本发明涉及涡旋泵。
背景技术:
1、涡旋泵是一种已知类型的泵,用于各种不同的行业中以泵送流体。涡旋泵通过使用两个相互啮合的涡盘(称为固定涡盘和绕动涡盘)的相对运动来操作,以泵送流体。固定和绕动涡盘中的每个都包括从基座延伸的螺旋壁。
2、一种类型的涡旋泵是非接触式涡旋泵。在非接触式涡旋泵中,在固定和绕动涡盘中的每个的末端(即螺旋壁的端部)与另一个涡盘之间没有接触。此外,在非接触式涡旋泵中,在固定和绕动涡盘中的每个的末端与另一个涡盘之间没有末端密封件。因此,在非接触式涡旋泵中,在固定和绕动涡盘中的每个的末端与另一个涡盘之间存在小间隙(或空隙),例如10-20微米。为了保持所述间隙,非接触式涡旋泵通常包括与涡盘中的一个接合的推力轴承组件,以保持该涡盘相对于另一个涡盘处于正确的轴向位置。
技术实现思路
1、在本发明的一方面中,提供了一种非接触式涡旋泵,所述非接触式涡旋泵包括壳体、位于壳体内的绕动涡盘以及位于壳体内用于轴向支撑绕动涡盘的推力轴承组件。推力轴承组件包括固定到绕动涡盘的第一板、与第一板间隔开的第二板以及位于第一板和第二板之间的滚珠轴承,所述滚珠轴承配置成在绕动涡盘的绕动期间抵靠第一和第二板滚动。所述推力轴承组件还包括联接结构,所述联接结构在壳体和第二板之间延伸以将壳体联接到第二板,其中,所述联接结构包括热阻断器,用于在非接触式涡旋泵的操作期间减少从第二板到联接结构的热传递。
2、所述联接结构可以包括具有中空部段的销。所述中空部段可从销的与第二板接触的端部附近轴向延伸。所述热阻断器可以至少部分地由中空部段提供。
3、所述销可以具有与壳体的销从其延伸的部段相同的热膨胀系数。
4、所述联接结构可以包括位于第二板和联接结构的其余部分之间的一个或多个插入件,其中,热阻断器至少部分地由所述一个或多个插入件提供。
5、所述非接触式涡旋泵还可以包括夹在第一板和第二板之间的第一滚珠轴承保持架、以及夹在第一板和第二板之间的第二滚珠轴承保持架,其中,第一和第二滚珠轴承保持架容纳滚珠轴承以约束滚珠轴承的运动。
6、第一滚珠轴承保持架可以固定到第一板,并且第二滚珠轴承保持架可以固定到第二板。
7、第一和第二滚珠轴承保持架可每个包括孔,第一滚珠轴承保持架的孔与第二滚珠轴承保持架的孔重叠,并且其中,滚珠轴承容纳在滚珠轴承保持架的重叠孔内。
8、所述非接触式涡旋泵可以包括三个推力轴承组件。所述三个推力轴承组件中的每个都包括固定到绕动涡盘的第一板、与第一板间隔开的第二板、位于第一板和第二板之间的滚珠轴承,所述滚珠轴承配置成在绕动涡盘的绕动期间抵靠第一和第二板滚动。所述三个推力轴承组件中的每个都还包括联接结构,所述联接结构在壳体和第二板之间延伸以将壳体联接到第二板,其中,所述联接结构包括热阻断器,用于在非接触式涡旋泵的操作期间减少从第二板到联接结构的热传递。所述三个推力轴承组件可以以三角形形式围绕绕动涡盘的旋转轴线均匀地角向分布。
9、所述联接结构可以用于调节绕动涡盘的轴向位置。
10、在本发明的另一方面中,提供了一种真空泵送系统,包括多个真空泵,其中,所述真空泵中的一个是上述方面的非接触式涡旋泵。
11、在本发明的又一方面中,提供了上述方面中任一个的非接触式涡旋泵用于泵送流体的用途。
1.一种非接触式涡旋泵,所述非接触式涡旋泵包括:
2.根据权利要求1所述的非接触式涡旋泵,其中,所述联接结构包括具有中空部段的销,所述中空部段从销的与第二板接触的端部附近轴向延伸,且其中,所述热阻断器至少部分地由中空部段提供。
3.根据权利要求2所述的非接触式涡旋泵,其中,所述销具有与壳体的销从其延伸的部段相同的热膨胀系数。
4.根据任一前述权利要求所述的非接触式涡旋泵,其中,所述联接结构包括位于第二板和联接结构的其余部分之间的一个或多个插入件,其中,热阻断器至少部分地由所述一个或多个插入件提供。
5.根据任一前述权利要求所述的非接触式涡旋泵,还包括:
6.根据权利要求5所述的非接触式涡旋泵,其中,第一滚珠轴承保持架固定到第一板,并且第二滚珠轴承保持架固定到第二板。
7.根据权利要求5或6所述的非接触式涡旋泵,其中,第一和第二滚珠轴承保持架每个包括孔,第一滚珠轴承保持架的孔与第二滚珠轴承保持架的孔重叠,以及
8.根据任一前述权利要求所述的非接触式涡旋泵,其中,所述非接触式涡旋泵包括三个推力轴承组件,
9.根据任一前述权利要求所述的非接触式涡旋泵,其中,所述联接结构用于调节绕动涡盘的轴向位置。
10.一种真空泵送系统,包括多个真空泵,其中,所述真空泵中的一个是根据任一前述权利要求所述的非接触式涡旋泵。
11.根据权利要求1至9中任一项所述的非接触式涡旋泵用于泵送流体的用途。
