一种发光面板元器件加工用晶圆划片机的制作方法

专利2026-02-28  4


本发明涉及晶圆划片机,具体为一种发光面板元器件加工用晶圆划片机。


背景技术:

1、发光面板作为一种自发光元件,具有轻薄、高亮度、低功耗、宽视角、高响应速度、可柔性等优点,因此被应用于各种高性能显示和照明领域当中,而随着发光面板使用需求的增大,为进一步提升生产效率,对发光面板生产设备的改进是十分必要的。

2、例如,现对发光面板内半导体元器件加工的晶圆划片机,使用过程中,对于待加工产品初始定位虽有针对性的自动定位结构,但自动定位结构的作业依据是待加工产品外观尺寸合格,且检测和作业位置通常固定不变,然而,现实生产过程中,外观尺寸不合格的待加工产品一直存在,这是客观现象且无法避免的,若不能在具体划片加工之前发现,非中心定位加工后,整片待加工产品都将会报废,损失较大。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本发明提供了一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,解决了上述背景技术中提出的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,包括划片机箱、待加工产品、套装在划片机箱底部内侧xy轴移动平台、套装在划片机箱顶部内侧的激光划片机构、安装在划片机箱一侧的操控面板,所述xy轴移动平台的顶部设置有中空环板,所述中空环板的内部分别套装有负吸组件、倒t型环板,所述负吸组件的输出结构能够对待加工产品进行负吸限位;

5、所述中空环板的底部与xy轴移动平台的顶部之间安装有支撑座,所述中空环板的外侧套装有齿轮环,所述齿轮环的一侧啮合连接有啮合输出组件,所述倒t型环板的内部套装有若干个所述压力检测组件,且若干个所述压力检测组件的检测端均能够与放置在负吸组件顶部的待加工产品弹性接触。

6、优选的,所述划片机箱前端的两侧均铰接连接有防护门,所述划片机箱底部的一侧固定套接有排液阀管。

7、优选的,所述负吸组件包括过渡圆板、陶瓷负压吸盘、环形管以及负压泵,所述过渡圆板的表面与中空环板内圈结构的内壁固定连接,所述陶瓷负压吸盘的顶端作为负吸组件的输出结构套装在过渡圆板的内部并与过渡圆板的顶面共面设置,所述负压泵的输出端与环形管底部连接,所述环形管的顶部与陶瓷负压吸盘的底部之间固定连接有过渡管,利用负吸组件对定位后的待加工产品进行负吸定位,满足自动化定位要求。

8、优选的,所述中空环板的内部设置有倒t型环槽,所述倒t型环板的底部卡接在倒t型环槽的顶部内侧,所述倒t型环板外圈结构的表面与倒t型环槽的外圈结构的内壁之间、所述倒t型环板内圈结构的表面与倒t型环槽的内圈结构的内壁之间均嵌套有密封圈,由此提升倒t型环板与中空环板之间套装密封性的同时不干涉倒t型环板在中空环板内的旋转移动。

9、优选的,所述倒t型环板底部的外侧套装有辅助轴承,所述辅助轴承的外圈结构表面与中空环板的顶面之间安装有过渡套板,所述过渡套板与齿轮环之间存在让位空间,利用组合后的过渡套板和辅助轴承提升倒t型环板与中空环板套装后的稳定性。

10、优选的,所述啮合输出组件包括传动齿轮、抱闸步进电机,所述抱闸步进电机的输出端与传动齿轮的中部传动连接,所述传动齿轮的一侧与齿轮环的一侧啮合连接,所述抱闸步进电机的壳体表面与中空环板的表面之间固定连接有固定座。

