一种具有光学测试功能的垂直探针卡的制作方法

专利2023-10-25  92


本实用新型涉及垂直探针卡领域,具体涉及一种具有光学测试功能的垂直探针卡。



背景技术:

一般来说,探针卡是使被测器件的多个接触垫与进行测试的测试设备上对应通道电性连接的有效元器件,对被测器件的测试是指探测筛选出生产阶段出现不良或有缺陷的元件,因此,探针卡通常用于半导体、晶圆片的切割及芯片封装前,通过接触集成于晶圆片上的电子元件来进行电性测试。

现有市面上的通过被测器件的电子元件来进行测试,很难测试电子元件以外的其他形式的元件,以带发光元件的半导体集成终端为被测器件进行测试时,利用传统的探针卡接触电子元件来进行测试后,还要移到发光测试设备上对发光元件进行测试,这种测试方式存在结构复杂、因移动延迟测试时间、增加测试成本等问题,由于对被测器件的电子元件和发光元件分开进行测试,触测信号和发光测试结果独立存在,所以难以对电子元件和发光元件的交互信号进行测试。

本发明的目的在于提供一种具有光学测试功能的探针卡,为了测试带有电子元件和发光元件的被测器件,在设有多个接触探针的探针卡上设置光测试部,在发光元件上照射光来进行光学测试,这样可以同步进行接触测试和光学测试,从而提高测试效率。

因此,发明一种具有光学测试功能的垂直探针卡来解决上述问题很有必要。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种具有光学测试功能的垂直探针卡,通过发光体被固定支撑在通过上下移动体来上下移动的发光支架上,发光量较少时,使其下降靠近发光元件,需要减少光量时,使其上升远离发光元件,发光体通过调整发光体的高度即可调光量,无需其他光量调节装置,不仅可以简化装置,通过调节高度即可调光量,还可以提高使用便利性,以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有光学测试功能的垂直探针卡,包括垂直探针卡、接触被测器件上电子元件的主体部、接触测试部和发光测试部,所述主体部包括接触探针、下板、上板、导块和探针接口,所述被测器件顶部设置有下板,所述下板内部开设有下导孔,所述下板内部开设有下插孔,所述下导孔内部设置有接触探针,所述接触探针底端与下导孔内部相匹配,所述被测器件顶部设置有发光元件,所述下插孔与发光元件相匹配,所述下板外壁两侧均固定连接有下突起,所述下板顶部设置有上板,所述上板外壁两侧均固定连接有上突起,所述上突起与下突起固定连接,所述上突起与下突起之间开设有空隙,所述上板内部开设有上导孔,所述上导孔内部与接触探针相匹配,所述下插孔顶部相通有上插孔,所述上板与下板之间设置有导块,所述导块内部开设有块导孔,所述块导孔与接触探针相匹配,所述发光元件顶部匹配有插块孔,所述上板顶部开设有探针接口,所述探针接口与上导孔相匹配,所述探针接口与接触测试部电性连接。

优选的,所述块导孔由下导孔与上导孔连通形成,所述插块孔由下插孔与上插孔连通形成,所述插块孔与发光测试部相匹配。

优选的,所述接触测试部由测试电路板、连接端口、连接线、测试连接体、变换板和变换导孔组成。

优选的,所述上板顶部设置有测试电路板,所述测试电路板为电路形式设置,所述测试电路板顶部电性连接有连接端口,所述探针接口与测试电路板之间电性连接有连接线,所述连接线中轴线处设置有测试连接体,所述连接线与探针接口连接处开设有测试连接孔,所述测试连接孔与上插孔连通形成有连接插孔,所述测试连接体与上板之间设置有变换板,所述测试连接孔连接处开设有变换导孔。

优选的,所述发光测试部包括插在主体部与接触测试部内部的发光导向体、发光体、发光支架、发光连接端、供电体、电源线和上下移动体。

优选的,所述发光导向体开设于由插块孔、下插孔、上插孔、连接插孔和变换导孔组成的插入孔内部,所述插入孔内部开设有发光导向空间。

优选的,所述发光导向内部设置有发光体,所述发光体顶部设置有发光支架,所述发光支架顶部中轴线处设置有发光连接端,所述发光连接端顶部一侧设置有供电体,所述供电体输出端电性连接有电源线,所述发光支架顶部远离供电体一侧设置有上下移动体。

