本发明涉及阀门，具体涉及一种真空门阀及显示面板真空烘烤设备。
背景技术：
1、真空门阀是显示面板真空烘烤设备与线体中各腔体连接必不可少的零部件，可保证产品（例如玻璃基板）在不同真空度环境中传输，可满足显示面板真空烘烤设备独立的控制需求。
2、对于大尺寸真空门阀，特别是显示面板真空行业的门阀，采用两个气缸或三个气缸驱动，发现多气缸驱动时，各气缸的运动速度很难调节成一样，导致门阀阀板在做打开或关闭运动时，阀板容易发生倾斜，运行不稳定，进而影响对外部密封孔的密封效果。
技术实现思路
1、为了解决上述现有技术中的缺点，本发明提出一种真空门阀及显示面板真空烘烤设备。
2、为解决上述技术问题，本发明采取的技术方案如下：
3、一种真空门阀，包括第一气缸、第二气缸、密封板、导向机构和安装座，所述第一气缸包括两根活塞杆，所述安装座固定在所述第一气缸的两根所述活塞杆上，所述第二气缸安装在所述安装座上，所述密封板设在所述第二气缸上，所述第二气缸驱动所述密封板进行往复运动，所述密封板用于密封外部设备的密封孔，所述导向机构沿所述第二气缸驱动所述密封板运动的方向进行导向。通过设置两根所述活塞杆、所述第二气缸和所述导向机构为所述密封板提供稳定的支撑，所述导向机构对所述密封板运动方向导向的设计，使得所述密封板在所述第二气缸驱动下，所述密封板可平稳的进行往复运动，避免所述密封板在进行前后往复运动时倾斜，确保了所述密封板密封外部设备时的良好密封效果。
4、进一步地，所述导向机构包括导向轴和导向轴套b，所述安装座上开设有一通孔，所述导向轴的一端穿插在所述通孔里面，所述导向轴与所述通孔之间可相对滑动，所述密封板上开设有与所述导向轴套b适配的凹槽，所述导向轴套b固设在所述凹槽上，所述导向轴套b一一对应地套在所述导向轴的另一端，所述导向轴套b和所述导向轴之间可相对滑动。所述导向轴的设计允许其在所述通孔内进行相对滑动，同时所述导向轴套b与所述导向轴之间的滑动配合，这种机制为所述密封板的提供了稳定的支撑，并起到了有效引导所述密封板的运动，从而使所述密封板运动更加可控平稳，另外，所述导向轴套b可以有效减少所述导向轴在往复运动中的摩擦和磨损，从而延长所述导向轴的使用寿命。
5、进一步地，所述真空门阀还包括限位盖，所述通孔远离所述密封板的一端设有所述限位盖，所述限位盖安装于所述安装座上，所述限位盖限位所述导向轴的运动距离。所述限位盖的设计确保所述导向轴在规定的行程内运动，同时也起到保护所述导向轴和防尘的作用。
6、进一步地，所述第一气缸包括矩形活塞和活塞缸，所述活塞缸的形状为矩形，所述活塞缸的转角以圆角过度，所述矩形活塞与所述活塞缸的内壁相适配。所述活塞缸矩形设计，为所述活塞杆的运动提供了更加良好的导向性，进一步确保了所述密封板能平行于所述密封孔做上下往复运动，同时，所述活塞缸的转角采用圆角过渡，使得所述矩形活塞与所述活塞缸内壁的紧密配合，进一步提高了所述活塞缸的密封效果，从而提升了所述第一气缸的工作效率，且所述活塞缸的转角采用圆角过渡，还能有效分散应力，降低因局部应力集中可能导致的裂纹或损坏的风险，这些设计改进共同作用，提高了所述真空门阀的整体性能和可靠性。
7、进一步地，所述真空门阀还包括两个导向轴套a，两个所述导向轴套a设在所述活塞缸的内腔上，两根所述活塞杆分别穿插在两个所述导向轴套a上，所述导向轴套a与所述活塞杆之间可相对滑动，所述导向轴套a用于对所述活塞杆进行导向。通过在所述活塞缸内腔设置两个导向轴套a，为所述活塞杆提供了的导向机制，确保了所述活塞杆在运动过程中的稳定性和直线性，另外所述导向轴套的设计减少了所述活塞杆与所述活塞缸之间的直接接触和摩擦，从而降低了所述活塞杆的磨损，从而延长所述活塞杆的使用寿命。
8、进一步地，所述真空门阀还包括第一密封圈，所述第一密封圈设置在所述矩形活塞上，所述活塞缸上设有有杆腔和无杆腔，所述第一密封圈和所述矩形活塞密封隔离所述有杆腔和所述无杆腔。通过所述第一密封圈与所述矩形活塞的配合，实现了两个腔室的有效密封隔离。
