蚀刻机药水过滤装置的制作方法

专利2024-09-27  14


本实用新型属于液体过滤技术领域,更具体地说,是涉及蚀刻机药水过滤装置。



背景技术:

目前对蚀刻精度要求越来越高,并且环境保护压力逐年增大,绝大多数生产企业均选择酸性或碱性蚀刻液进行蚀刻生产。在蚀刻之前需要制备用于蚀刻机使用的蚀刻机药水。制备蚀刻机药水时需要将多个原料进行搅拌,为了减少药水内的杂质,通常会添加过滤装置,通过过滤装置对搅拌好的蚀刻机药水进行过滤。但过滤装置在使用一段时间后,其内部的过滤件需要进行更换,现有过滤装置往往需要将过滤罐内的溶液全部排出才能更换过滤件,整个更换过程程序较为繁琐,影响正常的生产。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供蚀刻机药水过滤装置,旨在解决需要将过滤罐内的溶液全部排出才能更换过滤件,整个更换过程程序较为繁琐,影响正常的生产的问题。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:提供蚀刻机药水过滤装置,包括:

罐体,上部连通有输液管,下部开设有出液口;

一级过滤件,可拆卸安装在所述罐体的顶部,所述一级过滤件顶端为用于连通所述输液管的敞口端,底端为封闭端;

壳体,固设在所述罐体下部,且与所述出液口连通设置;和

二级过滤件,可拆卸安装在所述壳体内;所述二级过滤件与所述壳体的内壁密闭配合;

所述一级过滤件和所述二级过滤件用于先后对所述蚀刻机药水进行过滤。

作为本申请另一实施例,所述一级过滤件的顶部设有连接筒,所述连接筒可拆卸安装在所述罐体的顶部。

作为本申请另一实施例,所述罐体的内壁固定有用于承托所述连接筒的支撑座;所述支撑座上开设有与所述输液管连通的连通口。

作为本申请另一实施例,所述连接筒上方设有密封盖,所述密封盖与所述支撑座密闭配合。

作为本申请另一实施例,所述密封盖上转动连接有搅拌桨。

作为本申请另一实施例,所述连接筒包括:

支撑部,抵靠在所述支撑座上;和

连接部,卡接在所述支撑部上,用于与所述支撑部配合卡接所述一级过滤件。

作为本申请另一实施例,所述支撑部的底部固定有位于所述一级过滤件外侧的防护网,所述连接部的底部固定有位于所述一级过滤件内侧的阻隔网;所述防护网和所述阻隔网用于配合限位所述一级过滤件。

作为本申请另一实施例,所述密封盖的下底面抵接在所述连接部上。

作为本申请另一实施例,所述二级过滤件顶部设有密封座,所述密封座与所述壳体连接固定。

作为本申请另一实施例,所述二级过滤件与所述壳体之间设有密封垫圈。

本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的有益效果在于:与现有技术相比,本实用新型蚀刻机药水过滤装置中在罐体的上部连通有输液管,在下部开设有出液口。一级过滤件可拆卸安装在罐体的顶部,输液管用于向一级过滤件的敞口端输送蚀刻机药水。壳体固设在罐体的下部,且与出液口连通设置。在壳体内可拆卸安装有二级过滤件,并且二级过滤件与壳体的内壁密闭配合。蚀刻机药水经过一级过滤件的过滤后流经罐体并流入壳体内,二级过滤件用于进行再次过滤。在使用一段时间后,在一级过滤件的底端为封闭端,封闭端能够对蚀刻机药水中的杂质进行收集。一级过滤件从罐体顶部取出即可进行更换,由于二级过滤件可拆卸安装在壳体内,当需要更换二级过滤件时将二级过滤件从壳体上取出即可。由于本申请中一级过滤件和二级过滤件均便于更换与清洗,保证了蚀刻机药水过滤过程的正常进行。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的蚀刻机药水过滤装置的结构示意图;

