本发明涉及柔性基板检测,尤其涉及一种柔性基板检测装置。
背景技术:
1、随着柔性显示、可穿戴设备及物联网技术的快速发展,柔性基板作为核心组件,其质量检测成为保证产品性能的关键;柔性基板在集成电路产业链中占有重要地位,其质量和性能对电子产品的整体性能有着至关重要的影响。
2、然而,随着半导体的高度集成化和轻薄化的发展,柔性基板上的缺陷越来越难以通过传统的人工目检方法进行检测;
3、传统检测方法和装置往往局限于二维平面的检测,且需要人工操作检测不仅耗时耗力,而且检测结果存在主观性,难以满足现代工业生产对质量和效率的高要求,难以适应柔性基板因材料特性导致的形变,且检测效率低下,精度受限。
技术实现思路
1、本发明提供一种柔性基板检测装置,用以解决上述背景技术提出的技术问题中至少一项。
2、为解决上述技术问题,本发明提供一种柔性基板检测装置,包括:检测台、上料机构、传送机构、第一检测机构、第二检测机构、第三检测机构和控制器,所述检测台左后方顶部固定设有上料机构,所述检测台顶部固定设有传送机构,所述检测台上位于所述传送机构后侧固定设有第一检测机构,检测台上位于所述传送机构右侧固定设有第二检测机构,检测台上位于所述传送机构前方固定设有第三检测机构,所述传送机构、第一检测机构、第二检测机构和第三检测机构与控制器分别电连接。
3、优选的,所述上料机构包括:储料箱,所述检测台顶部左侧固定安装储料箱,储料箱顶部设有龙门架,龙门架与检测台顶端固定连接,龙门架的顶部固定设有沿左右方向滑动的第一丝杠滑台,第一丝杠滑台的活动端固定安装竖向的升降气缸一,升降气缸一底部的推杆端固定连接吸附板一,吸附板一底部固定安装若干真空吸嘴一。
4、优选的,传送机构包括:旋转输送机构和平移输送机构;
5、所述旋转输送机构包括:旋转底座,所述检测台右侧顶部固定安装旋转底座,所述旋转底座顶部转动连接旋转圆盘,旋转圆盘顶部中心对称固定安装四个双轴气缸,每个双轴气缸的活动端均连固定连接一个承载板,承载板与旋转圆盘顶端沿旋转圆盘径向滑动连接;
6、所述平移输送机构包括:导轨基座,所述检测台顶部位于所述龙门架前方固定设有导轨基座,导轨基座顶部左右对称固定安装一对沿前后方向的第一导轨,第一导轨顶部前后滑动连接滑动座一,滑动座一底端连接同步带传送装置,同步带传送装置用于提供滑动座一的滑动力。
7、优选的,第一检测机构包括:立柱一,所述旋转圆盘的右后方的检测台顶端固定安装立柱一,立柱一顶端固定安装沿前后方向滑动的第二丝杠滑台,第二丝杠滑台的左侧活动端固定安装竖向的升降气缸二,升降气缸二底端固定连接第一检测箱,第一检测箱内中部固定连接水平方向的隔板一,隔板一顶部中心固定安装向下的挤压气缸,挤压气缸底部推杆端固定连接水平方向的加压板,加压板顶端固定连接若干竖向的导引杆,导引杆与隔板一上下滑动连接,所述加压板前半段底部固定安装若干光纤传感器,所述加压板后半段底端固定安装若干柔性压力传感器。
8、优选的,第二检测机构包括:立柱二,所述检测台右侧顶部固定安装立柱二,立柱二为顶端固定安装沿前后方向滑动的第三丝杠滑台,所述第三丝杠滑台的左侧滑动端固定安装竖向的升降气缸三,所述升降气缸三底端固定连接第二检测箱,第二检测箱的顶壁内侧中心固定安装电动升降柱,所述电动升降柱的底端的升降端固定连接水平安装板,水平安装板底部固定设有若干电子探针,电子探针均与控制器电连接,所述第二检测箱左右侧壁固定设有电子雾化器,所述第二检测箱底部固定安装储蓄电源,所述电子探针与电子雾化器与储蓄电源分别电连接。