11、优选的,若干个所述压力检测组件具体设置为三个,所述倒t型环板的内部设置有三个让位槽,且三个让位槽中部均设置有与自身相通的滑槽,三个所述压力检测组件均包括过渡套盒、t型杆、压力传感器以及第一缓冲弹簧,所述过渡套盒套装在对应的让位槽内并进行空间相通,所述t型杆的一端活动套装在让位槽,且t型杆的另一端卡接贯穿倒t型环板并沿着至负吸组件顶部范围内,所述压力传感器固定套接在过渡套盒的内部,且压力传感器的感压面能够与t型杆的一端端头贴合连接,所述第一缓冲弹簧的两端分别固定连接在让位槽的内壁和t型杆一端的表面上,利用多个压力检测组件,可在随同待加工产品同步旋转过程中,对待加工产品进行多点同步挤压限位和多点检测,实时反映出待加工产品外观尺寸情况。

12、优选的,所述同步限位组件包括倒l型板、活动杆、第二缓冲弹簧、半球形壳以及金属球,所述倒l型板底部的一端固定连接在对应的t型杆中部的表面并卡接在滑槽内,所述活动杆的中部卡接在倒l型板顶部一端的内侧,所述第二缓冲弹簧的两端分别固定连接在倒l型板顶部一端的表面上和固定连接在活动杆顶部端头的表面上,所述半球形壳的顶部固定连接在活动杆底部端头上,所述金属球卡接在半球形壳的内部并能够与负吸组件顶部设置的待加工产品顶面弹性接触,所述中空环板内圈结构的内壁上安装有三个弧形挡板,三个所述弧形挡板的表面与中空环板内圈结构的三处对应位置内壁之间一一对应,形成三个收纳空间,继而避免压力检测组件接触被加工状态下的待加工产品。

13、优选的,所述倒t型环板的顶部套装若干个曲形输液阀管,若干个所述曲形输液阀管均能够通过倒t型环板与中空环板内部空间相通,且若干个所述曲形输液阀管的输出端均朝向负吸组件顶部的倾斜结构,由此满足对待加工产品切割过程中的全面喷洒冷却,所述中空环板内圈结构的底部开设有自身空间不相通的排液弧槽,由排液弧槽提供冷却液回流通道。

14、优选的,所述划片机箱的顶部安装有水泵、冷却液箱,所述水泵的输入端套装在冷却液箱的内部,所述水泵的输出端连接有复合导液软管,所述复合导液软管的一端为螺旋弹性结构并套装在中空环板底部一侧的内部,满足输入冷却液通道的使用需求外,还能进行结构变形让位。

15、有益效果

16、本发明提供了一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,具备以下有益效果:

17、1、该发光面板元器件加工用晶圆划片机,对于待加工产品加工前的安装,可在啮合输出组件通过齿轮环啮合传动倒t型环板同步旋转的同时利用多个压力检测组件对待加工产品进行多点对压对中,保证在待加工产品与激光划片机构对准的精确度,继而与划片机箱、激光划片机构、激光划片机构、排液阀管以及操控面板组成的晶圆划片机组合使用后,能够进一步提升加工效率和加工质量。

18、2、该发光面板元器件加工用晶圆划片机,所设置的三个压力检测组件在随倒t型环板旋转顶压待加工产品的过程中,所产生的多组压力数据经过求取平均值和数据值差后,能够变相反应出待加工产品外观尺寸是否合格,继而及时避免不良品加工的发生几率。



技术特征:

1.一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,包括划片机箱(1)、待加工产品(8)、套装在划片机箱(1)底部内侧xy轴移动平台(2)、套装在划片机箱(1)顶部内侧的激光划片机构(3)、安装在划片机箱(1)一侧的操控面板(5),其特征在于:所述xy轴移动平台(2)的顶部设置有中空环板(7),所述中空环板(7)的内部分别套装有负吸组件(9)、倒t型环板(10),所述负吸组件(9)的输出结构能够对待加工产品(8)进行负吸限位;

2.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述划片机箱(1)前端的两侧均铰接连接有防护门(6),所述划片机箱(1)底部的一侧固定套接有排液阀管(4)。

