本技术涉及半导体产品制造,具体涉及一种产品抽检方法、计算机设备及计算机可读存储介质。
背景技术:
1、随着半导体制造技术的不断发展和进步,半导体产品的复杂度和集成度日益提高,对半导体产品生产过程中的质量控制要求也愈发严格。在半导体产品生产过程中可以通过抽检实现产品的质量管控,保证半导体产品的质量、降低产品不良率。
2、目前常规的抽检方法包括人工抽检方法和基于mes(manufacturing executionsystem)系统的抽检方法。人工抽检方法是由人工凭借经验抽取要质检的产品进行质检,这种方法效率比较低且抽检的产品受到人为因素的影响比较大,导致抽检结果的准确性和稳定性较差。此外,这种方法缺少系统化、标准化的管理,无法对抽检过程进行全面监控和追溯。基于mes系统的抽检方法是利用mes系统中设置的抽检模块抽取要质检的产品进行质检,但是目前mes系统中的抽检模块功能比较单一,只能按照预设的抽检规则进行固定周期的抽检,无法根据产品特性和工序变化等因素进行动态调整,影响产品抽检的效率和准确性。
3、相应地,本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。
技术实现思路
1、为了克服上述缺陷,提出了本技术,以解决或至少部分地解决提高半导体产品的抽检效率和准确性的技术问题。
2、在第一方面,提供一种产品抽检方法,所述方法包括:
3、获取待抽检产品的产品抽检计划,所述产品抽检计划包括第一产品批次抽样规则和产品抽样规则,所述第一产品批次抽样规则用于表示对所述待抽检产品的产品批次进行抽样的方式,所述产品抽样规则用于表示对被抽样到的产品批次中的产品进行抽样的方式;
4、根据所述产品抽检计划与所述待抽检产品的产品规格,生成所述待抽检产品的抽检任务;
5、根据所述抽检任务生成所述待抽检产品的抽检单,所述抽检单包括目标批次编号和目标产品编号,所述目标批次编号为按照所述第一产品批次抽样规则对所述待抽检产品的产品批次进行抽样得到的目标批次的编号,所述目标产品编号为按照所述产品抽样规则对所述目标批次中的产品进行抽样得到的待抽检产品的编号;
6、根据所述抽检单对所述待抽检产品进行抽检。
7、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述产品抽检计划包括产品批次抽样类型,所述产品批次抽样类型用于表示对所述待抽检产品的产品批次进行抽样的触发条件,所述根据所述抽检任务生成所述待抽检产品的抽检单,包括:
8、响应于所述待抽检产品符合所述产品批次抽样类型表示的触发条件,确定对所述待抽检产品触发抽检,根据所述第一产品批次抽样规则与所述产品抽样规则分别获取所述目标批次编号和所述目标产品编号,根据所述目标批次编号和所述目标产品编号生成所述抽检单。
9、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述产品批次抽样类型包括工站维度类型、设备维度类型、工单维度类型和班次维度类型中的至少一者;
10、所述工站维度类型为在所述待抽检产品到达预设加工工站时对所述待抽检产品触发抽检;
11、所述设备维度类型为在所述待抽检产品到达预设加工设备时对所述待抽检产品触发抽检;
12、所述工单维度类型为在所述待抽检产品属于预设工单时对所述待抽检产品触发抽检;
13、所述班次维度类型为在所述待抽检产品由预设班次加工时对所述待抽检产品触发抽检。
14、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述根据所述产品抽检计划与所述待抽检产品的产品规格,生成所述待抽检产品的抽检任务,包括:获取所述待抽检产品的加工工站,根据所述加工工站、所述产品抽检计划和所述产品规格生成所述抽检任务;
15、或,获取所述待抽检产品的量测工站,根据所述量测工站、所述产品抽检计划和所述产品规格生成所述抽检任务。
16、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述根据所述抽检单对所述待抽检产品进行抽检,包括:若检测到所述待抽检产品到达所述加工工站或所述量测工站,则根据所述抽检单对所述待抽检产品进行抽检。
17、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述第一产品批次抽样规则包括第一随机数规则、第二随机数规则、奇数规则、偶数规则、间隔数规则、批次命名规则和间隔时间规则中的至少一者;
18、所述第一随机数规则为:对预设批次之后的产品批次进行随机抽样;
19、所述第二随机数规则为:对所有产品批次进行随机抽样;
20、所述奇数规则为:抽取批次编号为奇数的产品批次;
21、所述偶数规则为:抽取批次编号为偶数的产品批次;
