一种MEMS压力传感器测试结构的制作方法

专利2024-10-21  55


本实用新型涉及传感器测试技术领域,特别是一种mems压力传感器测试结构。



背景技术:

随着智能化时代来临,mems迎来快速增长期,智能手机和蓝牙耳机兴起带动mems出货量倍增;并且随着自动化行业的迅速发展,对mems压力传感器的测试性能要求越来越高,现有的生产多为人工手动测试,此种作业方式具有效率低,人工成本高且人工劳动强度大,并且人工操作容易出现测试异常的情况,在此过程中若异常未被发现,则会影响后面的使用,所以传统作业方式不能满足现代化智能产线对生产成本控制和质量要求的需要。

鉴于上述情况,有必要对现有的mems压力传感器测试方式加以改进,使其能够适应现在对质量要求以及生产成本控制的需要。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有的对mems压力传感器测试方式效果不理想,人工手动测试容易存在测试异常的情况,并且在此过程中,人工成本高且人工劳动强度大,不能满足现在智能化产线的需要,因此我们在现有测试方式的基础上设计了一种mems压力传感器测试结构,无需人工进行测试,进一步降低了人工成本,且提高了效率。

实现上述目的本实用新型的技术方案为,一种mems压力传感器测试结构,包括主体支架、安装于主体支架上的第一挡框,所述主体支架上固定安装有z轴模组,位于主体支架上还设有第一测试结构,所述第一测试结构与z轴模组连接。

对本方案的进一步补充,所述z轴模组包括驱动电缸、与电缸连接的推杆、与推杆连接的z轴移动块、与z轴移动块连接的卡爪,所述驱动电缸安装于主体支架上,所述卡爪与z轴移动块固定连接。

对本方案的进一步补充,所述第一测试结构包括第一砝码,所述第一砝码的上下两侧均延伸有连接轴,连接轴包括第一连接轴和第二连接轴,所述第一连接轴的上方与卡爪卡接,所述卡爪上设有能够对第一连接轴进行卡接的凹槽,所述第二连接轴贯穿第一挡框的下表面并且裸露在第一挡框的下方,第二连接轴下方安装压头。

对本方案的进一步补充,所述第一测试结构设有多个且呈直线分布,所述卡爪上设有多个凹槽。

对本方案的进一步补充,在主体支架上且位于第一砝码的一侧设有限位齿条。

对本方案的进一步补充,所述第一连接轴上套设有滑套,所述滑套贯穿第一挡框的上表面且顶靠在第一挡框的下表面。

对本方案的进一步补充,在第一测试结构的上方设置了第二测试结构,所述主体支架上位于第一挡框的上方设有第二挡框,所述卡爪设有两个,其中一个卡爪与第一测试结构卡接,另外一个卡爪与第二测试结构卡接,所述第二测试结构包括第二砝码,所述第二砝码设置于第二挡框的上方,所述第二砝码下方设有第三连接轴,所述第三连接轴贯穿所述第二挡框的上下表面,所述第三连接轴卡接在卡爪上的凹槽内。

对本方案的进一步补充,所述第三连接轴上也套设有滑套,所述滑套下端贯穿所述第二挡框的上下表面且其上表面顶靠在第二挡框上。

对本方案的进一步补充,所述第一连接轴与第三连接轴不重合。

对本方案的进一步补充,第二测试结构的设置数量与第一测试结构的设置数量相同。

其有益效果在于,通过测试结构与z轴模组配合,能够有效地对mems压力传感器进行测试,并且z轴模组能够控制测试结构上下移动,适用范围大,其中,测试结构设有第一测试结构和第二测试结构,通过施加不同压力接触mems压力传感器来测试,能够适用于对不同型号的mems压力传感器进行测试,便于人们进行使用。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图2是本实用新型的第一角度局部结构示意图;

图3是本实用新型的第二角度局部结构示意图;

