本实用新型涉及镀膜器械技术领域，具体为一种太阳能电池pecvd镀膜装置。
背景技术：
pecvd镀膜是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积
而现有的pecvd镀膜装置在使用时采用垂直置入硅片的方式，很容易损坏硅片；固定硅片的卡点块会阻碍镀膜，使卡点位置形成卡点印；一次只能镀膜一个面，对于需要镀膜两面的硅片很不方便。因此，设计采用水平置入硅片的方式，可以同时镀膜两面和减小卡点印的一种太阳能电池pecvd镀膜装置是很有必要的。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池pecvd镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种太阳能电池pecvd镀膜装置，包括硅片台，所述硅片台包括放置台，所述放置台包括放置台体，所述放置台体上设置有多个硅片槽，所述硅片槽为镂空结构，所述硅片槽中间连接有多个放置台卡块，所述放置台卡块中间设置有圆孔，所述硅片槽一侧设置有硅片置入口，所述放置台体一侧连接有放置台卡孔，硅片置入口使硅片可以水平滑入硅片槽，避免了垂直放入时硅片可能会因碰撞而损坏的问题。
根据上述技术方案，所述硅片台还包括镀膜台，所述放置台贴合镀膜台，所述镀膜台包括镀膜台体，所述镀膜台体也有多处镂空，当放置台和镀膜台贴合时，所述镀膜台体和硅片槽镂空处相通，当硅片镀膜时，放置台会自动与镀膜台贴合，镀膜台体和硅片槽镂空处相通使该装置可以同时镀膜硅片两面，增加了镀膜效率。
根据上述技术方案，所述镀膜台体侧面设置有挡板，当放置台和镀膜台贴合时，所述挡板将硅片置入口挡住，镀膜时挡板将硅片置入口挡住，防止硅片在镀膜时意外滑出而损坏。
根据上述技术方案，所述镀膜台体内侧设置有镀膜台卡块，所述镀膜台卡块上连接有支撑钉，所述支撑钉顶部安装有滚子，当放置台和镀膜台贴合时，所述放置台卡块和镀膜台卡块相连，所述支撑钉位于圆孔内，所述镀膜台一侧设置有镀膜台卡孔，镀膜时，支撑钉将硅片托起，由于支撑钉与硅片的接触面十分小，大大减少了镀膜的卡点印，增加了镀膜的质量，滚子使硅片镀膜时不会因为移动而被支撑钉刮伤，放置台和镀膜台在放入和取出硅片时分离是为了防止使用者用力过度，而使支撑钉刮伤硅片。
根据上述技术方案，所述放置台卡孔和镀膜台卡孔连接有固定块，所述固定块包括固定块体，所述固定块体一侧连接有固定柱，所述固定柱上安装有固定螺母，所述固定柱和固定螺母通过螺纹连接，所述固定块通过固定柱和固定螺母将硅片台固定住，硅片台通过固定块固定于支撑柱上，使支撑柱上可以放置多个硅片台，同时镀膜多个硅片，增加镀膜效率。
根据上述技术方案，所述固定块体上设置有支撑柱孔，所述支撑柱孔连接有支撑柱，所述支撑柱孔和支撑柱通过螺纹连接，所述支撑柱安装于镀膜机内部，所述支撑柱底部安装有从动齿轮，所述支撑柱一侧安装有双向电机，所述双向电机输出轴上安装有主动齿轮，所述主动齿轮和从动齿轮轮齿啮合，双向电机通过主动齿轮和从动齿轮带动支撑柱转动，支撑柱转动时，固定块因为会螺纹连接而上下移动，由于放置台和镀膜台安装于不同支撑柱上，不同的双向电机转动可以控制放置台或镀膜台的升降，从而控制放置台的镀膜台分开和贴合，同时也能调整硅片台的高度。
与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型，
(1)通过设置有硅片置入口和挡板，在镀膜前后，硅片置入口和挡板分开，可以水平放置和取出硅片，防止硅片因碰撞损坏，在镀膜时，挡板将硅片置入口挡住，使硅片卡在硅片槽内，防止硅片意外滑落；
(2)通过设置有镂空结构，硅片两面都能够镀膜，增加了镀膜效率；
