本实用新型涉及具备等距间隙调整的真空吸附载架,属于具备负压拾取机构等距间隙调整载架的技术领域。
背景技术:
随着半导体技术的快速发展和芯片复杂度的逐年提高,芯片测试已贯穿于整个设计研发与生产过程,并越来越具有挑战性。老化测试是芯片在交付客户使用之前用以剔除早期失效产品的一项重要测试。为了避免反复焊接,不同封装类型的芯片在老化测试中由特制的老化测试座固定在老化板上。
老化板上一般设有连排等距设置的测试座,而老化板存在一定地规格差异,因此其上的测试座间距也存在差异,老化测试设备一般采用负压吸附机构对芯片进行负压拾取及放置,为了批量化装载及卸料需求,一般会根据测试座分布进行配套的负压吸附机构设计,即采用运转载座实现对若干负压吸附机构的搭载,从而满足批量化运转作业需求。
传统运转载座上的负压吸附机构的位置相对固定,仅适用特定距离间隔的测试座,当测试座间距发生变化时,需要人工调节负压吸附机构的间隔距离,操作非常不便,且负压吸附机构的调节精度较差。
技术实现要素:
本实用新型的目的是解决上述现有技术的不足,针对传统运转载座上负压吸附机构的位置相对固定无法满足不同间距测试载座配合需求的问题,提出具备等距间隙调整的真空吸附载架。
为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:
具备等距间隙调整的真空吸附载架,设置在老化测试设备的运转基座上,
包括折展伸缩架及用于驱动所述折展伸缩架伸缩位移的驱动源,
所述折展伸缩架包括若干相连的枢轴支架,所述枢轴支架包括呈交叉状枢轴配接的第一连接臂和第二连接臂,所述第一连接臂的两端与所述第二连接臂的两端分别设有配接孔,相邻所述枢轴支架的第一连接臂与第二连接臂通过活动销穿接所述配接孔相枢轴配接,
所述驱动源包括设置在所述运转基座上的具备垂直向开合位移的两个驱动座,一组相邻所述枢轴支架之间的两个活动销分别与所述驱动座一一对应相配接,
任意相邻所述枢轴支架的两个活动销上设有垂直向设置的负压吸附杆,所述负压吸附杆与一个活动销相固接、与另一个活动销相滑动配接。
优选地,所述枢轴支架具备用于第一连接臂与第二连接臂交叉枢轴配接的配接桩,所述配接桩的自由端设有锁位螺杆。
优选地,所述扩展伸缩架两端的枢轴支架分别设有端位架,所述端位架包括与所述第一连接臂相枢轴配接的第一延伸臂、及与所述第二连接臂相连的第二延伸臂,所述第一延伸臂与所述第二延伸臂的自由端相枢轴配接。
优选地,所述第一延伸臂与所述第二延伸臂的枢轴配接部设有配接桩,所述配接桩的自由端设有锁位螺杆。
本实用新型的有益效果主要体现在:
1.满足搭载负压吸附杆进行等距间隙调整需求,从而适应不同间距测试座的对位,且在调节过程中确保负压吸附杆的垂直向稳定。
2.通过线性位移控制即可实现对折展伸缩架的伸缩位移调整,调节操作方便快捷,且调节位置精度较高,满足批量化精确对位需求。
3.整体设计简洁巧妙,易于搭载及调节作业。
附图说明
图1是本实用新型具备等距间隙调整的真空吸附载架的结构示意图。
图2是本实用新型具备等距间隙调整的真空吸附载架的爆炸结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供具备等距间隙调整的真空吸附载架。以下结合附图对本实用新型技术方案进行详细描述,以使其更易于理解和掌握。
具备等距间隙调整的真空吸附载架,设置在老化测试设备的运转基座上,如图1和图2所示,包括折展伸缩架及用于驱动折展伸缩架伸缩位移的驱动源。
折展伸缩架包括若干相连的枢轴支架1,枢轴支架1包括呈交叉状枢轴配接的第一连接臂11和第二连接臂12,第一连接臂11的两端与第二连接臂12的两端分别设有配接孔2,相邻枢轴支架1的第一连接臂与第二连接臂通过活动销3穿接配接孔2相枢轴配接。
驱动源包括设置在运转基座上的具备垂直向开合位移的两个驱动座4,一组相邻枢轴支架1之间的两个活动销分别与驱动座4一一对应相配接。
任意相邻枢轴支架1的两个活动销上设有垂直向设置的负压吸附杆8,负压吸附杆与一个活动销相固接、与另一个活动销相滑动配接。
具体地实现过程及原理说明:
