本发明涉及探针台，具体为一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置。
背景技术：
1、探针台是一种用于微电子器件测试和测量的设备。它通常由一个平台和多个微调探针组成。探针台的主要功能是将微型探针精确地接触到待测试的芯片或器件上的引脚或电极，以进行电性能测试、信号分析、射频测试等。通过控制探针的位置和压力，可以实现对器件的精确测量和操控，探针台广泛应用于半导体行业、集成电路设计和生产、微纳电子研究等领域。它对于验证芯片性能、检测电路故障、优化器件设计等方面非常重要。
2、在探针台进行长时间测试作业时会产生热量和热噪声，从而对测试的精准度造成干扰，现有技术中对探针台进行降温时，大多都是通过液氮冷却或通过制冷机进行冷却降温，该降温方式存在以下缺点：
3、（1）设备整体投入成本大大增加，当无需冷却到室温以下时，性价比低；
4、（2）冷媒会蒸发需定期的加入冷媒保持降温效果，有管道泄漏会导致损坏设备电路板。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，解决了上述提出的问题。
2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，包括与气浮运动平台相连的支撑连接块和固定在支撑连接块上方的支撑底座，所述支撑底座的内部安装有四氟环带，所述支撑底座内腔通过螺纹套管组件安装有气冷盘，所述气冷盘的顶部设置有烧结盘，所述烧结盘的顶部设置有加热板，所述加热板的顶部设置有上下表面均连接陶瓷板的铝垫板，所述陶瓷板的顶部设置有吸盘；
3、所述气冷盘的内腔开设有多个出气槽，且多个出气槽的中段以气冷盘圆心为中心相互交叉组合形成，所述气冷盘的一侧开设有与位于气冷盘0度和180度方位的出气槽连通的进气口，所述进气口通过过滤组件与外界气源连通；
4、多个出气槽均位于烧结盘的下方，且出气方向均朝向烧结盘下方。
5、作为本发明进一步的方案：过滤组件包括过滤箱和位于过滤箱两侧分别与进气口和电磁三通阀连通的连通管道，所述连通管道贯穿并延伸至过滤箱的内腔，所述连通管道位于过滤箱的一端连通有伸缩管道，所述伸缩管道的一端连通有连通环，所述连通环的一侧固定连接有过滤网，所述过滤箱的内腔转动连接有通过电机驱动的转动轴，所述转动轴的表面分别固定连接有与连通环一侧对接的连通套筒和与过滤网抵接的擦拭板，所述连通管道设置有四个，且两两一组，分别同轴设置于连通套筒的两侧，在使用的时候经过气泵吹出的空气经过制冷组件制冷后输送到电磁三通阀内，根据电磁三通阀的切换输送到一个连通管道和连通环的组合内，然后进入气冷盘内，通过出气槽吹出，对气冷盘进行上方的烧结盘进行降温，然后升温后的空气抽出，整体结构简单，操作便捷，集成化程度高，减少空间占用，将外部的压缩空气进行导入，同时通过出气槽对空气进行引导后通过出气槽进行均匀分散，从而完成对探针台的风冷降温，大大降低了投入成本，利于使用，并且在使用的时候空气经过连通套筒内部的两个过滤网进行过滤，可以有效对空气中的杂质进行过滤，防止对出气槽内部造成影响，并且在使用一段时间后，堵塞后，通过电磁三通阀切换另一个连通管道进行供气，可以减少对过滤网的清理频率，在需要对过滤网清理的时候，停止进行进气，此时驱动转动轴转动，带动连通套筒和擦拭板转动，此时连通套筒转动侧边对连通环进行挤压，使其朝向两侧挤压复位弹簧，两侧的伸缩管道均收缩，然后连通套筒从连通环之间分离，然后复位弹簧带动伸缩管道复位，带动过滤网复位，此时擦拭板运动对过滤网的表面进行擦拭，将过滤网表面附着的杂质擦下，此时通过负压口可以快速的对杂质抽出进行分离，防止杂质二次污染空气，然后擦拭板继续转动，弧形导向板与连通管道侧边的连通环抵接，挤压复位弹簧使得伸缩管道收缩，两个连通环之间预留出足够连通套筒运动的缝隙，然后随着转动轴的转动，连通套筒运动到两个连通环之间，此时弧形导向板失去对连通环抵接，此时复位弹簧复位推挤两个连通环挤压在连通套筒的两侧，此时过滤网进入连通套筒的内腔进行连接，形成通路，完成清理，在能够对空气进行过滤的同时，可以有效的对过滤网进行自动清理，无需人工操作，便可清理完毕，并且过滤网可以重复使用，增加使用寿命。
6、作为本发明进一步的方案：所述连通套筒和擦拭板均设置有两个，且相互交错在转动轴表面对称设置，相互交错设置，可以切换使用，并且自身转动可以快速的对两侧过滤网同时进行擦拭，擦拭完毕后继续使用。
7、作为本发明进一步的方案：所述连通管道的表面套设有固定环，所述连通环的表面固定连接有顶杆，所述顶杆的一端贯穿并延伸至固定环的一侧，所述固定环的内腔开设有与顶杆的表面滑动连接的导向槽，所述连通环的表面固定连接有套设在顶杆表面的复位弹簧，所述复位弹簧的一端与固定环的一侧固定连接，通过顶杆的设置，对固定环进行导向，保证在复位弹簧的作用下，当伸缩管道伸缩时都能沿着直线运动，保证两个伸缩管道一直同轴的状态。
8、作为本发明进一步的方案：两个相邻的连通套筒和擦拭板之间均固定连接有弧形导向板，弧形导向板的中段开设有凸起，且两个末端均与连通套筒和擦拭板的表面齐平，通过弧形导向板的设置，在转动时候，弧形导向板与连通管道侧边的连通环抵接，挤压复位弹簧使得伸缩管道收缩，两个连通环之间预留出足够连通套筒运动的缝隙，然后随着转动轴的转动，连通套筒运动到两个连通环之间，此时弧形导向板失去对连通环抵接，此时复位弹簧复位推挤两个连通环挤压在连通套筒的两侧，此时过滤网进入连通套筒的内腔进行连接，形成通路。