9、优选的,第三检测机构包括:立柱三,所述旋转圆盘前方的检测台顶端固定安装立柱三,所述立柱三顶端固定安装沿左右方向滑动的第四丝杠滑台,所述第四丝杠滑台的后端滑动端固定安装竖向的升降气缸四,所述升降气缸四的底部固定安装第三检测箱,所述第三检测箱顶壁内侧固定安装若干工业相机一,所述第三检测箱顶部中心固定安装光电距离传感器,所述第三检测箱内壁固定设有若干照明灯,所述第三检测箱底部四周侧壁固定设有两组对射的光电传感器。
10、优选的,还包括多功能检测机构,多功能检测机构包括:箱体四、夹具机构、弯曲与驱动机构和吸附与平整机构,所述检测台的左前方顶端固定安装箱体四,箱体四的后侧壁开设有料口一,箱体四顶部固定设有吸附与平整机构,箱体四底部固定左右对称的设置两组夹具机构,所述夹具机构底端连接弯曲与驱动机构,所述箱体四底部左右侧壁左右对称设有一对水平方向的隔板二。
11、优选的,左侧的夹具机构包括:滑动块,所述隔板二顶部左右滑动连接滑动块,左侧的滑动块左端与箱体四左侧壁之间通过弹簧一固定连接,滑动块的左端底部固定连接左右方向的水平夹板一,所述滑动块内开设有竖向的安装槽,安装槽转动连接夹紧丝杠,夹紧丝杠顶端与夹紧电机输出轴端固定连接,夹紧电机与滑动块顶端固定连接,夹紧丝杠上螺纹连接左右方向的水平夹板二,所述水平夹板二与滑动块上下滑动连接,所述水平夹板一和水平夹板二上均固定连接橡胶块。
12、优选的,弯曲与驱动机构包括:所述箱体四底部中心转动连接的竖向的丝杠二,丝杠二底端与伺服电机三输出轴端固定连接,伺服电机三与箱体四底壁外侧固定连接,丝杠二上中部螺纹连接螺纹套,螺纹套顶端左右对称固定连接一组支撑杆,支撑杆顶端固定连接水平方向的支撑板,支撑板底部固定安装有电加热装置,所述螺纹套左右对称铰连接一对连杆一,所述连杆一远离螺纹套的一端铰连接l型支杆,l型支杆顶端固定连接滑动块,l型支杆顶端左右滑动贯穿隔板二,所述连杆一远离螺纹套端底部固定安装弹簧二。
13、优选的,吸附与平整机构包括:丝杠四,箱体四的顶壁内转动设有沿左右方向的丝杠四,丝杠四左端与伺服电机四输出轴端固定连接,伺服电机四与箱体四的顶壁固定连接,所述丝杠四螺纹连接滑台四,滑台四底端固定连接c型安装板,c型安装板顶部固定安装电机五,c型安装板顶部固定安装升降气缸五,升降气缸五底部固定连接吸附板二,吸附板二底端固定设有若干真空吸嘴二,所述电机五的输出轴前端固定连接转动杆,转动杆另一端铰连接连杆二,连杆二底端铰连接竖杆一,c型安装板底部右端固定连接套管,竖杆一与套管的内壁上下滑动连接,竖杆一底部转动连接沿前后方向的滚动辊,c型安装板底部左侧固定安装竖向的距离传感器四和工业相机二。
14、与现有技术相比,本发明的有益效果为:本发明提供的一种柔性基板检测装置通过上料机构将柔性基板自动送入检测区域,然后利用传送机构将基板传送到各个检测机构进行检测;第一检测机构、第二检测机构和第三检测机构分别承担不同的检测任务,能够全面检测基板的各项性能指标。控制器则负责接收各检测机构的检测数据,并进行处理和分析。该技术方案显著提高了柔性基板的检测效率和准确性,降低了人工干预程度,提高了自动化水平;同时,由于检测机构之间相对独立,可根据实际需求灵活调整检测流程,增强了装置的适应性和灵活性。
1.一种柔性基板检测装置,其特征在于,包括:检测台(1)、上料机构(2)、传送机构(3)、第一检测机构(4)、第二检测机构(5)、第三检测机构(6)和控制器(7),所述检测台(1)左后方顶部固定设有上料机构(2),所述检测台(1)顶部固定设有传送机构(3),所述检测台(1)上位于所述传送机构(3)后侧固定设有第一检测机构(4),检测台(1)上位于所述传送机构(3)右侧固定设有第二检测机构(5),检测台(1)上位于所述传送机构(3)前方固定设有第三检测机构(6),所述传送机构(3)、第一检测机构(4)、第二检测机构(5)和第三检测机构(6)与控制器(7)分别电连接;
