本发明涉及真空设备,具体是一种真空腔体顶部加热结构。
背景技术:
1、在线路板、半导体、面板等产品的制造过程中,基板和膜材之间需要进行真空压膜工序,主要是为了确保膜材能够均匀、紧密地贴合在基板表面上,以达到所需的性能要求。
2、中国专利公开号:cn219893528u公开了一种真空腔体顶部加热结构能实现四点压膜的真空压膜结构,包括上动板和下基础板,上动板设有上真空框,下基础板设有下真空框,上真空框和下真空框组合成真空腔体,上真空框内设有上加热组件,下真空框内设有下加热组件,上动板设有四个加压油缸,每一加压油缸的输出轴穿过上动板与上加热组件连接,下基础板的下方设有驱动油缸,每一驱动油缸的输出轴与上动板连接。
3、现有技术中,为了确保真空腔体的密封性能,保证真空腔体的抽真空和加热工序正常进行,通常会在上真空框和下真空框之间固定设置密封条,而在反复开关真空腔体的过程中,密封条可能会受到磨损,导致其发生厚度减小的问题,这样就导致了上下真空框配合时,真空腔体的密封性降低,从而影响到抽真空的工作。
4、因此,有必要提供一种真空腔体顶部加热结构解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种真空腔体顶部加热结构,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种真空腔体顶部加热结构,包括上真空框和下真空框,所述下真空框设置在上真空框的下方;所述上真空框内顶部设置有用于对真空腔体进行加热的加热组件,所述下真空框的顶部侧壁设置有安装槽,所述安装槽内安装设置有密封条,所述上真空框的底部侧壁上固定设置有密封框,所述密封条的底部设置有顶升机构,所述顶升机构远离托板的一侧设置有传动组件,所述传动组件滑动设置在下真空框的侧壁内;
3、当上真空框向下真空框移动贴合时,上真空框驱动传动组件向下移动,传动组件向下移动驱动顶升机构向上移动。
4、作为本发明进一步的方案:所述顶升机构包括顶框;所述顶框弹性设置在安装槽内底部,所述顶框的顶部与密封条的顶部滑动贴合,所述顶框远离托板的一侧与传动组件固定连接。
5、作为本发明进一步的方案:所述传动组件包括驱动板;所述驱动板滑动设置在顶框远离托板的一侧,且驱动板与下真空框的侧壁滑动连接,所述驱动板靠近顶框的一侧传动设置有齿轮,所述齿轮远离驱动板的一侧传动连接有第二固定板,所述第二固定板上设置有与齿轮贴合的齿槽,所述第二固定板的底部与顶框的底端一侧固定连接。
6、作为本发明进一步的方案:驱动板包括齿板和齿板顶端弹性连接有延伸板;所述齿板、延伸板均与下真空框的侧壁滑动贴合,所述齿板与齿轮传动啮合。
7、作为本发明进一步的方案:所述顶框远离第二固定板的一侧固定设置有第一固定板,所述第一固定板、第二固定板的顶部均固定设置有安装框,两组所述安装框相对的一端固定设置有夹持板,夹持板与密封条的侧壁滑动贴合,所述安装框、第一固定板均与下真空框的侧壁密封滑动连接。
8、作为本发明进一步的方案:所述上真空框的底部固定设置有与安装框滑动贴合的配合框,所述安装框的顶部沿中心对称设置有凸起,配合框相对凸起的一端设置有与凸起适配的凹槽,两组凸起设置有密封气囊,所述密封气囊固定设置在安装框的顶部侧壁内。
9、作为本发明进一步的方案:所述顶框内设置有第一空腔,所述第一空腔内密封滑动设置有活塞板,所述活塞板的固定设置有方形板,所述方形板的底部滑动穿过顶框与安装槽的底部固定连接,所述安装框和第二固定板内设置有与密封气囊连通的第一气道,所述顶框内底端侧壁内设置有与第一空腔连通的第二气道,所述第一气道和第二气道相连通。
10、作为本发明进一步的方案:所述方形板的两侧对称设置有封堵板,所述封堵板与活塞板滑动连接,所述封堵板滑动设置在第一空腔内。
11、作为本发明进一步的方案:所述方形板上设置有第二空腔,所述封堵板内滑动连接有限位板,所述封堵板靠近方形板的一侧中部固定设置有横板,所述横板和活塞板之间设置有弹簧,所述限位板和横板之间设置有弹性件。
12、作为本发明进一步的方案:所述活塞板相对限位板的侧壁上设置有与限位板顶端滑动配合的限位口,所述第一空腔的内壁底部设置有与限位板底端滑动配合的豁口。