9、作为本发明进一步的方案：所述过滤箱的一侧开设有与外界负压机构连通的负压口，通过负压口的设置，当擦拭板擦拭过滤网后掉落的灰尘，通过负压口可以快速的抽出进行分离，防止杂质二次污染空气。
10、作为本发明进一步的方案：位于进气口一侧的两个所述连通管道末端连通在一起并与进气口连通。
11、作为本发明进一步的方案：位于所述电磁三通阀一侧连通管道连通的外界气源为与制冷组件连通的气泵。
12、本发明与现有技术相比具备以下有益效果：
13、本发明，通过气冷盘对吸盘进行控温，整体结构简单，操作便捷，集成化程度高，减少空间占用，将外部的压缩空气进行导入，同时通过出气槽对空气进行引导后通过出气槽进行均匀分散，从而完成对探针台的风冷降温，大大降低了投入成本，利于使用，同时密闭腔室能够有效的隔绝外部的空气，防止大量的水蒸气液化形成滴露，形成干燥的工作环境。
14、本发明，空气经过连通套筒内部的两个过滤网进行过滤，可以有效对空气中的杂质进行过滤，防止对出气槽内部造成影响，并且在使用一段时间后，堵塞后，通过电磁三通阀切换另一个连通管道进行供气，可以减少对过滤网的清理频率。
15、本发明，在需要对过滤网清理的时候，停止进行进气，此时驱动转动轴转动，带动连通套筒和擦拭板转动，此时连通套筒转动侧边对连通环进行挤压，使其朝向两侧挤压复位弹簧，两侧的伸缩管道均收缩，然后连通套筒从连通环之间分离，然后复位弹簧带动伸缩管道复位，带动过滤网复位，此时擦拭板运动对过滤网的表面进行擦拭，将过滤网表面附着的杂质擦下，此时通过负压口可以快速的对杂质抽出进行分离，防止杂质二次污染空气。
1.一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，包括与气浮运动平台相连的支撑连接块（2）和固定在支撑连接块（2）上方的支撑底座（1），其特征在于：所述支撑底座（1）的内部安装有四氟环带（3），所述支撑底座（1）内腔通过螺纹套管组件安装有气冷盘（4），所述气冷盘（4）的顶部设置有烧结盘（5），所述烧结盘（5）的顶部设置有加热板（6），所述加热板（6）的顶部设置有上下表面均连接陶瓷板（7）的铝垫板（8），所述陶瓷板（7）的顶部设置有吸盘（9）；
2.根据权利要求1所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：过滤组件包括过滤箱（12）和位于过滤箱（12）两侧分别与进气口（10）和电磁三通阀（26）连通的连通管道（13），所述连通管道（13）贯穿并延伸至过滤箱（12）的内腔，所述连通管道（13）位于过滤箱（12）的一端连通有伸缩管道（15），所述伸缩管道（15）的一端连通有连通环（16），所述连通环（16）的一侧固定连接有过滤网（24），所述过滤箱（12）的内腔转动连接有通过电机驱动的转动轴（20），所述转动轴（20）的表面分别固定连接有与连通环（16）一侧对接的连通套筒（21）和与过滤网（24）抵接的擦拭板（22），所述连通管道（13）设置有四个，且两两一组，分别同轴设置于连通套筒（21）的两侧。
3.根据权利要求2所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：所述连通套筒（21）和擦拭板（22）均设置有两个，且相互交错在转动轴（20）表面对称设置，相互交错设置。
4.根据权利要求2所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：所述连通管道（13）的表面套设有固定环（14），所述连通环（16）的表面固定连接有顶杆（18），所述顶杆（18）的一端贯穿并延伸至固定环（14）的一侧，所述固定环（14）的内腔开设有与顶杆（18）的表面滑动连接的导向槽（19），所述连通环（16）的表面固定连接有套设在顶杆（18）表面的复位弹簧（17），所述复位弹簧（17）的一端与固定环（14）的一侧固定连接。
5.根据权利要求2所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：两个相邻的连通套筒（21）和擦拭板（22）之间均固定连接有弧形导向板（25），弧形导向板（25）的中段开设有凸起，且两个末端均与连通套筒（21）和擦拭板（22）的表面齐平。
6.根据权利要求2所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：所述过滤箱（12）的一侧开设有与外界负压机构连通的负压口（23）。
7.根据权利要求2所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：位于进气口（10）一侧的两个所述连通管道（13）末端连通在一起并与进气口（10）连通。
8.根据权利要求2所述的一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，其特征在于：位于所述电磁三通阀（26）一侧连通管道（13）连通的外界气源为与制冷组件连通的气泵。
