本实用新型涉及光刻机技术领域，特别是一种光刻机硅片盛放盒。
背景技术：
光刻机又名光刻系统，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，具体为掩模版上的图形转移光刻胶上，后将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程；
光刻机在进行加工作业时，机台上料组件需进行硅片的抓取上料操作，现有用于盛放硅片的盛放盒仅通过框体结构对硅片进行排列堆叠，上料组件沿盛放盒侧向抓取的方式易同时抓取多片，不便于光刻机的持续工作。
技术实现要素：
解决的技术问题
本实用新型的目的是，针对上述问题，提供一种光刻机硅片盛放盒，包括盒体边框；
所述盒体边框中部焊接有窗板架，所述窗板架上端固定连接有窗板，所述窗板与盒体边框上端边缘卡接，所述窗板表面开槽设置有窗槽；
所述盒体边框内侧嵌入设置有抬升架，所述抬升架上表面排列有若干个硅片框，所述硅片框之间相邻设置有分隔页板，所述抬升架底端嵌接有衬板；
所述盒体边框底端中部固定有抬升座，所述抬升座下端贯穿设置有轴头，所述轴头上端固定有套轴轴节，所述套轴轴节上端固定有螺杆，所述螺杆上端螺纹连接有连接头，所述连接头贯穿过衬板，且所述连接头与抬升架固定。
进一步的，所述硅片框为凹口型塑壳框，所述硅片框与分隔页板之间上端设置有若干个凸块，所述凸块与窗板下表面固定连接。
进一步的，所述凸块下端凸出形成有弧形头。
进一步的，所述衬板与抬升架左右两侧边缘间卡接有翼缘板，所述翼缘板与盒体边框内壁滑动连接。
进一步的，所述轴头底端开口设置有轴孔，所述轴头通过螺杆与连接头转动连接。
进一步的，所述连接头为凸型轴管件，所述连接头外侧与衬板之间设置有若干圈压簧圈，所述压簧圈与连接头套接。
由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：
本方案中的一种光刻机硅片盛放盒，通过均匀排列的硅片框与分隔页板，硅片可沿硅片框中凹口以及硅片框与分隔页板之间槽口进行排列堆叠，通过硅片框与分隔页板之间形成的相对高低差来有效分隔硅片的堆叠缝隙，并通过底端布置的抬升架，来方便光刻机取料时，通过底端轴头的转动实现抬升架的升降，以便取料组件通过硅片与窗板的错合来纵向抓取硅片，提高了该盛放盒的适用性。
附图说明
图1是本实用新型整体结构示意图。
图2是本实用新型内部结构示意图。
图3是本实用新型抬升座内部结构示意图。
附图中，1-盒体边框、2-窗板架、3-硅片框、4-分隔页板、5-窗槽、6-窗板、7-凸块、8-抬升架、9-衬板、10-轴头、11-连接头、12-抬升座、13-螺杆、14-套轴轴节。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
结合图1-图3，本实用新型公开了一种光刻机硅片盛放盒，包括盒体边框1；
盒体边框1中部焊接有窗板架2，窗板架2上端固定连接有窗板6，窗板6与盒体边框1上端边缘卡接，窗板6表面开槽设置有窗槽5，其中窗槽5开口位置对应于底部堆叠硅片的位置及大小规格；
盒体边框1内侧嵌入设置有抬升架8，抬升架8上表面排列有若干个硅片框3，硅片框3之间相邻设置有分隔页板4，抬升架8底端嵌接有衬板9，硅片框3为凹口型塑壳框，硅片框3与分隔页板4之间上端设置有若干个凸块7，凸块7与窗板6下表面固定连接，凸块7下端凸出形成有弧形头，衬板9与抬升架8左右两侧边缘间卡接有翼缘板，翼缘板与盒体边框1内壁滑动连接，硅片框3中开口设置的凹口，以及硅片框3与分隔页板4之间形成的槽口，用于堆叠卡接硅片，在抬升架8上升时，衬板9边缘翼缘板将沿盒体边框1滑动，其中窗槽5槽口与硅片框3、分隔页板4纵向对齐，当硅片突破窗槽5前，凸块7弧形头将先行插入堆叠的硅片间，以保证硅片突破窗槽5时的间距，方便光刻机取料抓取；
盒体边框1底端中部固定有抬升座12，抬升座12下端贯穿设置有轴头10，轴头10上端固定有套轴轴节14，套轴轴节14上端固定有螺杆13，螺杆13上端螺纹连接有连接头11，连接头11贯穿过衬板9，且连接头11与抬升架8固定，轴头10底端开口设置有轴孔，轴头10通过螺杆13与连接头11转动连接，连接头11为凸型轴管件，连接头11外侧与衬板9之间设置有若干圈压簧圈，压簧圈与连接头11套接；
底端布置的轴头10，通过底部轴孔与外接电机对接，光刻机通过控制电机工作，来利用电机、轴头10间的传动，带动螺杆13从动，在螺杆13旋转时，连接头11将沿螺杆13的转动方向向上旋出，同步带动抬升架8进行升降。
此处，上、下、左、右、前、后只代表其相对位置而不表示其绝对位置。以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
1.一种光刻机硅片盛放盒，包括盒体边框（1），其特征在于：
所述盒体边框（1）中部焊接有窗板架（2），所述窗板架（2）上端固定连接有窗板（6），所述窗板（6）与盒体边框（1）上端边缘卡接，所述窗板（6）表面开槽设置有窗槽（5）；
所述盒体边框（1）内侧嵌入设置有抬升架（8），所述抬升架（8）上表面排列有若干个硅片框（3），所述硅片框（3）之间相邻设置有分隔页板（4），所述抬升架（8）底端嵌接有衬板（9）；
所述盒体边框（1）底端中部固定有抬升座（12），所述抬升座（12）下端贯穿设置有轴头（10），所述轴头（10）上端固定有套轴轴节（14），所述套轴轴节（14）上端固定有螺杆（13），所述螺杆（13）上端螺纹连接有连接头（11），所述连接头（11）贯穿过衬板（9），且所述连接头（11）与抬升架（8）固定。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片盛放盒,其特征在于：所述硅片框（3）为凹口型塑壳框，所述硅片框（3）与分隔页板（4）之间上端设置有若干个凸块（7），所述凸块（7）与窗板（6）下表面固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机硅片盛放盒,其特征在于：所述凸块（7）下端凸出形成有弧形头。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片盛放盒,其特征在于：所述衬板（9）与抬升架（8）左右两侧边缘间卡接有翼缘板，所述翼缘板与盒体边框（1）内壁滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片盛放盒,其特征在于：所述轴头（10）底端开口设置有轴孔，所述轴头（10）通过螺杆（13）与连接头（11）转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片盛放盒,其特征在于：所述连接头（11）为凸型轴管件，所述连接头（11）外侧与衬板（9）之间设置有若干圈压簧圈，所述压簧圈与连接头（11）套接。
技术总结