一种无缝钢管用退火炉运料装置的制作方法

专利2023-06-27  72


本实用新型涉及退火炉技术领域,具体为一种无缝钢管用退火炉运料装置。



背景技术:

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

在专利公开号为cn209989427u的“一种无缝钢管用退火炉运料装置”中提及了采用多个电机来控制无缝钢管的进出以及退火炉进料口的开启和关闭,虽然避免了人工操作的方式,但是多个电机同时启动,难免会出现启动不同步的时刻,从而导致退火炉进料口的开启和关闭工作受到一定影响,并且设置多个电机会增加较多耗电量,从而提高了工作成本。



技术实现要素:

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种无缝钢管用退火炉运料装置,具备退火炉进料口的开启和关闭以及物料的进出可同步进行的优点,解决了启动不同步的问题。

为实现上述退火炉进料口的开启和关闭以及物料的进出可同步进行的优点目的,本实用新型提供如下技术方案:一种无缝钢管用退火炉运料装置,包括退火炉本体和无缝钢管本体,所述退火炉本体的内部固定安装有进料口闭合机构和送料机构,所述无缝钢管本体位于送料机构上,所述退火炉本体的内部开设有驱动腔和驱动槽,所述驱动腔的内壁固定安装有电机,所述驱动槽的内壁转动连接有传动轴,所述电机与传动轴之间通过传动链条传动连接;

所述进料口闭合机构包括第一丝杆,所述第一丝杆的一端与电机的输出轴固定连接,所述第一丝杆的表面螺纹连接有第一螺母座,所述第一螺母座的表面固定连接有套杆,所述套杆的另一端铰接有联动杆,所述联动杆的另一端铰接有闭合门,所述闭合门的底端与退火炉本体的开口处搭接;

所述送料机构包括第二丝杆,所述传动轴的另一端固定连接有第二丝杆,所述第二丝杆的表面螺纹有两个第二螺母座,两个第二螺母座的顶部均与放置座固定安装,所述放置座的上表面放置有无缝钢管本体,所述无缝钢管本体位于退火炉本体进料口的后方。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一丝杆的另一端延伸至套杆的内部并固定连接有挡板。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述退火炉本体的内壁固定安装有导向轮,所述联动杆的内部开设有导向口,所述导向轮位于导向口的内部。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述闭合门的正面固定安装有导向槽,所述闭合门的表面固定安装有导向块,导向块延伸至导向槽的内部。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第二螺母座底端固定安装有滑轮,所述滑轮的底端与驱动槽内壁的底部搭接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一螺母座的顶部和底部均固定安装有限位块,所述驱动腔的内壁开设有两个限位槽,所述限位块延伸至限位槽的内部。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种无缝钢管用退火炉运料装置,具备以下有益效果:该无缝钢管用退火炉运料装置,通过设置进料口闭合机构和送料机构,利用电机通过传动链条与传动轴进行传动运动,促使两个丝杆同步转动,使得两个丝杆分别带动闭合门进行升降运动以及带动放置座进行水平方向的位移,促使退火炉进料口的开启和关闭以及物料的进出同步进行,避免了会出现启动不同步而导致进料口的关闭受到影响的情况出现,且整个驱动过程仅使用一个动力源,从而降低了耗电量,节约了工作成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构侧剖图;

图2为本实用新型的结构示意图。

图中:1、退火炉本体;2、无缝钢管本体;3、进料口闭合机构;4、送料机构;5、电机;6、传动链条;7、驱动腔;8、第一丝杆;9、第一螺母座;10、套杆;11、限位槽;12、限位块;13、联动杆;14、导向轮;15、闭合门;16、导向槽;17、导向块;18、驱动槽;19、传动轴;20、第二丝杆;21、第二螺母座;22、滑轮;23、放置座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2,本实用新型公开了一种无缝钢管用退火炉运料装置,包括退火炉本体1和无缝钢管本体2,所述退火炉本体1的内部固定安装有进料口闭合机构3和送料机构4,所述无缝钢管本体2位于送料机构4上,所述退火炉本体1的内部开设有驱动腔7和驱动槽18,所述驱动腔7的内壁固定安装有电机5,所述驱动槽18的内壁转动连接有传动轴19,所述电机5与传动轴19之间通过传动链条6传动连接;