2.根据权利要求1所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,所述上料机构(2)包括:储料箱(201),所述检测台(1)顶部左侧固定安装储料箱(201),储料箱(201)顶部设有龙门架(202),龙门架(202)与检测台(1)顶端固定连接,龙门架(202)的顶部固定设有沿左右方向滑动的第一丝杠滑台(203),第一丝杠滑台(203)的活动端固定安装竖向的升降气缸一(204),升降气缸一(204)底部的推杆端固定连接吸附板一(205),吸附板一(205)底部固定安装若干真空吸嘴一(206)。
3.根据权利要求1所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,第一检测机构(4)包括:立柱一(401),所述旋转圆盘(3012)的右后方的检测台(1)顶端固定安装立柱一(401),立柱一(401)顶端固定安装沿前后方向滑动的第二丝杠滑台(402),第二丝杠滑台(402)的左侧活动端固定安装竖向的升降气缸二(403),升降气缸二(403)底端固定连接第一检测箱(404),第一检测箱(404)内中部固定连接水平方向的隔板一(405),隔板一(405)顶部中心固定安装向下的挤压气缸(406),挤压气缸(406)底部推杆端固定连接水平方向的加压板(407),加压板(407)顶端固定连接若干竖向的导引杆(408),导引杆(408)与隔板一(405)上下滑动连接,所述加压板(407)前半段底部固定安装若干光纤传感器(409),所述加压板(407)后半段底端固定安装若干柔性压力传感器(410)。
4.根据权利要求1所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,第二检测机构(5)包括:立柱二(501),所述检测台(1)右侧顶部固定安装立柱二(501),立柱二(501)为顶端固定安装沿前后方向滑动的第三丝杠滑台(502),所述第三丝杠滑台(502)的左侧滑动端固定安装竖向的升降气缸三(503),所述升降气缸三(503)底端固定连接第二检测箱(504),第二检测箱(504)的顶壁内侧中心固定安装电动升降柱(505),所述电动升降柱(505)的底端的升降端固定连接水平安装板(506),水平安装板(506)底部固定设有若干电子探针(507),电子探针(507)均与控制器(7)电连接,所述第二检测箱(504)左右侧壁固定设有电子雾化器(508),所述第二检测箱(504)底部固定安装储蓄电源(509),所述电子探针(507)与电子雾化器(508)与储蓄电源(509)分别电连接。
5.根据权利要求1所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,第三检测机构(6)包括:立柱三(601),所述旋转圆盘(3012)前方的检测台(1)顶端固定安装立柱三(601),所述立柱三(601)顶端固定安装沿左右方向滑动的第四丝杠滑台(602),所述第四丝杠滑台(602)的后端滑动端固定安装竖向的升降气缸四(603),所述升降气缸四(603)的底部固定安装第三检测箱(604),所述第三检测箱(604)顶壁内侧固定安装若干工业相机一(605),所述第三检测箱(604)顶部中心固定安装光电距离传感器(606),所述第三检测箱(604)内壁固定设有若干照明灯(607),所述第三检测箱(604)底部四周侧壁固定设有两组对射的光电传感器(608)。