22、所述间隔数规则为:按照预设的批次编号的间隔值抽取产品批次;
23、所述批次命名规则为:抽取批次名称满足预设条件的产品批次;
24、所述间隔时间规则为:针对各产品批次,若所述产品批次与其前一个产品批次之间的生产时间间隔大于预设时间阈值,则抽取所述产品批次。
25、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述产品抽检计划包括第二产品批次抽样规则,所述第二产品批次抽样规则用于在按照所述第一随机数规则或所述第二随机数规则抽样时,根据所述待抽检产品的抽检结果调整所述第一随机数规则或所述第二随机数规则的抽样参数;
26、其中,
27、所述抽检结果包括质量合格和质量不合格,所述抽样参数包括抽样总数和抽样数,所述抽样总数为参与每次抽样的待抽检产品的总数,所述抽样数为每次抽样要抽取到的待抽检产品的数量。
28、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述第二产品批次抽样规则包括第一加严规则、第二加严规则、第一放宽规则和第二放宽规则中的至少一者;
29、所述第一加严规则为:在对第一产品批次进行抽检时,若连续不合格数量大于第一数量,则在对第二产品批次进行抽检时增大所述抽样数与所述抽样总数的比值,所述连续不合格数量为连续抽检出质量不合格的待抽检产品的数量,所述第一产品批次为任意一个所述目标批次,所述第二产品批次为在所述第一产品批次之后的下一个所述目标批次;
30、所述第二加严规则为:在对所述第一产品批次进行抽检时,若累计不合格数量大于第二数量,则在对所述第二产品批次进行抽检时增大所述抽样数与所述抽样总数的比值,所述累计不合格数量为所述第一产品批次中质量不合格的待抽检产品的总数;
31、所述第一放宽规则为:在对所述第一产品批次进行抽检时,若所述连续不合格数量小于第三数量,则在对所述第二产品批次进行抽检时减小所述抽样数与所述抽样总数的比值;
32、所述第二放宽规则为:在对所述第一产品批次进行抽检时,若所述累计不合格数量小于第四数量,则在对所述第二产品批次进行抽检时减小所述抽样数与所述抽样总数的比值。
33、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述待抽检产品放置在载具的槽内,所述载具包括多个槽且所述多个槽的编号按照由小至大的顺序排列;
34、所述产品抽样规则包括第一抽样规则,所述第一抽样规则为按照所述载具中槽的编号对所述载具中的所述待抽检产品进行抽样。
35、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述目标产品编号为根据所述第一抽样规则抽样到的待抽检产品所在槽的第一编号;
36、所述产品抽样规则包括第二抽样规则,所述第二抽样规则为在根据所述抽检单对所述待抽检产品进行抽检时,若在所述第一编号的槽中未检测到待抽检产品,则依次检测第二编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品;
37、其中,所述第二编号为所述载具中所述第一编号以外剩余的槽编号。
38、在上述产品抽检方法的一个技术方案中,所述第二抽样规则包括向上抽样规则、向下抽样规则、先上后下抽样规则、先下后上抽样规则、先上后下交替抽样规则和先下后上交替抽样规则中的至少一者;
39、所述向上抽样规则为:依次检测第三编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品,所述第三编号为所述第二编号中排列在所述第一编号之后的槽编号;
40、所述向下抽样规则为:依次检测第四编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品,所述第四编号为所述第二编号中排列在所述第一编号之前的槽编号;
41、所述先上后下抽样规则为:依次检测所述第三编号和所述第四编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品;
42、所述先下后上抽样规则为:依次检测所述第四编号和所述第三编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品;
43、所述先上后下交替抽样规则为:分别交替检测所述第三编号和所述第四编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品,其中,在交替检测时先检测所述第三编号再检测所述第四编号;
44、所述先下后上交替抽样规则为:分别交替检测所述第四编号和所述第三编号的槽中是否有待抽检产品,并抽检首个被检测到的待抽检产品,其中,在交替检测时先检测所述第四编号再检测所述第三编号。
