一种用于单晶炉加料器的挂件结构的制作方法

专利2023-06-23  75


本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉加料器的挂件结构。



背景技术:

单晶硅作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,目前单晶硅的生长技术有两种,区熔法和直拉法,其中直拉法是目前普遍的采用的方法,在直拉法制造单晶硅时,要将多晶硅置于石英坩埚中,经过高温使其熔化,然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中,通过控制液面的温度,使熔化的籽晶在周围重新结晶,生成排列整齐的单晶硅棒。在单晶炉生产过程中,需要多次加料;但是加料器在挂料过程中容易与加料器吊杆剐蹭,剐蹭时产生金属粉末,金属粉末会影响硅单晶少数载流子寿命,从而影响转换效率。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型提供一种用于单晶炉加料器的挂件结构,主要目的在于减少挂料过程中的剐蹭,改善硅单晶少数载流子寿命。

改善单晶炉加料料筒吊装的便捷性和可靠性。

为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:

本实用新型的实施例提供一种用于单晶炉加料器的挂件结构,包括:上连接部、下连接部和连接销;

所述上连接部为圆柱结构;所述上连接部上具有与所述上连接部同轴设置的螺纹孔;

所述下连接部固定地设置在所述上连接部上;

所述下连接部包括:第一板件和第二板件;

所述第一板件固定地设置在所述上连接部上;所述第一板件上具有支撑孔一;

所述第二板件固定地设置在所述下连接部上;所述第二板件上具有支撑孔二;

所述第一板件与所述第二板件之间具有预定间距;

所述第一板件为板状结构;

所述第二板件为板状结构;

所述第一板件与所述第二板件相互平行,且对称设置;

所述支撑孔一与所述支撑孔二同轴设置;

所述支撑孔一的轴线与所述第一板件和所述第二板件的对称面具有预定夹角;所述预定夹角为65度~85度;

所述连接销能够穿插在所述支撑孔一和所述支撑孔二上,被所述支撑孔一和所述支撑孔二支撑;所述连接销为圆柱结构;

所述连接销上具有支撑部;所述支撑部的支撑面与所述第一板件和所述第二板件的对称面垂直;所述支撑面为弧状结构。

进一步地,所述连接部一上固定地设置有挡销构件;所述挡销构件延伸至所述第二板件远离所述第一板件的外侧,用于限制所述连接销向外移动的位置。

进一步地,所述支撑孔二的中心较所述支撑孔一的中心高。

进一步地,所述支撑孔一远离所述第二板件的一侧为封闭结构。

进一步地,所述支撑孔一远离所述第二板件的一侧具有挡件。

进一步地,所述挡件与所述支撑孔一通过螺纹连接。

进一步地,所述第一板件和所述第二板件的对称面与所述螺纹孔的轴线平行。

进一步地,所述连接销上固定地设置有手柄结构;所述手柄结构位于所述第二板件远离所述第一板件的一侧。

进一步地,所述支撑部位于所述连接销的中部;所述支撑面水平设置。

进一步地,所述支撑面的两端与所述连接销具有高度差。

借由上述技术方案,本实用新型用于单晶炉加料器的挂件结构至少具有下列优点:

能够减少挂料过程中的剐蹭,改善硅单晶少数载流子寿命。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例提供的一种用于单晶炉加料器的挂件结构的示意图;

图2为本实用新型一个实施例提供的一种用于单晶炉加料器的挂件结构的另一状态的示意图。

图中所示:

1为上连接部,2为第一板件,3为连接销,4为支撑部,5为挡销构件,6为螺纹孔,7为挡件,8为手柄结构,9为第二板件。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

如图1和图2所示,本实用新型的一种用于单晶炉加料器的挂件结构,包括:上连接部1、下连接部和连接销3;

上连接部1为圆柱结构;上连接部1上具有与上连接部1同轴设置的螺纹孔6;螺纹孔6用于与吊具连接。

下连接部固定地设置在上连接部1上;下连接部包括:第一板件2和第二板件9;第一板件2固定地设置在上连接部1上;第一板件2上具有支撑孔一;第二板件9固定地设置在下连接部上;第二板件9上具有支撑孔二;第一板件2与第二板件9之间具有预定间距;在吊装时,支撑部4位于第一板件2和第二板件9之间。预定间距优选为5cm~20cm。第一板件2和第二板件9焊接固定在上连接部1上。第一板件2为板状结构;第二板件9为板状结构;第一板件2与第二板件9相互平行,且对称设置;支撑孔一与支撑孔二同轴设置;优选,支撑孔二的中心较支撑孔一的中心高,以使连接销3倾斜设置。进一步优选,支撑孔一远离第二板件9的一侧为封闭结构,能够防止连接销3从支撑孔一中滑出。可替代地,支撑孔一远离第二板件9的一侧具有挡件7,同样能够防止连接销3从支撑孔一中滑出;进一步优选,挡件7与支撑孔一通过螺纹连接,以方便连接固定;当然挡件7也可以焊接固定在第一板件2上,封堵在支撑孔一上。

支撑孔一的轴线与第一板件2和第二板件9的对称面具有预定夹角;预定夹角为65度~85度;当第一板件2和第二板件9的对称面与水平面垂直时,支撑孔一的轴线与水平面的夹角为5度~25度;支撑孔一的轴线上下方向倾斜。

连接销3能够穿插在支撑孔一和支撑孔二上,被支撑孔一和支撑孔二支撑;连接销3为圆柱结构;

