本发明涉及半导体自动化机械人，尤其涉及炉管半自动拆装设备。
背景技术：
1、现有的半导体和光伏行业化学沉积炉（cvd）、扩散炉等大部分采用的石英玻璃炉管，由于玻璃炉管在使用一段时间后，管内壁会受到炉管内反应气体的化学污染，加上反应温度变化造成玻璃炉管出现裂纹等原因，使得化学沉积炉（cvd）、扩散炉内的炉管，需要频繁的拆装更换；已有技术是通过人工进行石英玻璃炉管的更换和拆装的，由于炉管的尺寸长、重量大，且更换位置比较高，需要6-8名工人抬上抬下的拆装更换，费时费力、效率低；并且人工拆装搬运石英玻璃炉管时，有裂纹的炉管会很容易破碎，这对装卸工人会造成人生安全隐患，另外，用于装载炉管的炉体也要进行维修更换，维修更换过程也需要从基座上拆卸取下来，已有技术的这种工作也是人工抬上抬下，不仅耗费大量的人力，而且效率低，维修更换困难。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种节省人员、操作省力、效率高、能防止对操作者造成伤害的炉管半自动装卸装备。
2、本发明的炉管半自动装卸设备是这样实现的，包括车子、设置在车子上的升降动力机构、由升降动力机构带动的前后移动机构、由前后移动机构带动的左右微调移动机构、由左右微调移动机构带动的带有转动台的角度微调转动机构、设置在转动台上面的v形辊轮组。
3、使用时，将炉管置于转动台上面的v形辊轮组，然后通过车子将炉管运送到化学沉积炉（cvd）或者扩散炉的炉管装设入口处，通过升降动力机构升起前后移动机构，使炉管升至炉管装设入口处，使炉管与炉管装设入口处于精确的同一水平线上，通过左右微调移动机构调节水平移动台的左右位置，使炉管正对着炉管装设入口，通过角度微调转动机构调节转动台的角度，使炉管的轴线与炉管装设入口轴线重合，这就可以用人工通过v形辊轮组沿轴线精确地推动到炉内。
4、优选地，转动台两侧设置有数个支撑架，支撑架包括一对相对平行设置的竖板、连接在两竖板之间的连接块，连接块置于转动台台面上，竖板顶端设置有与炉体底脚匹配的v形凹口，竖板顶端高于v形辊轮组，当炉体置于支撑架后，炉体不会碰着v形辊轮组，转动台上设置有与一对竖板匹配的一对穿槽，当支撑架倒置于一对穿槽上，使竖板插进穿槽且连接块靠在转动台后，支撑架最高处不高于v形辊轮组，以保证炉管在v形辊轮组导向下移动。
5、使用时，当需要装设、提取炉管时，将支撑架倒置于一对穿槽上，使支撑架不影响炉管的传输，需要传送炉体时，将支撑架正放置在转动台台面上，以便能顺畅地传送炉体。
6、优选地，数个支撑架分成两排，对称设置在转动台台面的两边。采用对称设置在转动台台面的两边的两排支撑架，保证稳定地支撑炉体。
7、优选地，连接块呈方条形，方条形连接块上旋接有两根螺杆，与螺杆匹配的转动台上设置有穿孔。使用时，螺杆插入穿孔内，使支撑架定位在转动台上，使支撑架的姿态稳定，从而保证支撑的稳定，采用螺杆，通过往连接块两边穿接螺杆，就能根据使用要求，采用正反两种形式放置定位支撑架，以适应不同构件的传送，采用方条形连接块，不管正反那种形式，支撑架都能紧靠在转动台上，保证支撑架置于转动台上的稳定。
8、优选地，前后移动机构包括设置在升降动力机构的升降基座上的纵向轨道、滑动设置在纵向轨道上的纵向滑块，左右微调移动机构的左右移动基座固定在纵向滑块上，左右微调移动机构包括左右移动基座、设置在左右移动基座上的横向轨道、滑动设置在横向轨道上的横向滑块，角度微调转动机构的转动基座固定在横向滑块上，角度微调转动机构包括转动基座、固定在转动基座中部的转轴、转动设置在转轴上的转动台、设置在转动台下面的数个滚轮，数个滚轮围绕转轴四周设置。
9、使用时，通过手动操作，来调节转动台的左右以及角度位置，使炉管的轴线与炉管装设入口轴线重合，这就可以用人工通过v形辊轮组沿轴线精确地推动到炉内；若装设炉体，则通过人工推动，使左右微调移动机构、角度微调转动机构及转动台上的炉体前送进炉架上，利用炉架上的移动定位机构，将炉体继续传送进炉架的装设位置上，从而完成炉体的安装；拆卸炉体时，将转动台前伸入炉架的炉体接收位置上，通过炉架上的移动定位机构将炉体送到转动台上的支撑架上即可。
10、优选地，调节平台上的角度微调转动机构包括由手轮带动转动的转轴、由转轴带动的软轴或者可伸缩的万向联轴器、动力输入轴与软轴连接的变速箱，垂直于动力输入轴的变速箱的输出轴连接在转动台的底面，围绕输出轴的四周的水平移动台与转动台之间设置有三个以上万向滚轮。
11、工作时，通过手轮带动转轴转动，转轴带动软轴或者可伸缩的万向联轴器转动，使变速箱的输出轴带动转动台转动，实现角度微调转动机构调节转动台的角度，万向滚轮使转动台稳定地支撑在水平移动台上，采用软轴或者可伸缩的万向联轴器，这样，即使左右微调移动机构的动作使转轴与变速箱的输入轴之间的距离稍有变化，也不影响角度微调转动机构的工作。