9、进一步地，所述真空门阀还包括机械传感器a和机械传感器b，所述机械传感器a位于所述有杆腔内，所述机械传感器b位于所述无杆腔内，所述机械传感器a和所述机械传感器b分别设于所述矩形活塞行程的两端。通过所述机械传感器a和所述机械传感器b的设置，能够实时准确地监测所述真空门阀的运行状态，提升系统的响应速度。
10、进一步地，所述真空门阀还包括第一缓冲塞，所述第一缓冲塞设于所述密封板上，位于所述密封板与所述安装座之间。所述第一缓冲塞的设置，可以有效缓冲所述密封板在往复运动过程中对所述安装座的冲击，降低所述密封板和所述安装座因反复撞击而损坏的风险。
11、进一步地，所述真空门阀还包括第二缓冲塞，所述第二缓冲塞设于所述矩形活塞上。通过所述第二缓冲塞的设置，能够有效缓冲所述矩形活塞在行程两端的冲击，有助于延长所述真空门阀的使用寿命，减少维护成本。
12、进一步地，所述第二气缸包括气缸轴、气缸活塞a和气缸活塞b，所述安装座上开设有第一腔室、第二腔室和连通腔，所述第一腔室、所述连通腔与所述第二腔室之间相互贯通，所述连通腔位于所述第一腔室与所述第二腔室之间，所述气缸活塞a位于所述第一腔室内，所述气缸活塞a与所述第一腔室之间可相对滑动，所述气缸活塞b位于所述第二腔室内，所述气缸活塞b与所述第二腔室之间可相对滑动；所述气缸轴穿插所述连通腔，所述气缸轴和所述连通腔之间可相对滑动。所述气缸活塞a和所述气缸活塞b分别位于不同的腔室内，可以实现对两个气缸活塞的容纳和独立控制，所述连通腔的设计，实现对所述气缸轴的容纳，模块化的气缸结构设计，使得所述第二气缸运动能够被精确控制的，提高了所述第二气缸的功能性和操作的灵活性。
13、进一步地，所述第二腔室小于所述第一腔室，所述第一腔室用于充气，通过充气气体推动所述气缸活塞a往靠近所述密封板的方向运动，所述第二腔室用于充气，通过充气气体推动所述气缸活塞b往远离所述密封板的方向运动。所述第二腔室因其体积小，故其充气速度快，使得所述第二气缸能迅速带动所述密封板远离密封孔，有效加快了所述真空门阀的开启速度；与此同时，所述第一腔室用于充气以推动所述气缸活塞a向靠近所述密封板方向运动，使得所述第二气缸能带动所述密封板靠近密封孔，实现密封孔的密封。
14、进一步地，所述气缸轴的一端穿过所述第一腔室，与所述气缸活塞a固定连接；所述气缸活塞a带动所述气缸轴往靠近所述密封板的方向运动，实现了从所述气缸活塞a到所述气缸轴动力的直接传递。所述气缸轴与所述气缸活塞a的固定连接，确保了从所述气缸活塞a到所述气缸轴的动力传递是直接和有效的，提高了运动的效率。
15、进一步地，所述气缸轴的另一端穿过所述第二腔室，与所述气缸活塞b固定连接；所述气缸轴从所述第二腔室伸出，所述气缸活塞b用于带动所述气缸轴往远离所述密封板的方向运动。所述气缸轴与所述气缸活塞b的固定连接，实现了从所述气缸活塞b到所述气缸轴动力的直接传递。
16、进一步地，所述真空门阀还包括第二密封圈，所述第一腔室和所述第二腔室之间设有所述第二密封圈，所述第二密封圈用于密封隔离所述第一腔室和所述第二腔室。有效防止了两个腔室间的气体泄漏或相互干扰，确保了所述第二气缸的稳定性和可靠性。
17、进一步地，一种显示面板真空烘烤设备，包括烘烤箱以及上述所述的真空门阀，所述烘烤箱内设有腔体a，所述烘烤箱上开设有连通到所述腔体a中的所述密封口，所述第一气缸设在所述烘烤箱上。通过配备高效密封性能的所述真空门阀，实现了对所述烘烤箱内的所述腔体a可靠密封和开启，确保产品能够在密封真空环境中进行烘烤，从而提高了产品烘烤的质量。
18、进一步地，两根所述活塞杆带动所述密封板往所述密封口方向运动；所述密封板往所述密封口方向运动的行程末端，位于所述密封口的正前方。通过所述第一气缸单一气源驱动两根所述活塞杆进行运动，确保了两根所述活塞杆运动速度一致，通过两根所述活塞杆可带动所述密封板平稳地进行运动，降低了所述密封板在运动过程中造成倾斜的风险。
19、进一步地，所述气缸轴带动所述密封板沿所述腔体a深度方向进行往复运动；所述密封板往所述腔体a深度方向运动的行程末端，与所述密封口贴合。所述密封板能够在行程末端与所述密封口贴合，形成了一个有效的密封界面，有助于防止所述腔体a内的气体或液体泄漏，确保了烘烤过程的密封性和均匀性。