在上述技术方案中,本实用新型提供的技术效果和优点:

通过发光体被固定支撑在通过上下移动体来上下移动的发光支架上,发光量较少时,使其下降靠近发光元件,需要减少光量时,使其上升远离发光元件,发光体通过调整发光体的高度即可调光量,无需其他光量调节装置,不仅可以简化装置,与现有技术相比,本装置通过调节高度即可调光量,还可以提高使用便利性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的垂直探针卡整体结构示意图。

图2是本实用新型的局部放大的正视结构示意图。

图3是本实用新型的局部放大的侧视结构示意图。

附图标记说明。

1、接触探针;2、下板;201、下导孔;202、下插孔;203、下突起;3、空隙;4、上板;41、上导孔;42、上插孔;43、上突起;5、导块;51、块导孔;52、插块孔;6、探针接口;7、测试电路板;8、连接端口;9、连接线;10、测试连接体;101、测试连接孔;102、连接插孔;11、变换板;12、变换导孔;13、发光体;14、发光支架;15、发光连接端;16、供电体;17、电源线;18、上下移动体;19、被测器件;20、电子元件;21、发光元件。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,包括垂直探针卡、接触被测器件19上电子元件20的主体部、接触测试部和发光测试部,所述主体部包括接触探针1、下板2、上板4、导块5和探针接口6,所述被测器件19顶部设置有下板2,所述下板2内部开设有下导孔201,所述下板2内部开设有下插孔202,所述下导孔201内部设置有接触探针1,所述接触探针1底端与下导孔201内部相匹配,所述被测器件19顶部设置有发光元件21,所述下插孔202与发光元件21相匹配,所述下板2外壁两侧均固定连接有下突起203,所述下板2顶部设置有上板4,所述上板4外壁两侧均固定连接有上突起43,所述上突起43与下突起203固定连接,所述上突起43与下突起203之间开设有空隙3,所述上板4内部开设有上导孔41,所述上导孔41内部与接触探针1相匹配,所述下插孔202顶部相通有上插孔42,所述上板4与下板2之间设置有导块5,所述导块5内部开设有块导孔51,所述块导孔51与接触探针1相匹配,所述发光元件21顶部匹配有插块孔52,所述上板4顶部开设有探针接口6,所述探针接口6与上导孔41相匹配,所述探针接口6与接触测试部电性连接。

进一步的,在上述技术方案中,所述块导孔51由下导孔201与上导孔41连通形成,所述插块孔52由下插孔202与上插孔42连通形成,所述插块孔52与发光测试部相匹配。

进一步的,在上述技术方案中,所述接触测试部由测试电路板7、连接端口8、连接线9、测试连接体10、变换板11和变换导孔12组成。

进一步的,在上述技术方案中,所述上板4顶部设置有测试电路板7,所述测试电路板7为电路形式设置,所述测试电路板7顶部电性连接有连接端口8,所述探针接口6与测试电路板7之间电性连接有连接线9,所述连接线9中轴线处设置有测试连接体10,所述连接线9与探针接口6连接处开设有测试连接孔101,所述测试连接孔101与上插孔42连通形成有连接插孔102,所述测试连接体10与上板4之间设置有变换板11,所述测试连接孔101连接处开设有变换导孔12。

进一步的,在上述技术方案中,所述发光测试部包括插在主体部与接触测试部内部的发光导向体、发光体13、发光支架14、发光连接端15、供电体16、电源线17和上下移动体18。

进一步的,在上述技术方案中,所述发光导向体开设于由插块孔52、下插孔202、上插孔42、连接插孔102和变换导孔12组成的插入孔内部,所述插入孔内部开设有发光导向空间。

进一步的,在上述技术方案中,所述发光导向内部设置有发光体13,所述发光体13顶部设置有发光支架14,所述发光支架14顶部中轴线处设置有发光连接端15,所述发光连接端15顶部一侧设置有供电体16,所述供电体16输出端电性连接有电源线17,所述发光支架14顶部远离供电体16一侧设置有上下移动体18。

