本实用新型属于多晶硅生产技术领域,具体涉及一种新型石墨组件。
背景技术:
多晶硅生产过程是用石墨件将硅芯和电极连接起来,通电后硅芯表面发热产生高温,然后三氯氢硅和氢气在高温硅芯表面发生气相化学沉积反应,硅芯直径不断变大。目前常用的石墨件有三件套(卡瓣、石墨盖、石墨座),两件套(子弹头和石墨座),三件套石墨由于安装和拆卸时都较为繁琐费力,螺纹之间有缝隙,在沉积多晶硅的过程中,部分多晶硅会沉积在螺纹的缝隙中,通过手动旋转石墨卡座和石墨卡帽很难将二者分离,费时费力,效率低下,拆卸过程容易造成石墨件的损坏,石墨件回用率低;同时由于三件套石墨重量大,采购成本高昂;因此,三件套石墨目前已逐步被淘汰。
目前广泛使用的两件套石墨件包括石墨底座和石墨头,石墨底座的顶部设置有供石墨头下端插入的锥孔,石墨底座下部设置有供电极插入的锥孔,石墨头的顶部开设供硅芯插入的硅芯孔,石墨头下部为锥形与石墨底座配合。
如国家知识产权局于2019年11月12日公开了一件申请号为“cn201920113660.9”,名称为“一种还原炉石墨件”,公开了:一种还原炉石墨件,包括石墨底座和石墨头,所述的石墨底座底侧开设用于导电接触的底孔,所述石墨底座的顶侧开设供石墨头下端插入的顶孔,所述的石墨头的顶部开设供硅芯插入的硅芯孔。
上述类的石墨件在使用时发现:由于石墨头和石墨底座是通过椎体配合固定,为了防止硅棒倾斜,石墨头和石墨底座配合所需的椎体高度较大,同时也造成石墨底座尺寸较大,单套石墨组件造价较高等问题。
技术实现要素:
本实用新型旨在解决现有技术中的石墨件椎体高度较大,同时也造成石墨底座尺寸较大,单套石墨组件造价较高的问题,同时需要保证石墨头和石墨底座的稳定固定问题。
为了实现上述发明目的,本实用新型的技术方案如下:
一种新型石墨组件,包括石墨底座和石墨头,所述的石墨底座的底侧开设用于导电接触的底孔,所述的石墨头的顶部开设供硅芯插入的硅芯孔,所述石墨底座的顶侧开设供石墨头下端插入的顶孔,所述顶孔从上至下包括柱形孔和圆台形孔,所述石墨头的一端与顶孔紧密配合。
进一步地,所述石墨底座的外形为圆柱形,顶侧向下开设供石墨头下端插入的顶孔。
进一步地,所述石墨头的两端为圆台形、中部为圆柱形的一体结构,所述石墨头上端和下端的结构相同并沿中部水平面对称,所述石墨头的两端均开设有结构相同的硅芯孔。
进一步地,所述石墨头的两端硅芯孔的底部连通有通孔。
本实用新型的有益效果:
一、本实用新型中,本技术方案中的石墨底座上部采用圆台形+圆柱形的组合形顶孔的结构,其中圆柱形孔的高度设计为4~15mm,与现有圆台形结构相比,本技术方案的结构在满足石墨头与石墨底座接触面积前提下,具有连接更可靠的特点;同时,由于该处相应结构的改变,使其圆台形结构可以设计得更短一些,使得石墨头和石墨底座的长度同时缩短;另外,由于圆台形高度减小,在圆台形角度不变的前提下可以使圆柱形直径减小,使得石墨头和石墨底座的直径同时减小;这样,就可以将石墨头和石墨底座的长度和直径同减小,可大幅降低整套石墨组件的重量,改善现有技术中石墨底座尺寸较大,单套石墨组件造价较高的问题,而石墨对于多晶硅生产行业来说属于耗材,减少石墨的用量,也就降低了生产成本;本技术方案与现有技术相比,取消了侧孔和中孔,降低了加工难度,也能保证正常生产。
二、本实用新型中,本技术方案中石墨底座外形结构设计成圆柱形,而背景技术中多采用锥形、圆台形,此类形状的石墨底座存在导电面积小,温度高,存在容易长硅的风险,采用圆柱形则可以尽量的避免此问题。
三、本实用新型中,所述石墨头的两端为圆台形、中部为圆柱形的一体结构,所述石墨头上端和下端的结构相同并沿中部水平面对称,所述石墨头的两端均开设有结构相同的硅芯孔,对结构进行改进后,使用一端的石墨头后,取出硅芯后,再将石墨头倒置后再使用,如此,可节约接近一半的石墨头,降低了生产成本。
四、本实用新型中,所述石墨头的两端硅芯孔的底部连通有通孔,用于通气,防止工艺气体在石墨头内部富集。
附图说明
图1为本实用新型的装配完的结构示意图。
图2是本实用新型中石墨底座的结构示意图。
图3是本实用新型中石墨头的结构示意图。
