本发明涉及靶材，特别涉及一种ito靶材的绑定方法及ito靶材。
背景技术：
1、磁控溅射的靶材为光电功能材料，现有的ito(indium tin oxide)靶材由靶材与背管通过绑定组成。ito靶材目前使用铟为焊料的绑定材料，通过超声波涂布机对靶材的内表面和背管的外表面进行涂布铟，再将靶材套在背管的外侧，将靶材和背管整体放置加热炉上加热到适当温度，倒入铟液并将靶材放置铟层上，进行降温，使得靶材和背管最终焊接在一起。
2、在磁控溅射过程，电子对靶材表面轰击，会导致靶材表面升温，同时溅射过程保持稳定需要靶材保持在温度稳定状态，需要背管与靶材之间传热散热均匀良好。这样靶材在溅射过程中避免因为局部温度偏高导致开裂或者溢铟的不良发生。
3、而由于绑定时，在靶材和背管之间的铟层存在表面张力等影响，导致铟层流动有一定阻力，铟层的局部位置出现较小气泡或者间隙，绑定完成后局部位置存在无铟的空隙，靶材和背管无法完全贴合，磁控溅射过程中，空隙位置传热不良，靶材的局部温度偏高，容易产生开裂问题。
技术实现思路
1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种ito靶材的绑定方法，能够提高靶材和背管的贴合率，避免靶材开裂。
2、本发明还提成一种通过上述ito靶材的绑定方法制得的ito靶材。
3、根据本发明的第一方面实施例的ito靶材的绑定方法，包括以下步骤：
4、步骤一：获取铟块、靶材和背管；
5、步骤二：将纯铟加热到熔融状态，以形成铟液，在铟液中掺杂锌；
6、步骤三:在所述靶材的内表面涂抹掺杂锌的铟液，且在所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液，将所述靶材套设于所述背管，以使所述靶材与所述背管之间具有间隙，通过绑定工装固定所述靶材与所述背管；
7、步骤四：将掺杂锌的铟液浇铸到所述间隙中，使掺杂锌的铟液充满所述间隙，以形成绑定层；
8、步骤五：冷却所述靶材、所述背管以及所述绑定层。
9、根据本发明的第一方面实施例的ito靶材的绑定方法，至少具有如下有益效果：
10、通过在铟液中掺杂锌，锌的添加使得铟变成掺杂有锌的合金铟，含有锌的铟比纯铟的在液态情况下有更好的流动性，在靶材与背管之间的间隙浇铸掺杂锌的铟液时，掺杂锌的铟液的流动阻力减少，能够方便靶材与背管之间的间隙的气体排出，排气更加顺畅，以减少靶材与背管之间存在空隙位置的情况，能够提高靶材与背管的绑定贴合率，在磁控溅射过程中，靶材的传热效率提高，且能够均匀地传热，能够减少靶材产生开裂的问题，从而提高ito靶材的使用寿命。
11、根据本发明的一些实施例,在步骤三中，在对所述靶材的内表面和所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液之前，加热所述靶材和所述背管，以使所述靶材和所述背管的温度大于180℃且小于230℃，并保温60～150min。
12、根据本发明的一些实施例,通过超声波涂布设备，对所述靶材的内表面和所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液。
13、根据本发明的一些实施例,在对所述靶材的内表面和所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液之后，将所述背管和所述靶材竖立设置，且将所述靶材套设于所述背管，再密封所述背管的底部和所述靶材的底部。
14、根据本发明的一些实施例,在掺杂锌的铟液中，锌的质量成分占比为0.001％至0.00015％。
15、根据本发明的一些实施例,，在步骤三中，升温速率为0.5-0.8℃/min。
16、根据本发明的一些实施例,在填充掺杂锌的铟液的过程中，控制所述靶材的内表面和所述背管的外表面的温度为157～200℃。
17、根据本发明的一些实施例,在步骤五中，降温速率为0.3-0.8℃/min，当所述靶材和所述背管的温度降温至常温时，拆卸绑定工装，即得到绑定好的ito靶材。
18、根据本发明的第二方面实施例的ito靶材，包括包括靶材、背管以及绑定层，所述靶材套设于所述背管，所述绑定层设于所述靶材与所述背管之间，且所述绑定层填充满所述靶材与所述背管之间的间隙，其中，所述绑定层由铟和锌组成。
19、根据本发明的一些实施例,在所述绑定层中，所述锌的质量成分占比为0.001％至0.00015％。
20、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
1.一种ito靶材的绑定方法,其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，在步骤三中，在对所述靶材的内表面和所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液之前，加热所述靶材和所述背管，以使所述靶材和所述背管的温度大于180℃且小于230℃，并保温60～150min。
3.根据权利要求1所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，通过超声波涂布设备，对所述靶材的内表面和所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液。
4.根据权利要求3所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，在对所述靶材的内表面和所述背管的外表面涂抹掺杂锌的铟液之后，将所述背管和所述靶材竖立设置，且将所述靶材套设于所述背管，再密封所述背管的底部和所述靶材的底部。
5.根据权利要求1所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，在掺杂锌的铟液中，锌的质量成分占比为0.001％至0.00015％。
6.根据权利要求1所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，在步骤三中，升温速率为0.5-0.8℃/min。
7.根据权利要求1所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，在填充掺杂锌的铟液的过程中，控制所述靶材的内表面和所述背管的外表面的温度为157～200℃。
8.根据权利要求1所述的ito靶材的绑定方法，其特征在于，在步骤五中，降温速率为0.3-0.8℃/min，当所述靶材和所述背管的温度降温至常温时，拆卸绑定工装，即得到绑定好的ito靶材。
9.一种ito靶材，其特征在于，包括靶材、背管以及绑定层，所述靶材套设于所述背管，所述绑定层设于所述靶材与所述背管之间，且所述绑定层填充满所述靶材与所述背管之间的间隙，其中，所述绑定层由铟和锌组成。
10.根据权利要求9所述的ito靶材，其特征在于，其特征在于，在所述绑定层中，所述锌的质量成分占比为0.001％至0.00015％。