图中,1、主体支架;2、第一挡框;31、z轴移动块;32、卡爪;321、凹槽;33、滑轨;41、第一砝码;42、第一连接轴;43、第二连接轴;44、压头;45、滑套;46、限位齿条;5、第二挡框;6、第二砝码;7、第三连接轴。

具体实施方式

本实用新型主要是根据现有技术存在的缺陷从而进行设计的,本实用新型的技术方案摆脱了人工,通过机器对mems压力传感器进行测试,进一步降低了企业的人工成本支出,便于人们进行使用。

下面将根据附图1-3对本实用新型的技术方案做详细的阐述:

首先本实用新型包括主体支架1、安装于主体支架1上的第一挡框2,所述主体支架1上固定安装有z轴模组,所述z轴模组包括驱动电缸(未图示)、与电缸连接的推杆(未图示)、与推杆连接的z轴移动块31、与z轴移动块31连接的卡爪32,所述驱动电缸安装于主体支架1上,所述驱动电缸能够带动推杆在z方向上下移动,在推杆移动过程中,z轴移动块31随之进行移动,所述卡爪32与z轴移动块31固定连接,z轴移动块31上下移动过程中,卡爪32随之进行上下移动;为了更好地使得z轴移动块31上下移动,位于z轴移动块31后侧设有滑轨33,所述z轴移动块31卡接在滑轨33上且能够稳定地在其上移动,其中,位于主体支架1上还设有第一测试结构,所述第一测试结构与z轴模组连接,其包括第一砝码41,所述第一砝码41的上下两侧均延伸有连接轴,该连接轴包括第一连接轴42和第二连接轴43,所述第一连接轴42的上方与卡爪32卡接,进一步地,所述卡爪32上设有能够对第一连接轴42进行卡接的凹槽321,即工作时卡爪32能够对第一测试结构进行固定,从而在工作时,所述z轴模组能够带动第一测试结构在z方向上下移动,从而使得第一测试结构作用于mems压力传感器上的力恒定;所述第二连接轴43贯穿第一挡框2的下表面并且裸露在第一挡框2的下方,便于后续对mems压力传感器进行测试,其中,如果直接将第二连接轴43放置于mems压力传感器上测试时,容易对mems压力传感器表面损坏,因此我们在第二连接轴43下方安装压头44,便于安全地对mems压力传感器进行测试;其中,我们在对mems压力传感器进行测试时,所述第一测试结构设有多个且呈直线分布,所述卡爪32上设有多个凹槽321,便于对多个第一测试结构进行卡死;进一步地,由于z轴模组在上下移动过程中,所述第一砝码41可能会产生转动,为此,我们在主体支架1上且位于第一砝码41的一侧设有限位齿条46,对第一砝码41进行轴向限位,从而防止第一砝码41进行转动;并且在使用过程中,由于z轴模组会不停的带动第一连接轴42在主体支架1上下移动,此时为了对第一连接轴42起到保护的作用,所述第一连接轴42上套设有滑套45,所述滑套45贯穿第一挡框2的上表面且顶靠在第一挡框2的下表面;由于在工作过程中,一个砝码的恒定压力可能达不到我们的测试要求,因此我们在第一测试结构的上方设置了第二测试结构,所述主体支架1上位于第一挡框2的上方设有第二挡框5,所述卡爪32设有两个,其中一个卡爪32与第一测试结构卡接,另外一个卡爪32与第二测试结构卡接,所述第二测试结构包括第二砝码6,所述第二砝码6设置于第二挡框5的上方,所述第二砝码6下方设有第三连接轴7,所述第三连接轴7贯穿所述第二挡框5的上下表面,所述第三连接轴7卡接在卡爪32上的凹槽321内,工作时,z轴模组通过其上的卡爪32能够带动第二测试结构上下移动;其中,为了对第三连接轴7进一步起到保护的作用,减少其工作时与第二挡框5之间的摩擦力,所述第三连接轴7上也套设有滑套45,所述滑套45下端贯穿所述第二挡框5的上下表面且其上表面顶靠在第二挡框5上,即所述z轴模组能够稳定带动所述第二测试结构上下移动;进一步地,所述第一连接轴42与第三连接轴7不重合,即工作时第一测试结构与第二测试结构互不干扰;其中,第二测试结构的设置数量与第一测试结构的设置数量相同。