所述进料口闭合机构3包括第一丝杆8,所述第一丝杆8的一端与电机5的输出轴固定连接,所述第一丝杆8的表面螺纹连接有第一螺母座9,所述第一螺母座9的表面固定连接有套杆10,所述套杆10的另一端铰接有联动杆13,所述联动杆13的另一端铰接有闭合门15,所述闭合门15的底端与退火炉本体1的开口处搭接;

所述送料机构4包括第二丝杆20,所述传动轴19的另一端固定连接有第二丝杆20,所述第二丝杆20的表面螺纹有两个第二螺母座21,两个第二螺母座21的顶部均与放置座23固定安装,所述放置座23的上表面放置有无缝钢管本体2,所述无缝钢管本体2位于退火炉本体1进料口的后方。

具体的,所述第一丝杆8的另一端延伸至套杆10的内部并固定连接有挡板,挡板的高度大于第一螺母座9的开口处高度。

本实施方案中,利用挡板可避免套杆10脱离第一丝杆8,从而提高了套杆10的移动稳定性。

具体的,所述退火炉本体1的内壁固定安装有导向轮14,所述联动杆13的内部开设有导向口,所述导向轮14位于导向口的内部。

本实施方案中,利用导向轮14可对联动杆13的运动方向进行导向作用,使得联动杆13的移动稳定性得到了提升。

具体的,所述闭合门15的正面固定安装有导向槽16,所述闭合门15的表面固定安装有导向块17,导向块17延伸至导向槽16的内部。

本实施方案中,利用导向块17跟随闭合门15沿着导向槽16方向进行滑动,使得闭合门15与退火炉本体1的内壁始终保持平行状态,从而提高了退火炉本体1的闭合密封效果。

具体的,所述第二螺母座21底端固定安装有滑轮22,所述滑轮22的底端与驱动槽18内壁的底部搭接。

本实施方案中,利用滑轮22跟随第二螺母座21一同沿着驱动槽18的内壁滑动,从而提高了第二螺母座21的移动稳定性。

具体的,所述第一螺母座9的顶部和底部均固定安装有限位块12,所述驱动腔7的内壁开设有两个限位槽11,所述限位块12延伸至限位槽11的内部。

本实施方案中,利用限位块12跟随第一螺母座9一同沿着限位槽11方向进行滑动,从而提高了第一螺母座9的移动稳定性。

本实用新型的工作原理及使用流程:

在使用时,在需要将无缝钢管本体2送入退火炉本体1时,放置座23的一端在当前情况下处于退火炉本体1的外侧,将无缝钢管本体2放置于放置座23上,后启动电机5,促使电机5通过传动链条6与传动轴19进行传动运动,使得第一丝杆8和第二丝杆20同步转动,使得第一丝杆8上的第一螺母座9进行滑动,以及第二丝杆20上的第二螺母座21进行滑动,促使联动杆13在导向轮14的导向作用下进行角度偏转,使得联动杆13带动闭合门15进行升降运动,以及两个第二螺母座21带动放置座23逐渐收纳至退火炉本体1的内部,最终使得放置座23将无缝钢管本体2全部送入退火炉本体1的同时闭合门15将退火炉本体1的开口处进行闭合;待无缝钢管被加工好之后,反向启动电机5,即可将加工完成后的无缝钢管送出。

综上所述,该无缝钢管用退火炉运料装置,通过设置进料口闭合机构3和送料机构4,利用电机5通过传动链条6与传动轴19进行传动运动,促使两个丝杆同步转动,使得两个丝杆分别带动闭合门15进行升降运动以及带动放置座23进行水平方向的位移,促使退火炉进料口的开启和关闭以及物料的进出同步进行,避免了会出现启动不同步而导致进料口的关闭受到影响的情况出现,且整个驱动过程仅使用一个动力源,从而降低了耗电量,节约了工作成本。

