本发明实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种波分复用器以及检测装置。
背景技术：
1、流式细胞分析仪作为对不同细胞进行统计和分类的仪器已被广泛应用于医疗和生物领域，流式细胞分析仪的光学系统通常由光束整形模块、激发与散射光/荧光收集模块、波分复用器模块等构成。
2、其中，光束整形模块、激发与散射光/荧光收集模块用于将光能量作用于待测颗粒物，使待测颗粒物产生散射光和比散射光波长长的多种荧光并将其收集到波分复用器中。波分复用器用于将上述散射光和荧光根据不同波长分离开来，并将各波长光分别送入不同的探测器，从而探测到散射光和荧光的各自光能量大小，最终表征颗粒物的性状。
3、但是，目前波分复用器的性能仍有待提高。
技术实现思路
1、本发明实施例解决的问题是提供一种波分复用器以及检测装置，降低散射光串入荧光通道的概率，并简化结构、降低了成本且提高可靠性。
2、为解决上述问题，本发明实施例提供一种波分复用器，所述波分复用器用于分离光信号中的散射光以及多个不同波段的荧光，所述波分复用器包括：所述波分复用器包括沿光路上依次设置的：第一滤光片组，包括第一滤光片，所述第一滤光片用于透射所述光信号中的散射光且反射荧光；中路滤光片，用于反射所述第一滤光片组所反射光线中的散射光且透射荧光；第二滤光片组，包括沿光路上依次设置的第二滤光片，且沿光线传输方向上，前一个第二滤光片透射第一波长的荧光且反射大于等于第二波长的荧光，后一个第二滤光片透射第二波长的荧光且反射大于等于第三波长的荧光，所述第一波长小于第二波长，且所述第二波长小于第三波长。
3、可选的，所述第一滤光片的数量为一个或多个。
4、可选的，所述第一滤光片以及多个第二滤光片呈两排且错位排列。
5、可选的，所述第一滤光片以及所述第二滤光片呈一排排列；所述波分复用器还包括：反射镜，与所述第一滤光片以及第二滤光片相对且平行设置。
6、可选的，所述中路滤光片对散射光的反射率大于90％。
7、可选的，所述中路滤光片对荧光的透射率大于90％。
8、可选的，光线进入所述中路滤光片时与所述中路滤光片法线夹角为0°至70°。
9、可选的，所述波分复用器还包括：聚光透镜，用于对所述第一滤光片或第二滤光片透射的光线进行汇聚；光电探测器，用于对所述聚光透镜汇聚的光线进行探测。
10、可选的，所述波分复用器还包括：准直光学元件，用于对所述光信号进行准直处理，并将光信号入射至所述第一滤光片组和第二滤光片组中。
11、可选的，所述准直光学元件为消色差准直透镜。
12、相应的，本发明实施例还提供一种检测装置，包括：光源提供模块，用于提供光信号，所述光信号包括散射光和荧光；本发明实施例提供的波分复用器。
13、可选的，所述光源提供模块包括：光源，用于发出入射光；光束整形模块，用于对所述入射光线进行整形处理，以在待测物流经位置上形成光斑，所述光斑用于照射待测物以产生所述光信号；光能量收集模块，用于收集所述光信号。
14、可选的，所述检测装置为流式细胞仪。
15、与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：
16、本发明实施例提供的波分复用器，通过在第一滤光片组和第二滤光片组之间的光路上还设置有所述中路滤光片，所述中路滤光片用于反射所述第一滤光片组所反射光线中的散射光且透射荧光，以对第一滤光片组反射的散射光进一步反射，从而降低散射光进入后续荧光通道(即在第二滤光片组中形成的荧光通道)而造成串扰的概率，并且无需在每一个荧光通道均额外设置滤光片，减少了滤光片的使用，进而有利于在提高波分复用器的性能的同时，还简化结构、降低了设备成本且增加了波分复用器的可靠性。
17、本发明实施例提供的检测装置中，包括本发明实施例提供的波分复用器，通过波分复用器对光信号中的散射光和荧光依据不同波长进行分离，本发明实施例的波分复用器对不同波长的光信号的分离效果好、效率高，且结构简单、成本低、可靠性高，相应提高了检测装置的检测准确度和可靠性，同时简化检测装置的结构、降低成本。
1.一种波分复用器，其特征在于，所述波分复用器用于分离光信号中的散射光以及多个不同波段的荧光，所述波分复用器包括沿光路上依次设置的：
2.如权利要求1所述的波分复用器，其特征在于，所述第一滤光片的数量为一个或多个。
3.如权利要求1或2所述的波分复用器，其特征在于，所述第一滤光片以及多个第二滤光片呈两排且错位排列。
4.如权利要求1或2所述的波分复用器，其特征在于，所述第一滤光片以及所述第二滤光片呈一排排列；
5.如权利要求1所述的波分复用器，其特征在于，所述中路滤光片对散射光的反射率大于90％。
6.如权利要求5所述的波分复用器，其特征在于，所述中路滤光片对荧光的透射率大于90％。
7.如权利要求1所述的波分复用器，其特征在于，光线进入所述中路滤光片时与所述中路滤光片法线之间的夹角为0°至70°。
8.如权利要求1所述的波分复用器，其特征在于，所述波分复用器还包括：聚光透镜，用于对所述第一滤光片或第二滤光片透射的光线进行汇聚；vdo-pa230001-cn
9.如权利要求1所述的波分复用器，其特征在于，所述波分复用器还包括：准直光学元件，用于对所述光信号进行准直处理，并将光信号入射至所述第一滤光片组和第二滤光片组中。
10.如权利要求9所述的波分复用器，其特征在于，所述准直光学元件为消色差准直透镜。
11.一种检测装置，其特征在于，包括：
12.如权利要求11所述的检测装置，其特征在于，所述光源提供模块包括：光源，用于发出入射光；光束整形模块，用于对所述入射光线进行整形处理，以在待测物流经位置上形成光斑，所述光斑用于照射待测物以产生所述光信号；光能量收集模块，用于收集所述光信号。
13.如权利要求11所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置为流式细胞仪。