工作原理:首先将本装置放置到需要测试的mems压力传感器的上方,然后根据压头44与mems压力传感器之间的距离,使得z轴模组进行工作,从而使得其上的卡爪32带动第一测试结构移动,直至使得压头44顶靠在mems压力传感器上,此时若第一砝码41的恒定压力不够,此时z轴模组通过其上的卡爪32驱动第二测试结构移动,直至使得第三连接轴7顶靠在第一连接轴42,此时即可对mems压力传感器施加第一砝码41和第二砝码6的压力,适用性强,效率大大提高,便于人们进行使用。

上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案,本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理,属于本实用新型的保护范围之内。


技术特征:

1.一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,包括主体支架、安装于主体支架上的第一挡框,所述主体支架上固定安装有z轴模组,位于主体支架上还设有第一测试结构,所述第一测试结构与z轴模组连接。

2.根据权利要求1所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,所述z轴模组包括驱动电缸、与电缸连接的推杆、与推杆连接的z轴移动块、与z轴移动块连接的卡爪,所述驱动电缸安装于主体支架上,所述卡爪与z轴移动块固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,所述第一测试结构包括第一砝码,所述第一砝码的上下两侧均延伸有连接轴,连接轴包括第一连接轴和第二连接轴,所述第一连接轴的上方与卡爪卡接,所述卡爪上设有能够对第一连接轴进行卡接的凹槽,所述第二连接轴贯穿第一挡框的下表面并且裸露在第一挡框的下方,第二连接轴下方安装压头。

4.根据权利要求3所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,所述第一测试结构设有多个且呈直线分布,所述卡爪上设有多个凹槽。

5.根据权利要求3所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,在主体支架上且位于第一砝码的一侧设有限位齿条。

6.根据权利要求3所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,所述第一连接轴上套设有滑套,所述滑套贯穿第一挡框的上表面且顶靠在第一挡框的下表面。

7.根据权利要求3所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,在第一测试结构的上方设置了第二测试结构,所述主体支架上位于第一挡框的上方设有第二挡框,所述卡爪设有两个,其中一个卡爪与第一测试结构卡接,另外一个卡爪与第二测试结构卡接,所述第二测试结构包括第二砝码,所述第二砝码设置于第二挡框的上方,所述第二砝码下方设有第三连接轴,所述第三连接轴贯穿所述第二挡框的上下表面,所述第三连接轴卡接在卡爪上的凹槽内。

8.根据权利要求7所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,所述第三连接轴上也套设有滑套,所述滑套下端贯穿所述第二挡框的上下表面且其上表面顶靠在第二挡框上。

9.根据权利要求7所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,所述第一连接轴与第三连接轴不重合。

10.根据权利要求7所述的一种mems压力传感器测试结构,其特征在于,第二测试结构的设置数量与第一测试结构的设置数量相同。

技术总结
本实用新型公开了一种MEMS压力传感器测试结构,包括主体支架、安装于主体支架上的第一挡框,所述主体支架上固定安装有Z轴模组,位于主体支架上还设有第一测试结构,所述第一测试结构与Z轴模组连接。本实用新型的有益效果是,通过测试结构与Z轴模组配合,能够有效地对MEMS压力传感器进行测试,并且Z轴模组能够控制测试结构上下移动,适用范围大。

技术研发人员:陈恕华;胡晨光
受保护的技术使用者:苏州搏技光电技术有限公司
技术研发日:2020.09.07
技术公布日:2021.04.06

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