本发明涉及晶圆加工，具体而言，涉及一种排风系统。
背景技术：
1、排风系统设有排风柱，内部设有匀胶装置，便于晶圆的加工，但是，在实际施工过程中，存在这样一个问题：在取出匀胶装置时，排风柱与匀胶装置发生位置干涉，导致匀胶装置取出较为不便，因此，提供一种排风柱可以翻转的排风系统，避免排风柱与匀胶装置发生位置干涉，便于取出匀胶装置。
技术实现思路
1、因此，本发明提供一种排风系统，排风柱能够翻转，便于取出匀胶装置。
2、为解决上述问题，本发明提供一种排风系统，排风系统与晶圆加工设备配合，排风系统内设有匀胶装置，排风系统包括：排风支架，排风支架设有开口，匀胶装置通过开口脱离排风支架；排风柱；铰链装置，铰链装置的一端与排风柱固定连接，铰链装置的另一端与排风支架固定连接，铰链装置带动排风柱在第一状态和第二状态之间进行切换，其中，第一状态为排风柱遮挡开口的至少部分，第二状态为排风柱避让开口。
3、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风柱与排风支架通过铰链装置相互连接，排风支架能够向远离排风支架的一侧翻转，使得铰链装置带动排风柱在第一状态和第二状态之间进行切换，在第二状态时，便于在取出排风系统内部的匀胶装置，避免排风柱与匀胶装置发生位置干涉，提高操作的便捷性。
4、进一步的，铰链装置包括：第一翻转件；第二翻转件；转动轴，第一翻转件和第二翻转件通过转动轴连接。
5、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一翻转件和第二翻转件通过转动轴可转动地连接，使得第一翻转件和第二翻转件能够以转动轴为转动中心旋转，从而带动排风柱向远离排风支架的一侧转动，从而取出匀胶装置，第一翻转件与第二翻转件通过转动轴相连，结构较为简单，拆卸和安装时较为便捷。
6、进一步的，铰链装置还包括：第一连接件，第一连接件的一侧与第一翻转件固定连接，第一连接件的另一侧与排风柱固定连接。
7、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风柱与第一翻转件通过第一连接件相连，使得第一翻转件能够带动排风柱翻转，同时第一连接件增加了排风柱与第一翻转件之间连接的稳定性，避免在翻转的过程中，第一翻转件发生形变而导致排风柱脱落。
8、进一步的，铰链装置还包括：第二连接件，第二连接件一侧与第二翻转件固定连接，第二连接件的另一侧与排风支架固定连接。
9、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风支架与第二翻转件通过第二连接件固定连接，增加了固定连接的稳定性。
10、进一步的，铰链装置还包括：第一抵靠件，第一抵靠件与第一连接件固定连接；第二抵靠件，第二抵靠件与第二连接件固定连接，其中，在排风柱向远离排风支架的一侧翻转后，第一抵靠件与第二抵靠件相互抵靠。
11、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一抵靠件与第二抵靠件相互抵靠，增加了排风柱的稳定性，提高了排风系统使用时的安全性，避免夹伤。
12、进一步的，铰链装置还包括：锁紧件，锁紧件与第一抵靠件固定连接；其中，锁紧件设有锁紧孔和固定销，第二抵靠件设有配合孔，在第一抵靠件与第二抵靠件相互抵靠时，锁紧孔与配合孔相互配合，使得固定销穿过锁紧孔和配合孔。
13、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：锁紧件设有锁紧孔，第二抵靠件设有配合孔，在第一抵靠件与第二抵靠件相互抵靠时，锁紧孔与配合孔相互配合，固定销穿过锁紧孔和配合孔，从而限制排风柱的移动，避免排风柱回弹，增加了排风系统在使用时的安全性。
14、进一步的，排风柱包括：排气接口，排气接口设于排风柱上，排风柱内设有排风通道，排气接口与排风通道连通，以使得气体能够通过排气接口排出。
15、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风柱上设有排气接口，排气接口用于连接气管，排气接口与排风通道连通，使得排风通道内的气体流进气管内。
16、进一步的，排风柱内设有管路，管路为中空结构，以形成排风通道。
17、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风柱内设有管路，管路的内部空间形成排风通道，使得在清洁维护的过程中，可以直接拆卸管路，对排风通道进行清洗维护，操作更加便利，同时，排风柱内为套管结构，使得排气接口处的排气压力的均一性更好。
18、进一步的，排风柱包括：第一柱件和第二柱件，第一柱件和第二柱件可拆卸地连接。
19、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风柱包括第一柱件和第二柱件，第一柱件和第二柱件可拆卸地连接，并包围管路，在维护清洁时，便于工作人员拆卸，从而进行清洗，使得清洗时更加方便。
20、进一步的，排风柱还包括：可视窗口，可视窗口设于排风柱的外侧。
21、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风柱上设有可视窗口，便于工作人员观察排风柱内的脏污情况，以便及时清理。
22、采用本发明的技术方案后，能够达到如下技术效果：
23、（1）排风柱与排风支架通过铰链装置相互连接，排风支架能够向远离排风支架的一侧翻转，使得铰链装置带动排风柱在第一状态和第二状态之间进行切换，在第二状态时，便于在取出排风系统内部的匀胶装置，避免排风柱与匀胶装置发生位置干涉，提高操作的便捷性；
24、（2）第一翻转件和第二翻转件通过转动轴可转动地连接，使得第一翻转件和第二翻转件能够以转动轴为转动中心旋转，从而带动排风柱向远离排风支架的一侧转动，从而取出匀胶装置，第一翻转件与第二翻转件通过转动轴相连，结构较为简单，拆卸和安装时较为便捷；
25、（3）排风柱与第一翻转件通过第一连接件相连，使得第一翻转件能够带动排风柱翻转，同时第一连接件增加了排风柱与第一翻转件之间连接的稳定性，避免在翻转的过程中，第一翻转件发生形变而脱落。
1.一种排风系统，其特征在于，所述排风系统（100）与晶圆加工设备配合，所述排风系统（100）内设有匀胶装置，所述排风系统（100）包括：
2.根据权利要求1所述的排风系统，其特征在于，所述铰链装置（130）包括：
3.根据权利要求2所述的排风系统，其特征在于，所述铰链装置（130）还包括：
4.根据权利要求3所述的排风系统，其特征在于，所述铰链装置（130）还包括：
5.根据权利要求4所述的排风系统，其特征在于，所述铰链装置（130）还包括：
6.根据权利要求5所述的排风系统，其特征在于，所述铰链装置（130）还包括：
7.根据权利要求1所述的排风系统，其特征在于，所述排风柱（120）包括：
8.根据权利要求7所述的排风系统，其特征在于，所述排风柱（120）内设有管路（123），所述管路（123）为中空结构，以形成所述排风通道（122）。
9.根据权利要求8所述的排风系统，其特征在于，所述排风柱（120）还包括：
10.根据权利要求9所述的排风系统，其特征在于，所述排风柱（120）还包括：
