本实用新型涉及芯片测试设备技术领域，尤其涉及一种可冷却铜盘的探针台。
背景技术：
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发中，主要用于检测半导体芯片的质量，在测试时，需要根据芯片的性能及使用范围，搭建不同温度环境以对芯片进行稳定性测试，探针台一般集成有加热系统对铜盘进行加热，而在需要切换回常温测试时，往往只能静置等待铜盘自然冷却至常温方可进行，冷却速度缓慢，严重影响芯片测试的效率。
技术实现要素：
为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种可冷却铜盘的探针台，能够解决铜盘冷却缓慢的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：一种可冷却铜盘的探针台，包括：基座；铜盘，连接有驱动机构，可转动设置在所述基座上；第一冷却组件，包括可拆卸安装在所述基座上的主体，所述主体上靠近所述铜盘的一端设置有气嘴，所述气嘴连接有外置的冷却管；第二冷却组件，固定安装在所述基座上，所述第二冷却组件位于所述铜盘的下方。
进一步地，所述基座呈中空的圆盘状，所述铜盘设置在所述基座的下方，所述气嘴自所述主体倾斜朝下设置。
进一步地，所述基座上设置有定位孔，所述主体的下端面设置有与所述定位孔相配合的定位销。
进一步地，所述主体与所述基座通过螺钉连接。
进一步地，所述基座采用金属材料制成，所述主体的下端面镶嵌有永磁体。
进一步地，所述第二冷却组件包括圆形盘管，所述圆形盘管连接有外置的冷却管。
进一步地，所述驱动机构设置在所述铜盘的下方，所述第二冷却组件上设置有用于让位所述驱动机构的中空部。
进一步地，所述驱动机构为伺服电机，所述驱动机构通过联轴器穿过所述第二冷却组件的中空部并连接所述铜盘。
本实用新型的有益效果有：本实用新型在基座上设置第一冷却组件和第二冷却组件，并且第一冷却组件的气嘴对准铜盘的上端面，第二冷却组件设置在铜盘的下方，通过第一冷却组件和第二冷却组件共同对铜盘进行冷却，加快铜盘的冷却效率，提高设备的使用率以及芯片的测试效率。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本实用新型实施例的探针台的结构侧视图；
图2是本实用新型实施例的探针台的结构正视图；
图3是本实用新型实施例的第二冷却组件的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参照图1与图2所示的一种可冷却铜盘的探针台，该探针台包括基座100，基座100呈中空的圆盘状，基座100的下方设置有可转动的铜盘200，铜盘200连接有驱动机构300，该驱动机可以采用行业内的常规动力源，如伺服电机，伺服电机可以通过联轴器或齿轮啮合或皮带传动等方式驱动铜盘200自转，基座100上设置有可拆卸的第一冷却组件，第一冷却组件包括主体401以及气嘴402，气嘴402外接冷却管600，所述气嘴402设置在主体401上靠近铜盘200的一端，基座100的下方设置有第二冷却组件500，铜盘200设置在基座100与第二冷却组件500之间，并且第二冷却组件500固定在基座100上，第二冷却组件500也外接冷却管600，在探针台需要切换回常温模式测试时，外接的冷却管600通入冷却气体，进而通过第一冷却组件与第二冷却组件500联合作用，使得铜盘200能够快速冷却，提高铜盘200的冷却效率，在冷却时铜盘200还可以自转，使得铜盘200的各部分均匀靠近气嘴402，使得铜盘200冷却均匀。
在一些实施例中，参照图1与图2所示，所述气嘴402自所述主体401倾斜朝下设置，这样的设计使得气嘴402能够对准铜盘200，保证冷却效果，在另外一些实施例中，第一冷却组件有若干个，其可以是两个、三个、四个等等，若干个第一冷却组件沿基座100的周向分布，并且若干个第一冷却组件的气嘴402均对准铜盘200，进一步提升冷却效果。
在一些实施例中，所述基座100上设置有定位孔，所述主体401的下端面设置有与所述定位孔相配合的定位销，并且主体401与基座100通过螺钉连接，在需要冷却铜盘200时，可以将主体401通过定位销与定位孔相配合放置在基座100上，再使用螺钉将主体401与基座100固定；而在完成冷却操作后，可以将第一冷却逐渐拆下，避免第一冷却组件与探针台上的其他部件发生干涉而影响芯片测试的稳定性和可靠性。
在一些实施例中，所述基座100采用金属材料制成，所述主体401的下端面向前有永磁体，也就是主体401通过永磁体吸附在基座100上，这样设计的好处在于方便拆装，需要说明的是，由于主体401与基座100采用定位销与定位孔实现定位以及限制了主体401相对基座100在水平面上的移动和转动，因此该永磁体的磁性可以根据实际情况设定，仅需保证主体401相对基座100的振动不会使得定位销与定位孔脱离即可，并且还方便工人拆装。
在一些实施例中，参照图2与图3所示，所述第二冷却管600包括圆形盘管501，并且圆形盘管501上设置有用于让位驱动机构300的中空部502，具体的，圆形盘管501的圆心部分为中空，铜盘200的下端面延伸有转动轴，转动轴穿过圆形盘管501并于伺服电机的输出端连接，具体的，转动轴与伺服电机的输出端可以通过联轴器连接。
需要说明的是，该第二冷却组件500还包括安装支架，该安装支架可以呈框型，安装支架的一端放置圆形盘管501，另一端通过螺纹连接或焊接的方式固定在基座100的下端面，其还可以是安装支架的一端与圆形盘管501焊接，另一端与基座100的下端面焊接。
需要说明的是，外置的冷却管600上设置有开关阀，在需要冷却铜盘200的时候，工人打开开关阀，冷却管600中的冷却气体即可通入第一冷却组件和第二冷却组件500，冷却气体可以从气嘴402中喷出从而冷却铜盘200的上端面，圆形盘管501设置在铜盘200的下端面进而冷却铜盘200的下端面，也就是通过第一冷却组件与第二冷却组件500联合作用，提升冷却铜盘200的效率，进而提升探针台的使用率。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
1.一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，包括：
基座(100)；
铜盘(200)，连接有驱动机构(300)，可转动设置在所述基座(100)上；
第一冷却组件，包括可拆卸安装在所述基座(100)上的主体(401)，所述主体(401)上靠近所述铜盘(200)的一端设置有气嘴(402)，所述气嘴(402)连接有外置的冷却管(600)；
第二冷却组件(500)，固定安装在所述基座(100)上，所述第二冷却组件(500)位于所述铜盘(200)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述基座(100)呈中空的圆盘状，所述铜盘(200)设置在所述基座(100)的下方，所述气嘴(402)自所述主体(401)倾斜朝下设置。
3.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述基座(100)上设置有定位孔，所述主体(401)的下端面设置有与所述定位孔相配合的定位销。
4.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述主体(401)与所述基座(100)通过螺钉连接。
5.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述基座(100)采用金属材料制成，所述主体(401)的下端面镶嵌有永磁体。
6.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述第二冷却组件(500)包括圆形盘管(501)，所述圆形盘管(501)连接有外置的冷却管(600)。
7.根据权利要求6所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述驱动机构(300)设置在所述铜盘(200)的下方，所述第二冷却组件(500)上设置有用于让位所述驱动机构(300)的中空部(502)。
8.根据权利要求7所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述驱动机构(300)为伺服电机，所述驱动机构(300)通过联轴器穿过所述第二冷却组件(500)的中空部(502)并连接所述铜盘(200)。
技术总结