45、在第二方面,提供一种计算机设备,该计算机设备包括至少一个处理器;以及,与所述至少一个处理器通信连接的存储器;其中,所述存储器中存储有计算机程序,所述计算机程序被所述至少一个处理器执行时实现上述产品抽检方法的技术方案中任一项技术方案所述的方法。
46、在第三方面,提供一种计算机可读存储介质,该计算机可读存储介质其中存储有多条程序代码,所述程序代码适于由处理器加载并运行以执行上述产品抽检方法的技术方案中任一项技术方案所述的方法。
47、本技术上述一个或多个技术方案,至少具有如下一种或多种有益效果:
48、在实施本技术提供的一个产品抽检方法的技术方案中,可以获取待抽检产品的产品抽检计划,产品抽检计划包括第一产品批次抽样规则和产品抽样规则,第一产品批次抽样规则用于表示对待抽检产品的产品批次进行抽样的方式,产品抽样规则用于表示对被抽样到的产品批次中的产品进行抽样的方式;根据产品抽检计划与待抽检产品的产品规格,生成待抽检产品的抽检任务;根据抽检任务生成待抽检产品的抽检单,抽检单包括目标批次编号和目标产品编号,目标批次编号为按照第一产品批次抽样规则对待抽检产品的产品批次进行抽样得到的目标批次的编号,目标产品编号为按照产品抽样规则对目标批次中的产品进行抽样得到的待抽检产品的编号;根据抽检单对待抽检产品进行抽检。
49、基于上述实施方案可以自动生成抽检任务、抽检单,并根据抽检单自动地完成产品抽检,不需要由人工凭借经验抽取要质检的产品进行质检,克服了人工抽检带来的效率低、准确性和稳定性较差的问题,同时还实现了系统化、标准化的管理,有利于对抽检过程进行全面监控和追溯;通过调整产品抽检计划可以改变抽检任务和抽检单,实现了对产品抽检的动态调整,具有较高的灵活性,进一步提高了产品抽检的效率和准确性,基于上述实施方案有助于产品制造企业实现对产品质量的全面控制,提升产品良率,降低生产成本,提高市场竞争力。
1.一种产品抽检方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述产品抽检计划包括产品批次抽样类型,所述产品批次抽样类型用于表示对所述待抽检产品的产品批次进行抽样的触发条件,所述根据所述抽检任务生成所述待抽检产品的抽检单,包括:
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述产品批次抽样类型包括工站维度类型、设备维度类型、工单维度类型和班次维度类型中的至少一者;
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述产品抽检计划与所述待抽检产品的产品规格,生成所述待抽检产品的抽检任务,包括:
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述根据所述抽检单对所述待抽检产品进行抽检,包括:
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一产品批次抽样规则包括第一随机数规则、第二随机数规则、奇数规则、偶数规则、间隔数规则、批次命名规则和间隔时间规则中的至少一者;
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述产品抽检计划包括第二产品批次抽样规则,所述第二产品批次抽样规则用于在按照所述第一随机数规则或所述第二随机数规则抽样时,根据所述待抽检产品的抽检结果调整所述第一随机数规则或所述第二随机数规则的抽样参数;
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述第二产品批次抽样规则包括第一加严规则、第二加严规则、第一放宽规则和第二放宽规则中的至少一者;
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述待抽检产品放置在载具的槽内,所述载具包括多个槽且所述多个槽的编号按照由小至大的顺序排列;
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述目标产品编号为根据所述第一抽样规则抽样到的待抽检产品所在槽的第一编号;
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述第二抽样规则包括向上抽样规则、向下抽样规则、先上后下抽样规则、先下后上抽样规则、先上后下交替抽样规则和先下后上交替抽样规则中的至少一者;
12.一种计算机设备,其特征在于,包括:
13.一种计算机可读存储介质,其中存储有多条程序代码,其特征在于,所述程序代码适于由处理器加载并运行以执行权利要求1至11中任一项所述的产品抽检方法。
