本发明涉及真空镀膜机，具体为一种用于真空镀膜机的阀门。
背景技术：
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，阀门是流体输送系统中的控制部件，具有截止、调节、导流、防止逆流、稳压、分流或溢流泄压等功能，阀门是真空镀膜机中不可或缺的重要部件。
2、现有的真空镀膜机阀门一般都是人工进行手动操作启闭，导致工作人员工作量较大自动化程度较低，同时启闭操作也比较费时费力，大大降低了生产加工的效率，同时无法根据实际生产加工的需要进行控制启闭开合度大小，对于流体量的控制精确性较差，大大影响生产加工的整体质量。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种用于真空镀膜机的阀门，以解决上述背景技术中提出的现有真空镀膜机阀门一般都是人工进行手动操作启闭，导致工作人员工作量较大自动化程度较低，同时启闭操作也比较费时费力，大大降低了生产加工的效率，同时无法根据实际生产加工的需要进行控制启闭开合度大小，对于流体量的控制精确性较差，大大影响生产加工的整体质量的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于真空镀膜机的阀门，包括阀体，所述阀体的顶部两侧皆设置有支撑板，所述支撑板相对的一侧表面皆设置有限位杆，所述限位杆之间设置有直线气缸，所述直线气缸的伸缩端设置有传动齿条，所述传动齿条的一侧啮合设置有传动齿轮，所述传动齿轮的轴杆靠近底部位置处设置有传动杆，所述阀体的内侧设置有阀腔，所述阀腔的内侧活动设置有阀芯，所述阀芯的一侧设置有连接座。
3、优选的，所述连接座的顶部设置有连接滑槽，且连接滑槽的内侧与传动杆的一端底部滑动卡合连接。
4、优选的，所述阀芯靠近底部的四个边角处皆设置有滚轮，且阀芯的顶部两侧表面皆对称设置有导向滑轮，且导向滑轮的数量分别设置有两组。
5、优选的，所述传动齿轮的外侧表面覆盖设置有防护壳，且防护壳一侧的表面与传动齿轮和传动齿条啮合位置处设置为开口结构。
6、优选的，所述阀体的两侧表面皆设置有贯通设置有阀口，所述阀口的形状设置为圆形，且阀口沿着阀体两侧表面呈对称排布。
7、优选的，所述阀体的一侧表面设置为开口结构，且阀体开口结构的外侧表面设置有封板。
8、优选的，所述封板的表面与阀体开口结构的外沿表面皆环绕设置有定位螺孔，且定位螺孔的内侧皆贯穿设置有定位螺钉。
9、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
10、该一种用于真空镀膜机的阀门，在进行日常使用时，本发明通过将设置的直线气缸外接到智能化控制系统中，通过程序设定指令控制直线气缸进行运行，通过直线气缸带动传动齿条进行往复移动，从而通过啮合带动传动齿轮进行往复转动，通过传动齿轮带动传动杆进行一定角度的往复移动，从而对连接座进行施加力拉动，最终带动阀芯进行移动实现对阀体进行启闭，代替了传统的人工手动操作，有效的提升了效率和自动化程度，同时降低了工作强度和时间成本。
11、该一种用于真空镀膜机的阀门，在进行日常使用时，本发明可根据实际生产加工的需要进行实时设定直线气缸的伸缩行程，通过对阀体的启闭开合程度大小进行实时的控制，从而实现对流体的流动速率和流动量进行实时调节把控，使得整体生产加工的精确性更高，同时有效的提升了生产加工的整体质量。
1.一种用于真空镀膜机的阀门，包括阀体(5)，其特征在于：所述阀体(5)的顶部两侧皆设置有支撑板(4)，所述支撑板(4)相对的一侧表面皆设置有限位杆(6)，所述限位杆(6)之间设置有直线气缸(2)，所述直线气缸(2)的伸缩端设置有传动齿条(8)，所述传动齿条(8)的一侧啮合设置有传动齿轮(9)，所述传动齿轮(9)的轴杆靠近底部位置处设置有传动杆(10)，所述阀体(5)的内侧设置有阀腔(18)，所述阀腔(18)的内侧活动设置有阀芯(13)，所述阀芯(13)的一侧设置有连接座(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的阀门，其特征在于：所述连接座(17)的顶部设置有连接滑槽(11)，且连接滑槽(11)的内侧与传动杆(10)的一端底部滑动卡合连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的阀门，其特征在于：所述阀芯(13)靠近底部的四个边角处皆设置有滚轮(14)，且阀芯(13)的顶部两侧表面皆对称设置有导向滑轮(12)，且导向滑轮(12)的数量分别设置有两组。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的阀门，其特征在于：所述传动齿轮(9)的外侧表面覆盖设置有防护壳(1)，且防护壳(1)一侧的表面与传动齿轮(9)和传动齿条(8)啮合位置处设置为开口结构。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的阀门，其特征在于：所述阀体(5)的两侧表面皆设置有贯通设置有阀口(7)，所述阀口(7)的形状设置为圆形，且阀口(7)沿着阀体(5)两侧表面呈对称排布。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的阀门，其特征在于：所述阀体(5)的一侧表面设置为开口结构，且阀体(5)开口结构的外侧表面设置有封板(3)。
7.根据权利要求6所述的一种用于真空镀膜机的阀门，其特征在于：所述封板(3)的表面与阀体(5)开口结构的外沿表面皆环绕设置有定位螺孔(16)，且定位螺孔(16)的内侧皆贯穿设置有定位螺钉(15)。
