一种电弧熔射处理设备的支撑装置的制作方法

专利2023-07-10  76


本实用新型涉及熔射处理设备技术领域,具体为一种电弧熔射处理设备的支撑装置。



背景技术:

在半导体制程中,必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生,以维持半导体制程设备的效能,并可延长设备的使用寿命。遮覆板在清洗后,还需要在表面进行电弧熔射处理,以便于后续生产,电弧熔射要将两条各自带有正电负电的相同金属线接触产生电弧,瞬间产生高热将金属线材融化,再经高压空气吹细雾化,带送吹向底材(或工件),堆积、凝固成涂层或膜厚,电弧熔射机是将两根丝状金属喷涂材料送进电弧喷枪中的两个导电嘴内,导电嘴分别连接高电流、低电压的两极。当金属丝前进至相互接触时,它们短路瞬间产生的电弧,可达到5000℃以上的高温,使丝材端部熔化,并被极高速度的压缩空气流(约达两倍音速)雾化呈微熔滴,微熔滴被压缩空气流带动以超音速(400m/s以上)射向工件表面,形成电弧喷涂层,在使用过程中用手拿持电弧喷枪危险性较高。鉴于此,我们提出一种电弧熔射处理设备的支撑装置。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种电弧熔射处理设备的支撑装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种电弧熔射处理设备的支撑装置,包括底座,所述底座的上方设有升降机构以及安装在所述升降机构顶端的夹持机构,所述夹持机构包括工作台,所述工作台内开设有顶槽,所述顶槽内设置有顶块,所述顶块上滑动连接有两个呈对称分布的滑动座,所述工作台的两侧顶端均设置有顶出气缸,所述顶出气缸的活塞杆与所述滑动座的外壁固定连接,其中一个所述滑动座的顶端外壁安装有电机,所述电机的输出端设有螺丝杆,所述螺丝杆穿过所述滑动座并螺纹连接有夹座,另一个所述滑动座的内侧紧密焊接有连接块,所述连接块远离所述滑动座的一端焊接固定有固定座。

优选的,所述夹座整体呈u字型结构,且与所述螺丝杆转动连接,所述固定座与所述夹座大小相等且相互对称,所述固定座的底端紧密焊接有置物板。

优选的,所述两个所述顶出气缸均固定在安装座上,所述安装座呈l型结构,且下方设有两个螺栓,所述安装座通过所述螺栓固定安装在所述工作台的上表面。

优选的,所述升降机构由若干个安装板、与所述安装板交叉设置的若干个安装条以及设在所述安装板和所述安装条连接处的转轴构成。

优选的,所述转轴位于所述安装板和所述安装条的内部,所述转轴的两端设有限位块,所述限位块紧贴在所述安装条的外表面。

优选的,所述限位块的直径大于所述转轴的直径。

优选的,所述最顶端和最低端的所述安装板的一侧铰接有连接板,顶端的所述连接板的上表面与所述工作台的下底面固定连接,底端的所述连接板的下底面与所述底座的上表面固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果:该电弧熔射处理设备的支撑装置通过设置夹持机构,将电弧喷枪放在置物板上再通过电机转动使螺丝杆的另一端对电弧喷枪进行夹持,在顶出气缸活塞杆伸缩的时候带动电弧喷枪移动,解决了工作人员用手拿持电弧喷枪,危险性较高的问题;且在夹持机构下设置升降机构,方便在熔射过程中能进行升降,调整熔射高度。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型中夹持机构的结构示意图;

图3为本实用新型中工作台的结构示意图;

图4为本实用新型中转轴的结构示意图。

图中:1、夹持机构;11、工作台;111、顶槽;112、顶块;113、滑动座;12、安装座;121、螺栓;122、顶出气缸;13、电机;131、螺丝杆;132、夹座;133、固定座;134、置物板;135、连接块;2、升降机构;21、安装板;22、安装条;23、转轴;231、限位块;24、连接板;3、底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:

一种电弧熔射处理设备的支撑装置,包括底座3,底座3的上方设有升降机构2以及安装在升降机构2顶端的夹持机构1,夹持机构1包括工作台11,工作台11内开设有顶槽111,顶槽111内设置有顶块112,顶块112上滑动连接有两个呈对称分布的滑动座113,工作台11的两侧顶端均设置有顶出气缸122,顶出气缸122的活塞杆与滑动座113的外壁固定连接,其中一个滑动座113的顶端外壁安装有电机13,电机13的输出端设有螺丝杆131,螺丝杆131穿过滑动座113并螺纹连接有夹座132,另一个滑动座113的内侧紧密焊接有连接块135,连接块135远离滑动座113的一端焊接固定有固定座133。

在本实施例中,夹座132整体呈u字型结构,且与螺丝杆131转动连接,固定座133与夹座132大小相等且相互对称,固定座133的底端紧密焊接有置物板134,将电弧喷枪放置在固定座133内的置物板134上方,电机13转动带动螺丝杆131转动,将电弧喷枪夹紧固定在夹座132与固定座133之间,方便进行熔射工作。

进一步的,两个顶出气缸122均固定在安装座12上,安装座12呈l型结构,且下方设有两个螺栓121,安装座12通过螺栓121固定安装在工作台11的上表面,提高装置的稳定性,防止在顶出气缸122工作的时候安装座12与工作台11脱离,影响熔射进度或造成意外。