连接销3上具有支撑部4;支撑部4的支撑面与第一板件2和第二板件9的对称面垂直。

支撑部4是在连接销3上进行切销加工而成;在连接销3的一侧进行切削加工,使支撑部4的在吊装作业时,上侧面水平设置;当然,也可以沿连接销3的圆周方向进行加工,以形成上侧为水平设置的弧面结构。

支撑部4位于连接销3的中部;以在吊装作业时,当连接销3插入支撑孔一和支撑孔二时,支撑部4能够位于第一板件2和第二板件9之间,对加料器的吊杆形成支撑。支撑面水平设置,即支撑面的弧面的上端水平设置;支撑面优选为圆弧面,以与加料器的吊杆的销孔相适应。进一步优选,支撑面的两端与连接销3具有高度差,以在吊装时,加料器的吊杆在被支撑部4支撑时,不会沿支撑部4滑动,而且支撑部4位于连接销3的一侧,其偏心结构使得吊装时,连接销3的转动被限制,对连接销3的磨损较小。

本实用新型的一种用于单晶炉加料器的挂件结构,能够减少挂料过程中的剐蹭,改善硅单晶少数载流子寿命。

本实用新型的一种用于单晶炉加料器的挂件结构,减小吊装过程中的剐蹭、摩擦,减少金属粉末的产生,减小金属对硅单晶影响,提升少子寿命。

作为上述实施例的优选,连接部一上固定地设置有挡销构件5;挡销构件5延伸至第二板件9远离第一板件2的外侧,用于限制连接销3向外移动的位置,以防止连接销3从下连接部上滑出;在吊装完成后,可以将连接销3移动至第一板件2或第二板件9的一侧,以将加料器的吊杆从第一板件2和第二板件9之间抽出。

作为上述实施例的优选,第一板件2和第二板件9的对称面与螺纹孔6的轴线平行。以在吊装作业时,受力方向合理,增加其可靠性。

作为上述实施例的优选,连接销3上固定地设置有手柄结构8;手柄结构8位于第二板件9远离第一板件2的一侧,以方便操作人员对连接销3进行操作。

进一步说明,虽然术语第一、第二等在本文中可以用于描述各种元件,但是这些术语不应该限制这些元件。这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。例如,第一元件可以被称为第二元件,并且,类似地,第二元件可以被称为第一元件,这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。这没有脱离示例性实施例的范围。类似地,元件一、元件二也不代表元件的顺序,这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。如本文所用,术语“和/或”包括一个或多个相关联的列出项目的任意结合和所有结合。

以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。


技术特征:

1.一种用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,包括:上连接部、下连接部和连接销;

所述上连接部为圆柱结构;所述上连接部上具有与所述上连接部同轴设置的螺纹孔;

所述下连接部固定地设置在所述上连接部上;

所述下连接部包括:第一板件和第二板件;

所述第一板件固定地设置在所述上连接部上;所述第一板件上具有支撑孔一;

所述第二板件固定地设置在所述下连接部上;所述第二板件上具有支撑孔二;

所述第一板件与所述第二板件之间具有预定间距;

所述第一板件为板状结构;

所述第二板件为板状结构;

所述第一板件与所述第二板件相互平行,且对称设置;

所述支撑孔一与所述支撑孔二同轴设置;

所述支撑孔一的轴线与所述第一板件和所述第二板件的对称面具有预定夹角;所述预定夹角为65度~85度;

所述连接销能够穿插在所述支撑孔一和所述支撑孔二上,被所述支撑孔一和所述支撑孔二支撑;所述连接销为圆柱结构;

所述连接销上具有支撑部;所述支撑部的支撑面与所述第一板件和所述第二板件的对称面垂直;所述支撑面为弧状结构。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述连接部一上固定地设置有挡销构件;所述挡销构件延伸至所述第二板件远离所述第一板件的外侧,用于限制所述连接销向外移动的位置。

3.根据权利要求1所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述支撑孔二的中心较所述支撑孔一的中心高。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述支撑孔一远离所述第二板件的一侧为封闭结构。

5.根据权利要求3所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述支撑孔一远离所述第二板件的一侧具有挡件。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述挡件与所述支撑孔一通过螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述第一板件和所述第二板件的对称面与所述螺纹孔的轴线平行。

8.根据权利要求7所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述连接销上固定地设置有手柄结构;所述手柄结构位于所述第二板件远离所述第一板件的一侧。

9.根据权利要求8所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述支撑部位于所述连接销的中部;所述支撑面水平设置。

10.根据权利要求9所述的用于单晶炉加料器的挂件结构,其特征在于,

所述支撑面的两端与所述连接销具有高度差。

技术总结
本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉加料器的挂件结构,包括:上连接部、下连接部和连接销;上连接部为圆柱结构;上连接部上具有与上连接部同轴设置的螺纹孔;下连接部包括:第一板件和第二板件;第一板件设置在上连接部上;第一板件上具有支撑孔一;第二板件设置在下连接部上;第二板件上具有支撑孔二;支撑孔一与支撑孔二同轴设置;支撑孔一的轴线与第一板件和第二板件的对称面具有预定夹角;预定夹角为65度~85度;连接销被支撑孔一和支撑孔二支撑;连接销上具有支撑部;支撑部的支撑面与第一板件和第二板件的对称面垂直。采用本实用新型能够减少挂料过程中的剐蹭,改善硅单晶少数载流子寿命。

技术研发人员:张鹏;马伟萍;乔乐;刘学金;杨佳辉;王军;张创;豆欣妍
受保护的技术使用者:新疆晶科能源有限公司
技术研发日:2020.08.21
技术公布日:2021.04.06

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