实施方式具体为:本装置在实际使用时,测试时,与接触测试部电性连接,传送测试信号,为了使接触探针1具有弹性,从而以有曲率的针状标出,下导孔201供插入上下移动的接触探针1的底部并使其得到支撑,下插孔202与发光元件21所在位置连通,供发光测试部插入并使其得到支撑,进行发光测试,上导孔41供接触探针1插入并使其得到支撑,上插孔42供发光测试部插入并使其得到支撑,块导孔51供接触探针1插入并使其得到支撑,插块孔52供发光测试部插入并使其得到支撑,当接触探针1被测器件19的电子元件20而电性连接时,将传送触测信号,连接端口8向测试电路板7传送接触探针1的测试信号,测试连接孔101位于测试电路板7的中心位置,形成多个用于连接线9和发光测试部的通孔,支撑发光测试部的情况下,连接线9穿过,从而连接测试电路板7和连接端口8,在连通测试连接孔101的位置形成通孔形式的变换导孔12,供连接线9插入并使其得到支撑,在连通连接插孔102的位置形成通孔形式的变换导孔12,供发光测试部插入并使其得到支撑,发光导向体穿设插入孔内部形成上下开放的发光导向空间,发光体13可以在发光导向空间内上下移动,供电即可发光,发出的光照射在所被测器件19的发光元件21上,发光支架14呈板状,用来插入固定发光体13的顶部,发光连接端15插入固定在发光支架14的发光体13连接进行供电,通过电源线17连接到发光连接端15,给发光体13供电,上下移动体18用来上下移动固定有发光体13的发光支架14,上下移动体18可以采用任何上下移动方式,如螺栓螺母连接、齿条齿轮连接,可以手动操作或安装电机来进行自动操作,与现有技术相比,本装置设有多个接触探针1的探针卡上设置光测试部,在发光元件21上照射光来进行光学测试,这样可以同步进行接触测试和光学测试,从而提高测试效率。

本实用工作原理:

参照说明书附图1-3,本装置在使用时,首先用于上下接触连接带电子元件20和发光元件21的被测器件19与测试设备,通过照射光来测试电学特性;

测试时,与接触测试部电性连接,传送测试信号,为了使接触探针1具有弹性,从而以有曲率的针状标出,下导孔201供插入上下移动的接触探针1的底部并使其得到支撑,下插孔202与发光元件21所在位置连通,供发光测试部插入并使其得到支撑,进行发光测试,上导孔41供接触探针1插入并使其得到支撑,上插孔42供发光测试部插入并使其得到支撑,块导孔51供接触探针1插入并使其得到支撑,插块孔52供发光测试部插入并使其得到支撑,当接触探针1被测器件19的电子元件20而电性连接时,将传送触测信号,连接端口8向测试电路板7传送接触探针1的测试信号,测试连接孔101位于测试电路板7的中心位置,形成多个用于连接线9和发光测试部的通孔,支撑发光测试部的情况下,连接线9穿过,从而连接测试电路板7和连接端口8,在连通测试连接孔101的位置形成通孔形式的变换导孔12,供连接线9插入并使其得到支撑,在连通连接插孔102的位置形成通孔形式的变换导孔12,供发光测试部插入并使其得到支撑,发光导向体穿设插入孔内部形成上下开放的发光导向空间,发光体13可以在发光导向空间内上下移动,供电即可发光,发出的光照射在所被测器件19的发光元件21上,发光支架14呈板状,用来插入固定发光体13的顶部,发光连接端15插入固定在发光支架14的发光体13连接进行供电,通过电源线17连接到发光连接端15,给发光体13供电,上下移动体18用来上下移动固定有发光体13的发光支架14,上下移动体18可以采用任何上下移动方式,如螺栓螺母连接、齿条齿轮连接,可以手动操作或安装电机来进行自动操作;

如上所述,发光体133被固定支撑在通过上下移动体138来上下移动的发光支架134上,发光量较少时,使其下降靠近发光元件12,需要减少光量时,使其上升远离发光元件12,发光体133通过调整发光体133的高度即可调光量,无需其他光量调节装置,不仅可以简化装置,通过调节高度即可调光量,还可以提高使用便利性。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例,毋庸置疑,对于本领域的普通技术人员,在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下,可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正,因此,上述附图和描述在本质上是说明性的,不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。


技术特征:

1.一种具有光学测试功能的垂直探针卡,包括垂直探针卡、接触被测器件(19)上电子元件(20)的主体部、接触测试部和发光测试部,其特征在于:所述主体部包括接触探针(1)、下板(2)、上板(4)、导块(5)和探针接口(6),所述被测器件(19)顶部设置有下板(2),所述下板(2)内部开设有下导孔(201),所述下板(2)内部开设有下插孔(202),所述下导孔(201)内部设置有接触探针(1),所述接触探针(1)底端与下导孔(201)内部相匹配,所述被测器件(19)顶部设置有发光元件(21),所述下插孔(202)与发光元件(21)相匹配,所述下板(2)外壁两侧均固定连接有下突起(203),所述下板(2)顶部设置有上板(4),所述上板(4)外壁两侧均固定连接有上突起(43),所述上突起(43)与下突起(203)固定连接,所述上突起(43)与下突起(203)之间开设有空隙(3),所述上板(4)内部开设有上导孔(41),所述上导孔(41)内部与接触探针(1)相匹配,所述下插孔(202)顶部相通有上插孔(42),所述上板(4)与下板(2)之间设置有导块(5),所述导块(5)内部开设有块导孔(51),所述块导孔(51)与接触探针(1)相匹配,所述发光元件(21)顶部匹配有插块孔(52),所述上板(4)顶部开设有探针接口(6),所述探针接口(6)与上导孔(41)相匹配,所述探针接口(6)与接触测试部电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,其特征在于:所述块导孔(51)由下导孔(201)与上导孔(41)连通形成,所述插块孔(52)由下插孔(202)与上插孔(42)连通形成,所述插块孔(52)与发光测试部相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,其特征在于:所述接触测试部由测试电路板(7)、连接端口(8)、连接线(9)、测试连接体(10)、变换板(11)和变换导孔(12)组成。

4.根据权利要求3所述的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,其特征在于:所述上板(4)顶部设置有测试电路板(7),所述测试电路板(7)为电路形式设置,所述测试电路板(7)顶部电性连接有连接端口(8),所述探针接口(6)与测试电路板(7)之间电性连接有连接线(9),所述连接线(9)中轴线处设置有测试连接体(10),所述连接线(9)与探针接口(6)连接处开设有测试连接孔(101),所述测试连接孔(101)与上插孔(42)连通形成有连接插孔(102),所述测试连接体(10)与上板(4)之间设置有变换板(11),所述测试连接孔(101)连接处开设有变换导孔(12)。

5.根据权利要求1所述的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,其特征在于:所述发光测试部包括插在主体部与接触测试部内部的发光导向体、发光体(13)、发光支架(14)、发光连接端(15)、供电体(16)、电源线(17)和上下移动体(18)。

6.根据权利要求5所述的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,其特征在于:所述发光导向体开设于由插块孔(52)、下插孔(202)、上插孔(42)、连接插孔(102)和变换导孔(12)组成的插入孔内部,所述插入孔内部开设有发光导向空间。

7.根据权利要求6所述的一种具有光学测试功能的垂直探针卡,其特征在于:所述发光导向内部设置有发光体(13),所述发光体(13)顶部设置有发光支架(14),所述发光支架(14)顶部中轴线处设置有发光连接端(15),所述发光连接端(15)顶部一侧设置有供电体(16),所述供电体(16)输出端电性连接有电源线(17),所述发光支架(14)顶部远离供电体(16)一侧设置有上下移动体(18)。

技术总结
本实用新型公开了一种具有光学测试功能的垂直探针卡,包括垂直探针卡、接触被测器件上电子元件的主体部、接触测试部和发光测试部,所述主体部包括接触探针、下板、上板、导块和探针接口,所述被测器件顶部设置有下板,所述下板内部开设有下导孔,所述下板内部开设有下插孔,所述下导孔内部设置有接触探针,所述接触探针底端与下导孔内部相匹配。本实用新型通过发光体被固定支撑在通过上下移动体来上下移动的发光支架上,发光量较少时,使其下降靠近发光元件,需要减少光量时,使其上升远离发光元件,发光体通过调整发光体的高度即可调光量,无需其他光量调节装置,不仅可以简化装置,还可以提高使用便利性。

技术研发人员:严日东
受保护的技术使用者:沈阳圣仁电子科技有限公司
技术研发日:2020.08.03
技术公布日:2021.04.06

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