图2为图1中a处的局部放大视图;

图3为图1中b处的局部放大视图;

图4为本实用新型实施例提供的搅拌桨与密封盖的连接示意图;

图5为本实用新型实施例提供的阻隔网与连接部的连接示意图。

图中:1、罐体;2、支撑座;3、密封盖;4、搅拌桨;5、废气收集口;6、输液管;7、出液口;8、二级过滤件;9、壳体;10、一级过滤件;11、密封座;12、密封垫圈;13、支撑部;14、连接部;15、防护网;16、阻隔网;17、避让孔。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

请参阅图1、图2和图3,现对本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置进行说明。蚀刻机药水过滤装置,包括:罐体1、一级过滤件10、壳体9和二级过滤件8。罐体1上部连通有输液管6,下部开设有出液口7。一级过滤件10可拆卸安装在罐体1的顶部,一级过滤件10顶端为用于连通输液管6的敞口端,底端为封闭端。壳体9固设在罐体1下部,且与出液口7连通设置。二级过滤件8可拆卸安装在壳体9内;二级过滤件8与壳体9的内壁密闭配合。一级过滤件10和二级过滤件8用于先后对蚀刻机药水进行过滤。

本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的有益效果在于:与现有技术相比,本实用新型蚀刻机药水过滤装置中在罐体1的上部连通有输液管6,在下部开设有出液口7。一级过滤件10可拆卸安装在罐体1的顶部,输液管6用于向一级过滤件10的敞口端输送蚀刻机药水。壳体9固设在罐体1的下部,且与出液口7连通设置。在壳体9内可拆卸安装有二级过滤件8,并且二级过滤件8与壳体9的内壁密闭配合。蚀刻机药水经过一级过滤件10的过滤后流经罐体1并流入壳体9内,二级过滤件8用于进行再次过滤。在使用一段时间后,在一级过滤件10的底端为封闭端,封闭端能够对蚀刻机药水中的杂质进行收集。一级过滤件10从罐体1顶部取出即可进行更换,由于二级过滤件8可拆卸安装在壳体9内,当需要更换二级过滤件8时将二级过滤件8从壳体9上取出即可。由于本申请中一级过滤件10和二级过滤件8均便于更换与清洗,保证了蚀刻机药水过滤过程的正常进行。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1,一级过滤件10的顶部设有连接筒,连接筒可拆卸安装在罐体1的顶部。本申请中一级过滤件10和二级过滤件8均可为具有一定柔性以及伸展性的过滤网,并且二级过滤件8的过滤能力高于一级过滤件10。为了使一级过滤件10能够稳定在罐体1上,一级过滤件10的顶部设有连接筒,连接筒可拆卸安装在罐体1顶部,通过连接筒即可将一级过滤件10从罐体1内抽出。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1,罐体1顶部的内壁固定有用于承托连接筒的支撑座2;支撑座2上开设有与输液管6连通的连通口。罐体1为u型结构,罐体1内开设有空腔,罐体1的内壁与连接筒之间存在蚀刻机药水流通的通道。本申请中输液管6需要向一级过滤件10的顶部输送蚀刻机药水,而连接筒连同一级过滤件10需要从罐体1的顶部抽出,为了使输液管6与连接筒之间不产生干涉,在罐体1顶部的内壁上固定有支撑座2。连接筒安装在支撑座2上,同时在支撑座2的侧壁上开设的连通口用于将输液管6排出的液体引流至连接筒的上方,从而避免了输液管6对连接筒的干涉。

