本实用新型涉及溅射靶技术领域，尤其涉及一种镀膜用平面溅射靶。
背景技术：
溅射靶的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、n/o/c/s、晶粒尺寸与缺陷控制，较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。
现有的溅射靶在镀膜的时候，使用起来非常的方便，但是在安装的时候，使用螺钉和螺母进行配合才能进行安装，在安装螺母的时候，使用扳手进行安装，使用扳手在拧动的时候，不能保证拧的力度是一样的，在安装的时候，可能会造成，一侧安装过紧，导致另一侧安装的时候会有缝隙，导致现有的平面溅射靶安装起来非常的麻烦。
技术实现要素：
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种镀膜用平面溅射靶，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧安装起来非常麻烦。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体，所述靶体的外表面中心处固定安装有固定圈，所述固定圈上呈环形等距固定插设有多个固定机构，且多个固定机构的顶部均滑动插设有连接帽，所述靶体的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构。
优选的，所述固定机构包括圆板，所述圆板的顶部中心处固定安装有柱壳，所述柱壳内壁一侧的上部固定安装有连接壳，所述连接壳的内部中心处滑动插设有固定柱，所述固定柱靠近连接壳一端的两侧均焊接有限位杆，所述固定柱靠近连接壳的一端焊接有复位弹簧。
优选的，所述顶紧机构包括圆壳，所述圆壳的内部开设有矩形槽，所述矩形槽内部的底部固定安装有顶紧弹簧，所述顶紧弹簧的顶部固定安装有移动圈，所述移动圈顶部的中心处固定安装有橡胶板。
优选的，所述柱壳固定插设在固定圈上，所述柱壳远离复位弹簧的一侧开设有与固定柱相匹配的运动通孔，所述圆板的直径大于柱壳的直径。
优选的，所述移动圈的宽度与矩形槽的宽度相同，所述矩形槽的顶部开设有与橡胶板相匹配的运动通槽。
优选的，所述连接帽的一侧开设有与固定柱相匹配的运动通孔，所述连接帽的内壁直径与柱壳的外部直径相匹配。
与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
1、本实用新型中，通过固定机构的设置，向里侧按压固定柱，固定柱在连接壳中进行移动，限位杆在连接壳中将固定柱限位，固定柱移动的时候，使复位弹簧压缩，将固定机构穿过安装溅射靶的安装机构上的安装孔，将连接帽套在柱壳上，松开固定柱，滑动连接帽，当连接帽上安装通孔与固定柱相对其的时候，复位弹簧使固定柱复位，穿过连接帽上的安装通孔，将装置进行固定，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧无法安装的情况，平面溅射靶在安装的时候，直接进行套设，使安装的力度一样，防止出现一侧安装过紧导致另一侧安装起来非常麻烦。
2、本实用新型中，通过顶级机构的设置，在固定装置的时候，橡胶板带动移动圈在矩形槽中进行滑动，将橡胶板限位，使顶紧弹簧压缩产生弹力，顶紧弹簧使橡胶板顶紧安装溅射靶的安装机构，使装置在安装的时候，顶的更紧，防止出现缝隙。
附图说明
图1为本实用新型提出一种镀膜用平面溅射靶的立体结构示意图；
图2为本实用新型提出一种镀膜用平面溅射靶的固定机构主视剖视示意图；
图3为本实用新型提出一种镀膜用平面溅射靶的顶紧机构立体剖视示意图；
图4为本实用新型提出一种镀膜用平面溅射靶的连接帽立体结构示意图。
图例说明：
1、固定圈；2、固定机构；201、圆板；202、柱壳；203、连接壳；204、固定柱；205、限位杆；206、复位弹簧；3、顶紧机构；4、靶体；401、圆壳；402、矩形槽；403、顶紧弹簧；404、移动圈；405、橡胶板；5、连接帽。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