通过两个驱动座4的垂直向开合位移,能实现对两个活动销的垂直向开合驱动,从而使得扩展伸缩架水平向拉伸或收缩,而在扩展伸缩架水平或收缩过程中,相邻枢轴支架1之间的两个活动销一直保持垂直向状态。由此,将负压吸附杆设置在两个活动销上,并且与其中一个活动销相固接,与另一个活动销相滑动配接。
在间距调节过程中,两个驱动座4通过开合位移能实现对负压吸附杆的等距间隙调整,且负压吸附杆处于垂直状态,需要说明的是,在开合位移过程中,负压吸附杆配接的两个活动销存在垂直向位移调整,因此滑动配接的活动销能自适应调整位置度。
对驱动源进行具体说明,其包括设置在运转基座上的固定座体和线性位移滑块,一个驱动座4与固定座体相固接,另一个驱动座4与线性位移滑块相固接,通过线性位移滑块的垂直向位移驱动实现两个驱动座4之间的位置度调整。
当然,为了折展伸缩架的位移稳定性,可以在运转基座上设有水平导向槽,而位于固定座体一侧的活动销的背侧可以滑动配接在该水平导向槽内,从而起到辅助线性导向需求。
在一个具体实施例中,枢轴支架1具备用于第一连接臂与第二连接臂交叉枢轴配接的配接桩5,配接桩5的自由端设有锁位螺杆6。
具体地说明,为了确保间距调节后的稳定性,可以设置限位板,限位板上开设有供锁位螺杆6穿过的条槽,当折展伸缩架位移调节完成后,将限位板套接在配接桩5的锁位螺杆6上,通过螺栓进行限位锁固。
在一个具体实施例中,扩展伸缩架两端的枢轴支架1分别设有端位架7,端位架7包括与第一连接臂相枢轴配接的第一延伸臂71、及与第二连接臂相连的第二延伸臂72,第一延伸臂与第二延伸臂的自由端相枢轴配接。第一延伸臂与第二延伸臂的枢轴配接部设有配接桩,配接桩的自由端设有锁位螺杆。
由于端位枢轴支架1的第一连接臂和第二连接臂会存在自由配接孔2端,采用了端位架7设计,能对端位自由臂进行稳定,使得折展伸缩架整体结构更可靠。
通过以上描述可以发现,本实用新型具备等距间隙调整的真空吸附载架,满足搭载负压吸附杆进行等距间隙调整需求,从而适应不同间距测试座的对位,且在调节过程中确保负压吸附杆的垂直向稳定。通过线性位移控制即可实现对折展伸缩架的伸缩位移调整,调节操作方便快捷,且调节位置精度较高,满足批量化精确对位需求。整体设计简洁巧妙,易于搭载及调节作业。
以上对本实用新型的技术方案进行了充分描述,需要说明的是,本实用新型的具体实施方式并不受上述描述的限制,本领域的普通技术人员依据本实用新型的精神实质在结构、方法或功能等方面采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案,均落在本实用新型的保护范围之内。
1.具备等距间隙调整的真空吸附载架,设置在老化测试设备的运转基座上,其特征在于:
包括折展伸缩架及用于驱动所述折展伸缩架伸缩位移的驱动源,
所述折展伸缩架包括若干相连的枢轴支架,所述枢轴支架包括呈交叉状枢轴配接的第一连接臂和第二连接臂,所述第一连接臂的两端与所述第二连接臂的两端分别设有配接孔,相邻所述枢轴支架的第一连接臂与第二连接臂通过活动销穿接所述配接孔相枢轴配接,
所述驱动源包括设置在所述运转基座上的具备垂直向开合位移的两个驱动座,一组相邻所述枢轴支架之间的两个活动销分别与所述驱动座一一对应相配接,
任意相邻所述枢轴支架的两个活动销上设有垂直向设置的负压吸附杆,所述负压吸附杆与一个活动销相固接、与另一个活动销相滑动配接。
2.根据权利要求1所述具备等距间隙调整的真空吸附载架,其特征在于:
所述枢轴支架具备用于第一连接臂与第二连接臂交叉枢轴配接的配接桩,所述配接桩的自由端设有锁位螺杆。
3.根据权利要求1所述具备等距间隙调整的真空吸附载架,其特征在于:
所述折展伸缩架两端的枢轴支架分别设有端位架,所述端位架包括与所述第一连接臂相枢轴配接的第一延伸臂、及与所述第二连接臂相连的第二延伸臂,所述第一延伸臂与所述第二延伸臂的自由端相枢轴配接。
4.根据权利要求3所述具备等距间隙调整的真空吸附载架,其特征在于:
所述第一延伸臂与所述第二延伸臂的枢轴配接部设有配接桩,所述配接桩的自由端设有锁位螺杆。
技术总结