6.根据权利要求1所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,还包括多功能检测机构(8),多功能检测机构(8)包括:箱体四(801)、夹具机构(804)、弯曲与驱动机构(805)和吸附与平整机构(806),所述检测台(1)的左前方顶端固定安装箱体四(801),箱体四(801)的后侧壁开设有料口一(802),箱体四(801)顶部固定设有吸附与平整机构(806),箱体四(801)底部固定左右对称的设置两组夹具机构(804),所述夹具机构(804)底端连接弯曲与驱动机构(805),所述箱体四(801)底部左右侧壁左右对称设有一对水平方向的隔板二(803)。
7.根据权利要求6所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,左侧的夹具机构(804)包括:滑动块(8041),所述隔板二(803)顶部左右滑动连接滑动块(8041),左侧的滑动块(8041)左端与箱体四(801)左侧壁之间通过弹簧一(8042)固定连接,滑动块(8041)的左端底部固定连接左右方向的水平夹板一(8043),所述滑动块(8041)内开设有竖向的安装槽(8044),安装槽(8044)转动连接夹紧丝杠(8045),夹紧丝杠(8045)顶端与夹紧电机(8046)输出轴端固定连接,夹紧电机(8046)与滑动块(8041)顶端固定连接,夹紧丝杠(8045)上螺纹连接左右方向的水平夹板二(8047),所述水平夹板二(8047)与滑动块(8041)上下滑动连接,所述水平夹板一(8043)和水平夹板二(8047)上均固定连接橡胶块(8048)。
8.根据权利要求7所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,弯曲与驱动机构(805)包括:所述箱体四(801)底部中心转动连接的竖向的丝杠二(8051),丝杠二(8051)底端与伺服电机三(8052)输出轴端固定连接,伺服电机三(8052)与箱体四(801)底壁外侧固定连接,丝杠二(8051)上中部螺纹连接螺纹套(8053),螺纹套(8053)顶端左右对称固定连接一组支撑杆(8054),支撑杆(8054)顶端固定连接水平方向的支撑板(8055),支撑板(8055)底部固定安装有电加热装置(8056),所述螺纹套(8053)左右对称铰连接一对连杆一(8057),所述连杆一(8057)远离螺纹套(8053)的一端铰连接l型支杆(8058),l型支杆(8058)顶端固定连接滑动块(8041),l型支杆(8058)顶端左右滑动贯穿隔板二(803),所述连杆一(8057)远离螺纹套(8053)端底部固定安装弹簧二(8059)。
9.根据权利要求8所述的一种柔性基板检测装置,其特征在于,吸附与平整机构(806)包括:丝杠四(8061),箱体四(801)的顶壁内转动设有沿左右方向的丝杠四(8061),丝杠四(8061)左端与伺服电机四(8062)输出轴端固定连接,伺服电机四(8062)与箱体四(801)的顶壁固定连接,所述丝杠四(8061)螺纹连接滑台四(8063),滑台四(8063)底端固定连接c型安装板(8064),c型安装板(8064)顶部固定安装电机五(8065),c型安装板(8064)顶部固定安装升降气缸五(8066),升降气缸五(8066)底部固定连接吸附板二(8067),吸附板二(8067)底端固定设有若干真空吸嘴二(8068),所述电机五(8065)的输出轴前端固定连接转动杆(8069),转动杆(8069)另一端铰连接连杆二(8610),连杆二(8610)底端铰连接竖杆一(8611),c型安装板(8064)底部右端固定连接套管(8612),竖杆一(8611)与套管(8612)的内壁上下滑动连接,竖杆一(8611)底部转动连接沿前后方向的滚动辊(8613),c型安装板(8064)底部左侧固定安装竖向的距离传感器四(8614)和工业相机二(8615)。