13、与现有技术相比,本发明的有益效果是:当上真空框向下真空框移动推动延伸板向下真空框内移动时,延伸板通过弹性柱推动齿板移动,齿板移动通过齿轮驱动第二固定板向上移动,进而使得顶框推动密封条向上移动,在此过程中,弹性柱处于正常状态,当密封条与密封框贴合后,弹性柱会发生收缩状态,使得延伸板向齿板移动,而齿板不再移动,实现了当密封条出现磨损之后,通过弹性柱的作用可以使得顶框向上移动推动密封条去适配密封框和顶框之间的间隔,从而延长了密封条的使用寿命。
1.一种真空腔体顶部加热结构,包括上真空框和下真空框,所述下真空框设置在上真空框的下方;其特征在于,所述上真空框内顶部设置有用于对真空腔体进行加热的加热组件,所述下真空框的顶部侧壁设置有安装槽,所述安装槽内安装设置有密封条,所述上真空框的底部侧壁上固定设置有密封框,所述密封条的底部设置有顶升机构,所述顶升机构远离托板的一侧设置有传动组件,所述传动组件滑动设置在下真空框的侧壁内;
2.根据权利要求1所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述顶升机构包括顶框;所述顶框弹性设置在安装槽内底部,所述顶框的顶部与密封条的顶部滑动贴合,所述顶框远离托板的一侧与传动组件固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述传动组件包括驱动板;所述驱动板滑动设置在顶框远离托板的一侧,且驱动板与下真空框的侧壁滑动连接,所述驱动板靠近顶框的一侧传动设置有齿轮,所述齿轮远离驱动板的一侧传动连接有第二固定板,所述第二固定板上设置有与齿轮贴合的齿槽,所述第二固定板的底部与顶框的底端一侧固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,驱动板包括齿板和齿板顶端弹性连接有延伸板;所述齿板、延伸板均与下真空框的侧壁滑动贴合,所述齿板与齿轮传动啮合。
5.根据权利要求3所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述顶框远离第二固定板的一侧固定设置有第一固定板,所述第一固定板、第二固定板的顶部均固定设置有安装框,两组所述安装框相对的一端固定设置有夹持板,夹持板与密封条的侧壁滑动贴合,所述安装框、第一固定板均与下真空框的侧壁密封滑动连接。
6.根据权利要求5所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述上真空框的底部固定设置有与安装框滑动贴合的配合框,所述安装框的顶部沿中心对称设置有凸起,配合框相对凸起的一端设置有与凸起适配的凹槽,两组凸起设置有密封气囊,所述密封气囊固定设置在安装框的顶部侧壁内。
7.根据权利要求5所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述顶框内设置有第一空腔,所述第一空腔内密封滑动设置有活塞板,所述活塞板的固定设置有方形板,所述方形板的底部滑动穿过顶框与安装槽的底部固定连接,所述安装框和第二固定板内设置有与密封气囊连通的第一气道,所述顶框内底端侧壁内设置有与第一空腔连通的第二气道,所述第一气道和第二气道相连通。
8.根据权利要求7所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述方形板的两侧对称设置有封堵板,所述封堵板与活塞板滑动连接,所述封堵板滑动设置在第一空腔内。
9.根据权利要求8所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述方形板上设置有第二空腔,所述封堵板内滑动连接有限位板,所述封堵板靠近方形板的一侧中部固定设置有横板,所述横板和活塞板之间设置有弹簧,所述限位板和横板之间设置有弹性件。
10.根据权利要求9所述的一种真空腔体顶部加热结构,其特征在于,所述活塞板相对限位板的侧壁上设置有与限位板顶端滑动配合的限位口,所述第一空腔的内壁底部设置有与限位板底端滑动配合的豁口。