本申请中,支撑座2上开设有用于卡接连接筒的卡槽。由于连接筒的顶端安装在支撑座2上,而底端位于罐体1的内部。为了保证连接筒位置的稳定性,在支撑座2上开设有卡槽。支撑座2为环形件,并且顶端为固定端固定在罐体1的内壁上,底端为悬空端。支撑座2的悬空端向罐体1的轴线延伸,从而形成承托并卡接连接筒的卡槽。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1和图4,连接筒上方设有密封盖3,密封盖3与支撑座2密闭配合。蚀刻机药水在搅拌与过滤过程中会挥发出有害气体,需要对这部分气体进行收集,因此在密封盖3上贯通开设有废气收集口5,废气收集口5连通有过滤吸收装置,通过过滤吸收装置对蚀刻机药水挥发的气体进行处理从而达到可排入大气的标准。在密封盖3上设置有用于密封与支撑座2之间间隙的柔性垫圈,保证了密封盖3与支撑座2之间连接的密闭性。密封盖3的另一作用在于将连接筒和一级过滤件10与外界进行隔绝。密封盖3可与支撑套的侧壁螺纹连接,也可借助密封盖3的重力稳定在支撑座2上。由于支撑座2的内部开设有连通口,因此在密封盖3上开设有用于避让连通口的避让孔17,从输液管6排出的蚀刻机药水经过避让孔17流入连接筒内。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图4,密封盖3的顶部转动连接有搅拌桨4。搅拌桨4端部位于一级过滤件10内。在进行蚀刻机药水配置时,现有的方式均将多种原料添加在搅拌罐内进行搅拌,当搅拌完成后将溶液通入过滤罐内进行过滤,而由于配置蚀刻机药水的部分原料溶解速度较慢等其他原因,导致部分未溶解的原料堆积在过滤罐内,造成清理过滤罐的次数较多,影响正常的生产。为此本申请中,在密封盖3上转动连接有搅拌桨4,搅拌桨4的顶端位于密封盖3的外侧,并与电机传动连接,搅拌桨4的底端延伸至一级过滤件10的内部,用于对蚀刻机药水再次进行搅拌。并且连接筒为筒状结构,在搅拌桨4的作用下,未溶解的物质与一级过滤件10碰撞从而加速其溶解。相较于传统的过滤罐,避免了一级过滤件10上未溶解原料的堆积。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1,连接筒包括:支撑部13和连接部14。支撑部13抵靠在支撑座2上。连接部14卡接在支撑部13上,用于与支撑部13配合卡接一级过滤件10。一级过滤件10与防护件的形状相适配。本申请中从输液管6排出的液体首先经过一级过滤件10,然后由二级过滤件8进行过滤。在支撑部13的上顶面开设有凹槽,连接部14上设置有与凹槽相适配的凸起部,凸起部卡接在凹槽内。由于从输液管6排出的蚀刻机药水对一级过滤网具有一定的冲击力,并且在过滤时杂质均积累在一级过滤件10机的底部,为了保证一级过滤件10位置的稳定,在一级过滤件10的外沿上固定有防脱胶圈,防脱胶圈延伸至凹槽的外侧,当支撑部13卡接在连接部14后,防脱胶圈被限位在连接部14与支撑部13接缝处,通过防脱胶圈能够保证一级过滤件10位置的稳定。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1和图5,支撑部13的底部固定有位于一级过滤件10外侧的防护网15,连接部14的底部固定有位于一级过滤件10内侧的阻隔网16;防护网15和阻隔网16用于配合限位一级过滤件10。为了减少蚀刻机药水流动时一级过滤件10的冲击,在一级过滤网的外侧贴合设置有防护网15。通过防护网15限制一级过滤件10向外侧运动的变形量。由于在密封套上转动连接有搅拌桨4,在搅拌桨4的扰流作用易破坏一级过滤件10。因此在一级过滤件10的内侧设置有阻隔网16,通过防护网15和阻隔网16用于配合限位一级过滤件10,支撑部13和连接部14均可为钢制网。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1,密封盖3的下底面抵接在连接部14上。密封盖3下底面用于将连接部14限位在支撑座2上。为了使密封盖3与罐体1围设成密闭结构的同时,限制支撑部13和连接部14的运动,将密封盖3的下底面抵接在卡接件的顶部。密封盖3与支撑座2之间螺纹连接,通过旋紧密封盖3即可保证支撑部13和连接部14均被挤压在支撑座2上。当需要更换一级过滤件10时,首先拆卸下密封盖3,然后将连接部14和一级过滤件10取出即可。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1和图3,二级过滤件8顶部设有密封座11,密封座11与壳体9连接固定。通过密封座11能够在滑入二级过滤件8后保证壳体9与二级过滤件8之间的密闭性。密封座11通过螺栓与壳体9连接固定。