(3)通过设置有支撑钉，由于支撑钉与硅片的接触面十分小，大大减少了镀膜的卡点印，增加了镀膜的质量。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的放置台结构示意图；
图3是本实用新型的镀膜台装置结构示意图；
图4是本实用新型的支撑柱结构示意图；
图5是本实用新型的固定块装置结构示意图；
图中：1、硅片台；11、放置台；111、放置台体；112、硅片槽；113、放置台卡块；114、圆孔；115、硅片置入口；116、放置台卡孔；12、镀膜台；121、镀膜台体；122、挡板；123、镀膜台卡块；124、支撑钉；125、滚子；126、镀膜台卡孔；2、固定块；21、固定块体；22、固定柱；23、固定螺母；24、支撑柱孔；3、支撑柱；4、从动齿轮；5、双向电机；6、主动齿轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供技术方案一种太阳能电池pecvd镀膜装置，包括硅片台1，硅片台1包括放置台11，放置台11包括放置台体111，放置台体111上设置有多个硅片槽112，硅片槽112为镂空结构，硅片槽112中间连接有多个放置台卡块113，放置台卡块113中间设置有圆孔114，硅片槽112一侧设置有硅片置入口115，放置台体111一侧连接有放置台卡孔116，硅片置入口115使硅片可以水平滑入硅片槽112，避免了垂直放入时硅片可能会因碰撞而损坏的问题；
硅片台1还包括镀膜台12，放置台11贴合镀膜台12，镀膜台12包括镀膜台体121，镀膜台体121也有多处镂空，当放置台11和镀膜台12贴合时，镀膜台体121和硅片槽112镂空处相通，当硅片镀膜时，放置台11会自动与镀膜台12贴合，镀膜台体121和硅片槽112镂空处相通使该装置可以同时镀膜硅片两面，增加了镀膜效率；
镀膜台体121侧面设置有挡板122，当放置台11和镀膜台12贴合时，挡板122将硅片置入口115挡住，镀膜时挡板122将硅片置入口115挡住，防止硅片在镀膜时意外滑出而损坏；
镀膜台体121内侧设置有镀膜台卡块123，镀膜台卡块123上连接有支撑钉124，支撑钉124顶部安装有滚子125，当放置台11和镀膜台12贴合时，放置台卡块113和镀膜台卡块123相连，支撑钉124位于圆孔114内，镀膜台12一侧设置有镀膜台卡孔126，镀膜时，支撑钉124将硅片托起，由于支撑钉124与硅片的接触面十分小，大大减少了镀膜的卡点印，增加了镀膜的质量，滚子125使硅片镀膜时不会因为移动而被支撑钉124刮伤，放置台11和镀膜台12在放入和取出硅片时分离是为了防止使用者用力过度，而使支撑钉124刮伤硅片；
放置台卡孔116和镀膜台卡孔126连接有固定块2，固定块2包括固定块体21，固定块体21一侧连接有固定柱22，固定柱22上安装有固定螺母23，固定柱22和固定螺母23通过螺纹连接，固定块2通过固定柱22和固定螺母23将硅片台1固定住，硅片台1通过固定块2固定于支撑柱3上，使支撑柱3上可以放置多个硅片台1，同时镀膜多个硅片，增加镀膜效率；
固定块体21上设置有支撑柱孔24，支撑柱孔24连接有支撑柱3，支撑柱孔24和支撑柱3通过螺纹连接，支撑柱3安装于镀膜机内部，支撑柱3底部安装有从动齿轮4，支撑柱3一侧安装有双向电机5，双向电机5输出轴上安装有主动齿轮6，主动齿轮6和从动齿轮4轮齿啮合，双向电机5通过主动齿轮6和从动齿轮4带动支撑柱3转动，支撑柱3转动时，固定块2因为会螺纹连接而上下移动，由于放置台11和镀膜台12安装于不同支撑柱3上，不同的双向电机5转动可以控制放置台11或镀膜台12的升降，从而控制放置台11的镀膜台12分开和贴合，同时也能调整硅片台1的高度。