图4是另一种实施方式的结构示意图。
其中:1、石墨底座;2、石墨头;3、底孔;4、硅芯孔;5、顶孔;6、柱形孔;7、圆台形孔;8、硅芯;9、电极体;10、通孔。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例1
参照图1-3,一种新型石墨组件,属于多晶硅生产技术领域,包括石墨底座1和石墨头2,所述的石墨底座1的底侧开设用于导电接触的底孔3,所述的石墨头2的顶部开设供硅芯8插入的硅芯孔4,所述石墨底座1的顶侧开设供石墨头2下端插入的顶孔5,所述顶孔5从上至下包括柱形孔6和圆台形孔7,所述石墨头2的一端与顶孔5紧密配合。
本实施例为最基本的实施方式,可解决现有技术中的石墨件椎体高度较大,同时也造成石墨底座1尺寸较大,单套石墨组件造价较高的问题,同时还可以保证石墨头2和石墨底座1的稳定固定。使用时,将石墨座固定在电极体9上后,再将石墨头2放在石墨座的顶孔5内,须保证石墨头2一端的圆台形部分结构全部没入顶孔5内,且石墨头2的圆柱形部分没入少许,然后再将硅芯8放入硅芯孔4,固定好硅芯8。
实施例2
参照图1-3,一种新型石墨组件,属于多晶硅生产技术领域,包括石墨底座1和石墨头2,所述的石墨底座1的底侧开设用于导电接触的底孔3,所述的石墨头2的顶部开设供硅芯8插入的硅芯孔4,所述石墨底座1的顶侧开设供石墨头2下端插入的顶孔5,所述顶孔5从上至下包括柱形孔6和圆台形孔7,所述石墨头2的一端与顶孔5紧密配合。
优选地,所述石墨底座1的外形为圆柱形,顶侧向下开设供石墨头2下端插入的顶孔5。
本实施例为较优的一种实施方式,所述石墨底座1的外形为圆柱形,可以保证稳定固定硅芯8的同时,解决现有技术中石墨底座1导电面积小,温度高,带来的容易长硅的问题,采用圆柱形则可有效改善此问题。使用时,将石墨座固定在电极体9上后,再将石墨头2放在石墨座的顶孔5内,须保证石墨头2一端的圆台形部分结构全部没入顶孔5内,且石墨头2的圆柱形部分没入少许,使用的石墨座的圆柱形孔6的高度为4mm,然后再将硅芯8放入硅芯孔4,固定好硅。
实施例3
参照图2-4,一种新型石墨组件,属于多晶硅生产技术领域,包括石墨底座1和石墨头2,所述的石墨底座1的底侧开设用于导电接触的底孔3,所述的石墨头2的顶部开设供硅芯8插入的硅芯孔4,所述石墨底座1的顶侧开设供石墨头2下端插入的顶孔5,所述顶孔5从上至下包括柱形孔6和圆台形孔7,所述石墨头2的一端与顶孔5紧密配合,使用的石墨座的圆柱形孔6的高度为15mm。
优选地,所述石墨底座1的外形为圆柱形,顶侧向下开设供石墨头2下端插入的顶孔5。
优选地,所述石墨头2的两端为圆台形、中部为圆柱形的一体结构,所述石墨头2上端和下端的结构相同并沿中部水平面对称,所述石墨头2的两端均开设有结构相同的硅芯孔4。
优选地,所述石墨头2的两端硅芯孔4的底部连通有通孔10。
本实施例为另一种较优的实施方式,与实施例相比,在原有结构的基础上,将单头使用的石墨头2改进为两头均可使用的石墨头2结构,并改进相应的结构设计,实现石墨头2的最大利用。
1.一种新型石墨组件,包括石墨底座(1)和石墨头(2),所述的石墨底座(1)的底侧开设用于导电接触的底孔(3),所述的石墨头(2)的顶部开设供硅芯(8)插入的硅芯孔(4),其特征在于:所述石墨底座(1)的顶侧开设供石墨头(2)下端插入的顶孔(5),所述顶孔(5)从上至下包括柱形孔(6)和圆台形孔(7),所述石墨头(2)的一端与顶孔(5)紧密配合。
2.根据权利要求1所述的一种新型石墨组件,其特征在于:所述石墨底座(1)的外形为圆柱形,顶侧向下开设供石墨头(2)下端插入的顶孔(5)。
3.根据权利要求2所述的一种新型石墨组件,其特征在于:所述石墨头(2)的两端为圆台形、中部为圆柱形的一体结构,所述石墨头(2)上端和下端的结构相同并沿中部水平面对称,所述石墨头(2)的两端均开设有结构相同的硅芯孔(4)。
4.根据权利要求3所述的一种新型石墨组件,其特征在于:所述石墨头(2)的两端硅芯孔(4)的底部连通有通孔(10)。
技术总结