需要说明的是,在本文中,诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:

1.一种无缝钢管用退火炉运料装置,包括退火炉本体(1)和无缝钢管本体(2),其特征在于:所述退火炉本体(1)的内部固定安装有进料口闭合机构(3)和送料机构(4),所述无缝钢管本体(2)位于送料机构(4)上,所述退火炉本体(1)的内部开设有驱动腔(7)和驱动槽(18),所述驱动腔(7)的内壁固定安装有电机(5),所述驱动槽(18)的内壁转动连接有传动轴(19),所述电机(5)与传动轴(19)之间通过传动链条(6)传动连接;

所述进料口闭合机构(3)包括第一丝杆(8),所述第一丝杆(8)的一端与电机(5)的输出轴固定连接,所述第一丝杆(8)的表面螺纹连接有第一螺母座(9),所述第一螺母座(9)的表面固定连接有套杆(10),所述套杆(10)的另一端铰接有联动杆(13),所述联动杆(13)的另一端铰接有闭合门(15),所述闭合门(15)的底端与退火炉本体(1)的开口处搭接;

所述送料机构(4)包括第二丝杆(20),所述传动轴(19)的另一端固定连接有第二丝杆(20),所述第二丝杆(20)的表面螺纹有两个第二螺母座(21),两个第二螺母座(21)的顶部均与放置座(23)固定安装,所述放置座(23)的上表面放置有无缝钢管本体(2),所述无缝钢管本体(2)位于退火炉本体(1)进料口的后方。

2.根据权利要求1所述的一种无缝钢管用退火炉运料装置,其特征在于:所述第一丝杆(8)的另一端延伸至套杆(10)的内部并固定连接有挡板。

3.根据权利要求1所述的一种无缝钢管用退火炉运料装置,其特征在于:所述退火炉本体(1)的内壁固定安装有导向轮(14),所述联动杆(13)的内部开设有导向口,所述导向轮(14)位于导向口的内部。

4.根据权利要求1所述的一种无缝钢管用退火炉运料装置,其特征在于:所述闭合门(15)的正面固定安装有导向槽(16),所述闭合门(15)的表面固定安装有导向块(17),导向块(17)延伸至导向槽(16)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种无缝钢管用退火炉运料装置,其特征在于:所述第二螺母座(21)底端固定安装有滑轮(22),所述滑轮(22)的底端与驱动槽(18)内壁的底部搭接。

6.根据权利要求1所述的一种无缝钢管用退火炉运料装置,其特征在于:所述第一螺母座(9)的顶部和底部均固定安装有限位块(12),所述驱动腔(7)的内壁开设有两个限位槽(11),所述限位块(12)延伸至限位槽(11)的内部。

技术总结
本实用新型公开了一种无缝钢管用退火炉运料装置,涉及退火炉技术领域。所述退火炉本体的内部固定安装有进料口闭合机构和送料机构,所述无缝钢管本体位于送料机构上,所述退火炉本体的内部开设有驱动腔和驱动槽,所述驱动腔的内壁固定安装有电机。通过设置进料口闭合机构和送料机构,利用电机通过传动链条与传动轴进行传动运动,促使两个丝杆同步转动,使得两个丝杆分别带动闭合门进行升降运动以及带动放置座进行水平方向的位移,促使退火炉进料口的开启和关闭以及物料的进出同步进行,避免了会出现启动不同步而导致进料口的关闭受到影响的情况出现,且整个驱动过程仅使用一个动力源,从而降低了耗电量,节约了工作成本。

技术研发人员:高福江
受保护的技术使用者:天津蓬汇管道有限公司
技术研发日:2020.06.19
技术公布日:2021.04.06

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