适用不同尺寸的热场,从而达到节约拉晶成本的技术效果。
进一步的,如图1和图2所示,每个支撑架还包括第一支撑杆124和第二支撑杆125,第一支撑杆124的一端连接于底座121,另一端连接于连接杆123,第二支撑杆125的一端连接于顶座122,另一端连接于连接杆123。本实施例中,进一步限定了支撑架,在每个支撑架上增加了第一支撑杆124和第二支撑杆125,第一支撑杆124的一端连接于底座121的中部,另一端连接于连接杆123的中部,并且,第一支撑杆124与底座121之间具有一定的倾斜角度,使得底座121、连接杆123和第一支撑杆124之间形成三角形的支撑结构,从而提高了支撑架的支撑性,第二支撑杆125的一端连接于顶座122,另一端连接于连接杆123的中部,并且,第二支撑杆125与顶座122之间具有一定的倾斜角度,使得顶座122、连接杆123和第一支撑杆124之间形成三角形的支撑结构,从而提高了支撑架的支撑性;可选的,底座121垂直于连接杆123,使得使得底座121、连接杆123和第一支撑杆124之间形成直角三角形的支撑结构,从而进一步提高了支撑架的支撑性,顶座122垂直于连接杆123,使得顶座122、连接杆123和第一支撑杆124之间形成直角三角形的支撑结构,从而进一步提高了支撑架的支撑性。
进一步的,支撑部件还包括支撑管,支撑管的一端固定连接于连接盘管24,另一端固定连接于水冷屏21的边缘。本实施例中,进一步限定了支撑部件,支撑管的作用是对连接盘管24和水冷屏21进行固定,支撑管的一端固定连接于连接盘管24,另一端固定连接于水冷屏21的边缘,从而提高了水冷屏21和连接盘管24的稳定性。
进一步的,连接盘管24具有第一管道241,第一管道241设置在连接盘管24的中间位置,第一管道241的一端与进水管22相互连通,另一端与排水管23相互连通。本实施例中,进一步限定了连接盘管24,连接盘管24为中空结构,中空的连接盘管24内形成了第一管道241,第一管道241的一端与进水管22相互连通,另一端与排水管23相互连通,使得水能够通过从排水管23流经第一管道241进入到进水管22内,从而达到带走连接盘管24外部的热量的技术效果;当然,连接盘管24还可以连接其他的管道,例如向连接盘管24内输送水的管道或者是提供水的动力的管道。
进一步的,如图1所示,支撑管包括第一支撑管1261和第二支撑管1262,第一支撑管1261和第二支撑管1262相对设置,进水管22和排水管23相对设置,并且,进水管22和排水管23位于第一支撑管1261和第二支撑管1262之间。本实施例中,进一步限定了支撑管,第一支撑管1261和第二支撑管1262相对设置,进水管22和排水管23相对设置,并且,进水管22和排水管23位于第一支撑管1261和第二支撑管1262之间,使得第一支撑管1261和第二支撑管1262能够起到对称支撑的作用,从而提高支撑管的支撑性。
进一步的,如图1、图3和图4所示,水冷屏21包括第一外壁211和第一内壁212,第一内壁212设置在第一外壁211的内侧,第一外壁211和第一内壁212之间具有间隔,间隔内设置隔板213,隔板213将间隔分隔为第一通道214和第二通道215。本实施例中,进一步限定了冷水屏,冷水屏具有两个侧壁,分别是第一外壁211和第一内壁212,第一内壁212设置在第一外壁211的内侧,第一外壁211和第一内壁212之间具有间隔,间隔内设置隔板213,隔板213将间隔分隔为第一通道214和第二通道215,水从第一通道214流向第一内壁212的底部,然后再进入第二通道215,实现散热的作用;可选的,第一内壁212的中部具有第一空腔216,第一通道214的一端连接于进水管22,另一端与第一空腔216连通,第二通道215的一端连接于排水管23,另一端与第一空腔216相互连通,水从进水管22进入第一通道214,然后流向第一空腔216内,再通过第二通道215流进排水管23,使得水通过冷水屏进行冷却降温,从而达到降低水的热量的技术效果。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
1.一种换热装置,其特征在于,包括:
支撑部件,所述支撑部件包括支撑环和多个支撑架,多个所述支撑架均匀设置在所述支撑环的周围,并且固定连接于所述支撑环;
换热部件,所述换热部件包括水冷屏、进水管、排水管和连接盘管,所述水冷屏设置在所述支撑环的上部,所述进水管的一端连接于所述水冷屏,另一端连接于所述连接盘管,所述排水管的一端连接于所述水冷屏,另一端连接于所述连接盘管,所述连接盘管固定连接于每个所述支撑架。
2.根据权利要求1所述的换热装置,其特征在于,
每个所述支撑架包括底座、顶座和连接杆,所述底座的一端连接于所述支撑环的边缘,另一端连接于所述连接杆的一端,所述顶座连接于所述连接杆的另一端。
3.根据权利要求2所述的换热装置,其特征在于,
每个所述支撑架还包括第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆的一端连接于所述底座,另一端连接于所述连接杆,所述第二支撑杆的一端连接于所述顶座,另一端连接于所述连接杆。
4.根据权利要求2所述的换热装置,其特征在于,
所述底座垂直于所述连接杆,所述顶座垂直于所述连接杆。
5.根据权利要求1至4任一项所述的换热装置,其特征在于,
所述支撑部件还包括支撑管,所述支撑管的一端固定连接于所述连接盘管,另一端固定连接于所述水冷屏的边缘。
6.根据权利要求5所述的换热装置,其特征在于,
所述连接盘管具有第一管道,所述第一管道设置在所述连接盘管的中间位置,所述第一管道的一端与所述进水管相互连通,另一端与所述排水管相互连通。
7.根据权利要求6所述的换热装置,其特征在于,
所述支撑管包括第一支撑管和第二支撑管,所述第一支撑管和所述第二支撑管相对设置,所述进水管和所述排水管相对设置,并且,所述进水管和所述排水管位于所述第一支撑管和所述第二支撑管之间。
8.根据权利要求5所述的换热装置,其特征在于,
所述水冷屏包括第一外壁和第一内壁,所述第一内壁设置在所述第一外壁的内侧,所述第一外壁和所述第一内壁之间具有间隔,所述间隔内设置隔板,所述隔板将所述间隔分隔为第一通道和第二通道。
9.根据权利要求8所述的换热装置,其特征在于,
所述第一内壁的中部具有第一空腔,所述第一通道的一端连接于所述进水管,另一端与所述第一空腔连通,所述第二通道的一端连接于所述排水管,另一端与所述第一空腔相互连通。
技术总结