20、本发明的一种真空门阀的有益效果为：
21、通过设置两根所述活塞杆、所述第二气缸和所述导向机构为所述密封板提供稳定的支撑，所述导向机构对所述密封板运动方向导向的设计，使得所述密封板在所述第二气缸驱动下，所述密封板可平稳的进行往复运动，避免所述密封板在进行前后往复运动时倾斜，确保了所述密封板密封外部密封孔时的良好密封效果。
22、本发明的一种显示面板真空烘烤设备的有益效果为：
23、通过配备高效密封性能的真空门阀，实现了对所述烘烤箱内的腔体a可靠密封和开启，确保产品能够在密封真空环境中进行烘烤，从而提高了产品烘烤的质量。
1.一种真空门阀，其特征在于：包括第一气缸（1）、第二气缸(2)、密封板(3)、导向机构（4）和安装座（5），所述第一气缸（1）包括两根活塞杆（11），所述安装座（5）固定在所述第一气缸（1）的两根所述活塞杆（11）上，所述第二气缸(2)安装在所述安装座（5）上，所述密封板(3)设在所述第二气缸（2）上，所述第二气缸(2)驱动所述密封板(3)进行往复运动，所述密封板（3）用于密封外部设备的密封孔，所述导向机构（4）沿所述第二气缸(2)驱动所述密封板（3）运动的方向进行导向。
2.根据权利要求1所述的一种真空门阀，其特征在于，所述导向机构（4）包括导向轴（42）和导向轴套b（44），所述安装座（5）上开设有一通孔（51），所述导向轴（42）的一端穿插在所述通孔（51）里面，所述导向轴（42）与所述通孔（51）之间可相对滑动，所述密封板（3）上开设有与所述导向轴套b(44)适配的凹槽（31），所述导向轴套b（44）固设在所述凹槽（31）上，所述导向轴套b(44)一一对应地套在所述导向轴（42）的另一端，所述导向轴套b(44)和所述导向轴（42）之间可相对滑动。
3.根据权利要求2所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括限位盖（6），所述通孔（51）远离所述密封板（3）的一端设有所述限位盖（6），所述限位盖（6）安装于所述安装座（5）上，所述限位盖（6）限位所述导向轴（42）的运动距离。
4.根据权利要求1所述的一种真空门阀，其特征在于：所述第一气缸（1）包括矩形活塞（12）和活塞缸（13），所述活塞缸（13）的形状为矩形，所述活塞缸（13）的转角以圆角过度，所述矩形活塞（12）与所述活塞缸（13）的内壁相适配。
5.根据权利要求4所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括两个导向轴套a（43），两个所述导向轴套a（43）设在所述活塞缸（13）的内腔上，两根所述活塞杆（11）分别穿插在两个所述导向轴套a（43）上，所述导向轴套a（43）与所述活塞杆（11）之间可相对滑动，所述导向轴套a（43）用于对所述活塞杆（11）进行导向。
6.根据权利要求4所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括第一密封圈（7），所述第一密封圈（7）设置在所述矩形活塞（12）上，所述活塞缸（13）上设有有杆腔（131）和无杆腔（132），所述第一密封圈（7）和所述矩形活塞（12）密封隔离所述有杆腔（131）和所述无杆腔（132）。
7.根据权利要求6所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括机械传感器a（15）和机械传感器b(16)，所述机械传感器a（15）位于所述有杆腔（131）内，所述机械传感器b(16)位于所述无杆腔（132）内，所述机械传感器a（15）和所述机械传感器b(16)分别设于所述矩形活塞（12）行程的两端。
8.根据权利要求1所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括第一缓冲塞（19），所述第一缓冲塞（19）设于所述密封板(3)上，位于所述密封板(3)与所述安装座（5）之间。