12、优选地，设置有车子定位机构，车子定位机构包括固定在化学气相沉积炉或扩散炉的炉管装设入口处正下方的位置上的带有卡口的座、与卡口匹配的设置在车子前端的定位辊。
13、使用时，将车子推到座的前方，使定位辊嵌入卡口上，然后，启动车子的刹车机构，这样，车子就会被定位而不能移动，同时，在带有卡口的座的作用下，车子也不会侧翻。
14、优选地，设置有车子固定架，车子固定架包括分别横向固定在车子前后两端的两套筒、穿接在套筒左右两端的活动杆、连接在活动杆上的带有支撑底座的支撑杆，支撑杆能上下调节固定在活动杆上。
15、使用时，当需要车子稳定定位时，将活动杆从套筒移出，然后放下支撑杆，使支撑底座靠在地面上，然后将支撑杆的位置固定，由于有四根支撑杆展开支撑在地面上，形成稳定的四点支撑，从而保证所需要传送的转动台稳定地定位，进而保证炉管或者炉体顺畅地被提取或者传送。
16、本发明与已有技术相比，具有节省人员、操作省力、效率高、能防止对操作者造成伤害的优点。
1.一种炉管半自动装卸设备，其特征在于，包括车子、设置在车子上的升降动力机构、由升降动力机构带动的前后移动机构、由前后移动机构带动的左右微调移动机构、由左右微调移动机构带动的带有转动台的角度微调转动机构、设置在转动台上面的v形辊轮组。
2.根据权利要求1所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，转动台两侧设置有数个支撑架，支撑架包括一对相对平行设置的竖板、连接在两竖板之间的连接块，连接块置于转动台台面上，竖板顶端设置有与炉体底脚匹配的v形凹口，竖板顶端高于v形辊轮组，当炉体置于支撑架后，炉体不会碰着v形辊轮组，转动台上设置有与一对竖板匹配的一对穿槽，当支撑架倒置于一对穿槽上，使竖板插进穿槽且连接块靠在转动台后，支撑架最高处不高于v形辊轮组，以保证炉管在v形辊轮组导向下移动。
3.根据权利要求2所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，数个支撑架分成两排，对称设置在转动台台面的两边。
4.根据权利要求3所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，连接块呈方条形，方条形连接块上旋接有两根螺杆，与螺杆匹配的转动台上设置有穿孔。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，前后移动机构包括设置在升降动力机构的升降基座上的纵向轨道、滑动设置在纵向轨道上的纵向滑块，左右微调移动机构的左右移动基座固定在纵向滑块上，左右微调移动机构包括左右移动基座、设置在左右移动基座上的横向轨道、滑动设置在横向轨道上的横向滑块，角度微调转动机构的转动基座固定在横向滑块上，角度微调转动机构包括转动基座、固定在转动基座中部的转轴、转动设置在转轴上的转动台、设置在转动台下面的数个滚轮，数个滚轮围绕转轴四周设置。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，设置有车子固定架，车子固定架包括分别横向固定在车子前后两端的两套筒、穿接在套筒左右两端的活动杆、连接在活动杆上的带有支撑底座的支撑杆，支撑杆能上下调节固定在活动杆上。
7.根据权利要求5所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，设置有车子固定架，车子固定架包括分别横向固定在车子前后两端的两套筒、穿接在套筒左右两端的活动杆、连接在活动杆上的带有支撑底座的支撑杆，支撑杆能上下调节固定在活动杆上。
8.根据权利要求1或2或3或4或7所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，在转动台上设置有穿接在转动台侧板上的辊轮刹车杆，设置有插在转动台飘出的飘板及转动基座的飘板之间的防转动插销，设置有插在左右移动基座飘出的飘板及转动基座的飘板之间的防左右移动插销，设置有插在左右移动基座飘出的飘板及升降基座的飘板之间的防前后移动插销。
9.根据权利要求5所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，在转动台上设置有穿接在转动台侧板上的辊轮刹车杆，设置有插在转动台飘出的飘板及转动基座的飘板之间的防转动插销，设置有插在左右移动基座飘出的飘板及转动基座的飘板之间的防左右移动插销，设置有插在左右移动基座飘出的飘板及升降基座的飘板之间的防前后移动插销。
10.根据权利要求6所述的炉管半自动装卸设备，其特征在于，在转动台上设置有穿接在转动台侧板上的辊轮刹车杆，设置有插在转动台飘出的飘板及转动基座的飘板之间的防转动插销，设置有插在左右移动基座飘出的飘板及转动基座的飘板之间的防左右移动插销，设置有插在左右移动基座飘出的飘板及升降基座的飘板之间的防前后移动插销。