进一步的,升降机构2由若干个安装板21、与安装板21交叉设置的若干个安装条22以及设在安装板21和安装条22连接处的转轴23构成,安装和拆卸较为简便,通过转轴23将安装板21和安装条22固定,向上用力拨动升降机构2时,夹紧机构1位置随着升降机构2伸展状态而升高,向下按压时,夹紧机构1位置随着升降机构2的收缩而降低。

此外,转轴23位于安装板21和安装条22的内部,转轴23的两端设有限位块231,限位块231紧贴在安装条22的外表面,安装板21与安装条22通过转轴23进行转动,以实现升降机构2整体的伸缩,从而使夹持机构1进行升降。

进一步的,限位块231的直径大于转轴23的直径,避免转轴23在安装板21与安装条22上掉落,使升降机构散架,使升降机构2更加稳定。

再进一步的,最顶端和最低端的安装板21的一侧铰接有连接板24,顶端的连接板24的上表面与工作台11的下底面固定连接,底端的连接板24的下底面与底座3的上表面固定连接,将安装板21与安装条22固定在工作台11与底座3之间,便于提高整体装置的稳定性。

本实施例的电弧熔射处理设备的支撑装置在使用时,将顶出气缸122接通外界电源使其工作,顶出气缸122的活塞杆与滑动座113固定,活塞杆带动滑动座113在顶块112上滑动,使夹座132与固定座133的边缘紧靠在一起,再将电弧熔射机上的电弧喷枪放入固定座133底端的置物板134上,将电机13接通电源,此时电机13的输出端带动螺丝杆131转动,将螺丝杆131的另一端转动到电弧喷枪的一侧将其夹紧固定,把电机13电源断开,再把两根丝状金属喷涂材料送进电弧喷枪中的两个导电嘴内,开始熔射工作,通过升降机构2的伸缩和滑动座113的滑动,改变电弧喷枪熔射的方向,不需要工作人员拿持电弧喷枪进行熔射工作,以免电流以及熔射时的高温对人体造成危害。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例,并不用来限制本实用新型,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征:

1.一种电弧熔射处理设备的支撑装置,包括底座(3),其特征在于:所述底座(3)的上方设有升降机构(2)以及安装在所述升降机构(2)顶端的夹持机构(1),所述夹持机构(1)包括工作台(11),所述工作台(11)内开设有顶槽(111),所述顶槽(111)内设置有顶块(112),所述顶块(112)上滑动连接有两个呈对称分布的滑动座(113),所述工作台(11)的两侧顶端均设置有顶出气缸(122),所述顶出气缸(122)的活塞杆与所述滑动座(113)的外壁固定连接,其中一个所述滑动座(113)的顶端外壁安装有电机(13),所述电机(13)的输出端设有螺丝杆(131),所述螺丝杆(131)穿过所述滑动座(113)并螺纹连接有夹座(132),另一个所述滑动座(113)的内侧紧密焊接有连接块(135),所述连接块(135)远离所述滑动座(113)的一端焊接固定有固定座(133)。

2.根据权利要求1所述的电弧熔射处理设备的支撑装置,其特征在于:所述夹座(132)整体呈u字型结构,且与所述螺丝杆(131)转动连接,所述固定座(133)与所述夹座(132)大小相等且相互对称,所述固定座(133)的底端紧密焊接有置物板(134)。

3.根据权利要求1所述的电弧熔射处理设备的支撑装置,其特征在于:两个所述顶出气缸(122)均固定在安装座(12)上,所述安装座(12)呈l型结构,且下方设有两个螺栓(121),所述安装座(12)通过所述螺栓(121)固定安装在所述工作台(11)的上表面。

4.根据权利要求1所述的电弧熔射处理设备的支撑装置,其特征在于:所述升降机构(2)由若干个安装板(21)、与所述安装板(21)交叉设置的若干个安装条(22)以及设在所述安装板(21)和所述安装条(22)连接处的转轴(23)构成。

5.根据权利要求4所述的电弧熔射处理设备的支撑装置,其特征在于:所述转轴(23)位于所述安装板(21)和所述安装条(22)的内部,所述转轴(23)的两端设有限位块(231),所述限位块(231)紧贴在所述安装条(22)的外表面。

6.根据权利要求5所述的电弧熔射处理设备的支撑装置,其特征在于:所述限位块(231)的直径大于所述转轴(23)的直径。

7.根据权利要求5所述的电弧熔射处理设备的支撑装置,其特征在于:最顶端和最低端的所述安装板(21)的一侧铰接有连接板(24),顶端的所述连接板(24)的上表面与所述工作台(11)的下底面固定连接,底端的所述连接板(24)的下底面与所述底座(3)的上表面固定连接。

技术总结
本实用新型涉及熔射处理设备技术领域,具体为一种电弧熔射处理设备的支撑装置,包括底座,底座的上方设有升降机构以及安装在升降机构顶端的夹持机构,夹持机构包括工作台,工作台内开设有顶槽,顶槽内设置有顶块,顶块上滑动连接有两个呈对称分布的滑动座,工作台的两侧顶端均设置有顶出气缸,其中一个滑动座的顶端外壁安装有电机,电机的输出端设有螺丝杆,螺丝杆穿过滑动座并螺纹连接有夹座,另一个滑动座的内侧紧密焊接有连接块,连接块远离滑动座的一端焊接固定有固定座,本实用通过设置升降机构与夹持机构,对电弧喷枪进行夹持,且在熔射过程中能进行移动和升降,解决了工作人员用手拿持电弧喷枪,危险性较高的问题。

技术研发人员:刘得志
受保护的技术使用者:东莞市世平光电科技有限公司
技术研发日:2020.06.29
技术公布日:2021.04.06

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