9.根据权利要求4所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括第二缓冲塞（20），所述第二缓冲塞（20）设于所述矩形活塞（12）上，所述第二缓冲塞（20）用于缓冲所述矩形活塞（12）在行程两端的冲击。
10.根据权利要求1所述的一种真空门阀，其特征在于：所述第二气缸(2)包括气缸轴（21）、气缸活塞a（22）和气缸活塞b(23），所述安装座（5）上开设有第一腔室(52)、第二腔室(53)和连通腔(54)，所述第一腔室(52)、所述连通腔(54)与所述第二腔室(53)之间相互贯通，所述连通腔(54)位于所述第一腔室（52）与所述第二腔室（53）之间，所述气缸活塞a（22）位于所述第一腔室（52）内，所述气缸活塞a（22）与所述第一腔室（52）之间可相对滑动，所述气缸活塞b（23）位于所述第二腔室(53)内，所述气缸活塞b（23）与所述第二腔室(53)之间可相对滑动；所述气缸轴（21）穿插所述连通腔(54)，所述气缸轴（21）和所述连通腔(54)之间可相对滑动。
11.根据权利要求10所述的一种真空门阀，其特征在于：所述第二腔室(53)小于所述第一腔室(52)，所述第一腔室（52）用于充气，通过充气气体推动所述气缸活塞a（22)往靠近所述密封板（3）的方向运动，所述第二腔室(53)用于充气，通过充气气体推动所述气缸活塞b（23）往远离所述密封板（3）的方向运动。
12.根据权利要求10所述的一种真空门阀，其特征在于：所述气缸轴（21）的一端穿过所述第一腔室(52)，与所述气缸活塞a（22）固定连接；所述气缸活塞a（22）带动所述气缸轴（21）往靠近所述密封板（3）的方向运动。
13.根据权利要求10所述的一种真空门阀，其特征在于：所述气缸轴（21）的另一端穿过所述第二腔室(53)，与所述气缸活塞b（23）固定连接；所述气缸轴（21）从所述第二腔室(53)伸出，所述气缸活塞b（23）用于带动所述气缸轴（21）往远离所述密封板（3）的方向运动。
14.根据权利要求10所述的一种真空门阀，其特征在于：所述真空门阀还包括第二密封圈（24），所述第一腔室(52)和所述第二腔室(53)之间设有所述第二密封圈（24），所述第二密封圈（24）用于密封隔离所述第一腔室(52)和所述第二腔室(53)。
15.一种显示面板真空烘烤设备，其特征在于：包括烘烤箱（10）以及如权利要求1-14任一项所述的真空门阀，所述烘烤箱（10）内设有腔体a（17），所述烘烤箱（10）上开设有连通到所述腔体a（17）中的密封口（9），所述第一气缸（1）设在所述烘烤箱（10）上。
16.根据权利要求15所述的一种显示面板真空烘烤设备，其特征在于：两根所述活塞杆(11)带动所述密封板(3)往所述密封口（9）方向运动，所述密封板(3)往所述密封口（9）方向运动的行程末端，位于所述密封口（9）的正前方。
17.根据权利要求15所述的一种显示面板真空烘烤设备，其特征在于：所述第二气缸(2)包括气缸轴（21）、气缸活塞a（22）和气缸活塞b(23），所述安装座（5）上开设有第一腔室(52)、第二腔室(53)和连通腔(54)，所述第一腔室(52)、所述连通腔(54)与所述第二腔室(53)之间相互贯通，所述连通腔(54)位于所述第一腔室（52）与所述第二腔室（53）之间，所述气缸活塞a（22）位于所述第一腔室（52）内，所述气缸活塞a（22）与所述第一腔室（52）之间可相对滑动，所述气缸活塞b（23）位于所述第二腔室(53)内，所述气缸活塞b（23）与所述第二腔室(53)之间可相对滑动；所述气缸轴（21）穿插所述连通腔(54)，所述气缸轴（21）和所述连通腔(54)之间可相对滑动；所述气缸轴（21）带动所述密封板（3）沿所述腔体a(17）深度方向进行往复运动；所述密封板（3）往所述腔体a(17）深度方向运动的行程末端，与所述密封口（9）贴合。
