本发明涉及微纳加工，具体的说是微纳结构加工装置。
背景技术：
1、材料表面的微纳结构能够赋予材料许多特殊的光学、力学、声学等性能，是材料加工的一个重要研究领域；现有的表面微结构制造方法，包括光刻、紫外曝光、3d打印等，其设备昂贵、对加工环境有严格的要求，且只能制造某些特定材料的表面结构，并没有很强的普适性，例如：目前，光刻无法对金属材料进行加工，紫外曝光只能对橡胶及塑料制品进行加工，对于某些高级材料如金属合金的3d打印技术尚未完全成熟；电火花加工在某些情况下也可用来制备表面结构，且设备价格相对便宜，但是其受限于金属电极的尺寸，加工精度不高，且存在电极损耗等问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本发明的目的是提供一种普适性较强、能够保证加工精度的微纳结构加工装置。
2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种微纳结构加工装置，包括用于放置待刻物的样品台；
4、石英生物针尖，石英生物针尖垂直于样品台设置且位于样品台上方；
5、运动机构，连接石英生物针尖，用于控制石英生物针尖位移；
6、进液泵，通过进液管连接石英生物针尖，用于向石英生物针尖中注入溶液；
7、高压电源，与石英生物针尖、样品台电连接，用于施加脉冲高电压，使由石英生物针尖滴落的溶液发生爆破。
8、作为优选，本发明更进一步的技术方案是：
9、优选的，若待刻物为绝缘层，则待刻物厚度需小于等于1mm。
10、优选的，进液泵采用微量注射泵，微量注射泵上固定有注射器，注射器前端通过进液管连通石英生物针尖。
11、优选的，石英生物针尖的针孔小于10微米，微量注射泵控制注射每秒的体积流量小于100纳升/秒。
12、采用上述技术方案的本发明，与现有技术相比，其突出的特点是：
13、较光刻、紫外曝光、3d打印设备本发明成本更低，较电火花加工，加工精度较高，能够实现多种材料表面微纳结构的加工制造，解决了目前微纳加工设备昂贵且缺乏普适性的问题。
1.一种微纳结构加工装置，其特征在于：包括用于放置待刻物的样品台（1）；
2.根据权利要求1所述的微纳结构加工装置，其特征在于：若待刻物为绝缘层，则待刻物厚度需小于等于1mm。
3.根据权利要求1所述的微纳结构加工装置，其特征在于：进液泵（3）采用微量注射泵，微量注射泵上固定有注射器，注射器前端通过进液管连通石英生物针尖（2）。
4.根据权利要求3所述的微纳结构加工装置，其特征在于：石英生物针尖（2）的针孔小于10微米，微量注射泵控制注射每秒的体积流量小于100纳升/秒。