工作原理：硅片置入口115使硅片可以水平滑入硅片槽112，避免了垂直放入时硅片可能会因碰撞而损坏的问题，当硅片镀膜时，放置台11会自动与镀膜台12贴合，镀膜台体121和硅片槽112镂空处相通使该装置可以同时镀膜硅片两面，增加了镀膜效率，镀膜时挡板122将硅片置入口115挡住，防止硅片在镀膜时意外滑出而损坏，镀膜时，支撑钉124将硅片托起，由于支撑钉124与硅片的接触面十分小，大大减少了镀膜的卡点印，增加了镀膜的质量，滚子125使硅片镀膜时不会因为移动而被支撑钉124刮伤，放置台11和镀膜台12在放入和取出硅片时分离是为了防止使用者用力过度，而使支撑钉124刮伤硅片，硅片台1通过固定块2固定于支撑柱3上，使支撑柱3上可以放置多个硅片台1，同时镀膜多个硅片，增加镀膜效率，双向电机5通过主动齿轮6和从动齿轮4带动支撑柱3转动，支撑柱3转动时，固定块2因为会螺纹连接而上下移动，由于放置台11和镀膜台12安装于不同支撑柱3上，不同的双向电机5转动可以控制放置台11或镀膜台12的升降，从而控制放置台11的镀膜台12分开和贴合，同时也能调整硅片台1的高度。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种太阳能电池pecvd镀膜装置，包括硅片台(1)，其特征在于：所述硅片台(1)包括放置台(11)，所述放置台(11)包括放置台体(111)，所述放置台体(111)上设置有多个硅片槽(112)，所述硅片槽(112)为镂空结构，所述硅片槽(112)中间连接有多个放置台卡块(113)，所述放置台卡块(113)中间设置有圆孔(114)，所述硅片槽(112)一侧设置有硅片置入口(115)，所述放置台体(111)一侧连接有放置台卡孔(116)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池pecvd镀膜装置，其特征在于：所述硅片台(1)还包括镀膜台(12)，所述放置台(11)贴合镀膜台(12)，所述镀膜台(12)包括镀膜台体(121)，所述镀膜台体(121)也有多处镂空，所述镀膜台体(121)和硅片槽(112)镂空处为配合结构。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池pecvd镀膜装置，其特征在于：所述镀膜台体(121)侧面设置有挡板(122)，所述挡板(122)和硅片置入口(115)为配合结构。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池pecvd镀膜装置，其特征在于：所述镀膜台体(121)内侧设置有镀膜台卡块(123)，所述镀膜台卡块(123)上连接有支撑钉(124)，所述支撑钉(124)顶部安装有滚子(125)，所述放置台卡块(113)和镀膜台卡块(123)为配合结构，所述支撑钉(124)和圆孔(114)为配合结构，所述镀膜台(12)一侧设置有镀膜台卡孔(126)。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池pecvd镀膜装置，其特征在于：所述放置台卡孔(116)和镀膜台卡孔(126)连接有固定块(2)，所述固定块(2)包括固定块体(21)，所述固定块体(21)一侧连接有固定柱(22)，所述固定柱(22)上安装有固定螺母(23)，所述固定柱(22)和固定螺母(23)通过螺纹连接，所述固定块(2)通过固定柱(22)和固定螺母(23)将硅片台(1)固定住。
6.根据权利要求5所述的一种太阳能电池pecvd镀膜装置，其特征在于：所述固定块体(21)上设置有支撑柱孔(24)，所述支撑柱孔(24)连接有支撑柱(3)，所述支撑柱孔(24)和支撑柱(3)通过螺纹连接，所述支撑柱(3)底部安装有从动齿轮(4)，所述支撑柱(3)一侧安装有双向电机(5)，所述双向电机(5)输出轴上安装有主动齿轮(6)，所述主动齿轮(6)和从动齿轮(4)轮齿啮合。
技术总结