实施例1，如图1-图4所示，本实用新型提供了一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体4，靶体4的外表面中心处固定安装有固定圈1，固定圈1上呈环形等距固定插设有多个固定机构2，且多个固定机构2的顶部均滑动插设有连接帽5，靶体4的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构3。
下面具体说一下固定机构2和顶紧机构3具体设置和作用。
如图2所示，固定机构2包括圆板201，圆板201的顶部中心处固定安装有柱壳202，柱壳202内壁一侧的上部固定安装有连接壳203，连接壳203的内部中心处滑动插设有固定柱204，固定柱204靠近连接壳203一端的两侧均焊接有限位杆205，固定柱204靠近连接壳203的一端焊接有复位弹簧206，柱壳202固定插设在固定圈1上，柱壳202远离复位弹簧206的一侧开设有与固定柱204相匹配的运动通孔，圆板201的直径大于柱壳202的直径，连接帽5的一侧开设有与固定柱204相匹配的运动通孔，连接帽5的内壁直径与柱壳202的外部直径相匹配。
其整个固定机构2达到的效果为，向里侧按压固定柱204，固定柱204在连接壳203中进行移动，限位杆205在连接壳203中将固定柱204限位，固定柱204移动的时候，使复位弹簧206压缩，将固定机构2穿过安装溅射靶的安装机构上的安装孔，将连接帽5套在柱壳202上，松开固定柱204，滑动连接帽5，当连接帽5上安装通孔与固定柱204相对其的时候，复位弹簧206使固定柱204复位，穿过连接帽5上的安装通孔，将装置进行固定。
如图3所示，顶紧机构3包括圆壳401，圆壳401的内部开设有矩形槽402，矩形槽402内部的底部固定安装有顶紧弹簧403，顶紧弹簧403的顶部固定安装有移动圈404，移动圈404顶部的中心处固定安装有橡胶板405，移动圈404的宽度与矩形槽402的宽度相同，矩形槽402的顶部开设有与橡胶板405相匹配的运动通槽。
其整个顶紧机构3达到的效果为，在固定装置的时候，橡胶板405带动移动圈404在矩形槽402中进行滑动，将橡胶板405限位，使顶紧弹簧403压缩产生弹力，顶紧弹簧403使橡胶板405顶紧安装溅射靶的安装机构。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。
1.一种镀膜用平面溅射靶，包括靶体(4)，其特征在于：所述靶体(4)的外表面中心处固定安装有固定圈(1)，所述固定圈(1)上呈环形等距固定插设有多个固定机构(2)，且多个固定机构(2)的顶部均滑动插设有连接帽(5)，所述靶体(4)的顶部靠近内侧的边缘处固定安装有顶紧机构(3)。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述固定机构(2)包括圆板(201)，所述圆板(201)的顶部中心处固定安装有柱壳(202)，所述柱壳(202)内壁一侧的上部固定安装有连接壳(203)，所述连接壳(203)的内部中心处滑动插设有固定柱(204)，所述固定柱(204)靠近连接壳(203)一端的两侧均焊接有限位杆(205)，所述固定柱(204)靠近连接壳(203)的一端焊接有复位弹簧(206)。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述顶紧机构(3)包括圆壳(401)，所述圆壳(401)的内部开设有矩形槽(402)，所述矩形槽(402)内部的底部固定安装有顶紧弹簧(403)，所述顶紧弹簧(403)的顶部固定安装有移动圈(404)，所述移动圈(404)顶部的中心处固定安装有橡胶板(405)。
4.根据权利要求2所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述柱壳(202)固定插设在固定圈(1)上，所述柱壳(202)远离复位弹簧(206)的一侧开设有与固定柱(204)相匹配的运动通孔，所述圆板(201)的直径大于柱壳(202)的直径。
5.根据权利要求3所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述移动圈(404)的宽度与矩形槽(402)的宽度相同，所述矩形槽(402)的顶部开设有与橡胶板(405)相匹配的运动通槽。
6.根据权利要求2所述的一种镀膜用平面溅射靶，其特征在于：所述连接帽(5)的一侧开设有与固定柱(204)相匹配的运动通孔，所述连接帽(5)的内壁直径与柱壳(202)的外部直径相匹配。
技术总结