作为本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置的一种具体实施方式,请参阅图1和图3,二级过滤件8与壳体9之前设有密封垫圈12。二级过滤件8用于对蚀刻机药水进行二次过滤,并且为了便于更换二级过滤件8,在壳体9的顶部开设有通槽,二级过滤件8从通槽滑动至壳体9的内部,密封垫圈12用于密封二级过滤件8与壳体9内壁之间的间隙,同时当二级过滤件8滑入壳体9后,二级过滤件8的顶部通过密封座11密闭设置,从而保证在插入二级过滤件8后仍能够保证具有良好的密闭性。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:

1.蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,包括:

罐体,上部连通有输液管,下部开设有出液口;

一级过滤件,可拆卸安装在所述罐体的顶部,所述一级过滤件顶端为用于连通所述输液管的敞口端,底端为封闭端;

壳体,固设在所述罐体下部,且与所述出液口连通设置;和

二级过滤件,可拆卸安装在所述壳体内;所述二级过滤件与所述壳体的内壁密闭配合;

所述一级过滤件和所述二级过滤件用于先后对所述蚀刻机药水进行过滤。

2.如权利要求1所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述一级过滤件的顶部设有连接筒,所述连接筒可拆卸安装在所述罐体的顶部。

3.如权利要求2所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述罐体的内壁固定有用于承托所述连接筒的支撑座;所述支撑座上开设有与所述输液管连通的连通口。

4.如权利要求3所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述连接筒上方设有密封盖,所述密封盖与所述支撑座密闭配合。

5.如权利要求4所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述密封盖上转动连接有搅拌桨。

6.如权利要求4所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述连接筒包括:

支撑部,抵靠在所述支撑座上;和

连接部,卡接在所述支撑部上,用于与所述支撑部配合卡接所述一级过滤件。

7.如权利要求6所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述支撑部的底部固定有位于所述一级过滤件外侧的防护网,所述连接部的底部固定有位于所述一级过滤件内侧的阻隔网;所述防护网和所述阻隔网用于配合限位所述一级过滤件。

8.如权利要求6所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述密封盖的下底面抵接在所述连接部上。

9.如权利要求1所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述二级过滤件顶部设有密封座,所述密封座与所述壳体连接固定。

10.如权利要求9所述的蚀刻机药水过滤装置,其特征在于,所述二级过滤件与所述壳体之间设有密封垫圈。

技术总结
本实用新型提供了蚀刻机药水过滤装置,属于液体过滤技术领域,包括:罐体、一级过滤件、壳体和二级过滤件。罐体上部连通有输液管,下部开设有出液口。一级过滤件可拆卸安装在罐体的顶部,一级过滤件顶端为用于连通输液管的敞口端,底端为封闭端。壳体固设在罐体下部,且与出液口连通设置。二级过滤件可拆卸安装在壳体内;二级过滤件与壳体的内壁密闭配合。一级过滤件和二级过滤件用于先后对蚀刻机药水进行过滤。本实用新型提供的蚀刻机药水过滤装置当需要更换二级过滤件时将二级过滤件从壳体上抽出即可。由于本申请中一级过滤件和二级过滤件均便于更换与清洗,保证了蚀刻机药水过滤过程的正常进行。

技术研发人员:郭满锋
受保护的技术使用者:东莞市固鸿精密科技有限公司
技术研发日:2020.05.27
技术公布日:2021.04.06

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