3.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述负吸组件(9)包括过渡圆板(91)、陶瓷负压吸盘(92)、环形管(93)以及负压泵(94),所述过渡圆板(91)的表面与中空环板(7)内圈结构的内壁固定连接,所述陶瓷负压吸盘(92)的顶端作为负吸组件(9)的输出结构套装在过渡圆板(91)的内部并与过渡圆板(91)的顶面共面设置,所述负压泵(94)的输出端与环形管(93)底部连接,所述环形管(93)的顶部与陶瓷负压吸盘(92)的底部之间固定连接有过渡管。

4.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述中空环板(7)的内部设置有倒t型环槽,所述倒t型环板(10)的底部卡接在倒t型环槽的顶部内侧,所述倒t型环板(10)外圈结构的表面与倒t型环槽的外圈结构的内壁之间、所述倒t型环板(10)内圈结构的表面与倒t型环槽的内圈结构的内壁之间均嵌套有密封圈(21)。

5.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述倒t型环板(10)底部的外侧套装有辅助轴承,所述辅助轴承的外圈结构表面与中空环板(7)的顶面之间安装有过渡套板,所述过渡套板与齿轮环(11)之间存在让位空间。

6.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述啮合输出组件(12)包括传动齿轮(121)、抱闸步进电机(122),所述抱闸步进电机(122)的输出端与传动齿轮(121)的中部传动连接,所述传动齿轮(121)的一侧与齿轮环(11)的一侧啮合连接,所述抱闸步进电机(122)的壳体表面与中空环板(7)的表面之间固定连接有固定座。

7.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:若干个所述压力检测组件(13)具体设置为三个,所述倒t型环板(10)的内部设置有三个让位槽,且三个让位槽中部均设置有与自身相通的滑槽,三个所述压力检测组件(13)均包括过渡套盒(131)、t型杆(132)、压力传感器(133)以及第一缓冲弹簧(134),所述过渡套盒(131)套装在对应的让位槽内并进行空间相通,所述t型杆(132)的一端活动套装在让位槽,且t型杆(132)的另一端卡接贯穿倒t型环板(10)并沿着至负吸组件(9)顶部范围内,所述压力传感器(133)固定套接在过渡套盒(131)的内部,且压力传感器(133)的感压面能够与t型杆(132)的一端端头贴合连接,所述第一缓冲弹簧(134)的两端分别固定连接在让位槽的内壁和t型杆(132)一端的表面上。

8.根据权利要求7所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:同步限位组件(14)包括倒l型板(141)、活动杆(142)、第二缓冲弹簧(143)、半球形壳(144)以及金属球(145),所述倒l型板(141)底部的一端固定连接在对应的t型杆(132)中部的表面并卡接在滑槽内,所述活动杆(142)的中部卡接在倒l型板(141)顶部一端的内侧,所述第二缓冲弹簧(143)的两端分别固定连接在倒l型板(141)顶部一端的表面上和固定连接在活动杆(142)顶部端头的表面上,所述半球形壳(144)的顶部固定连接在活动杆(142)底部端头上,所述金属球(145)卡接在半球形壳(144)的内部并能够与负吸组件(9)顶部设置的待加工产品(8)顶面弹性接触,所述中空环板(7)内圈结构的内壁上安装有三个弧形挡板(15),三个所述弧形挡板(15)的表面与中空环板(7)内圈结构的三处对应位置内壁之间一一对应,形成三个收纳空间。

9.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述倒t型环板(10)的顶部套装若干个曲形输液阀管(16),若干个所述曲形输液阀管(16)均能够通过倒t型环板(10)与中空环板(7)内部空间相通,且若干个所述曲形输液阀管(16)的输出端均朝向负吸组件(9)顶部的倾斜结构,所述中空环板(7)内圈结构的底部开设有自身空间不相通的排液弧槽(17)。

10.根据权利要求1所述的一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,其特征在于:所述划片机箱(1)的顶部安装有水泵(18)、冷却液箱(19),所述水泵(18)的输入端套装在冷却液箱(19)的内部,所述水泵(18)的输出端连接有复合导液软管(20),所述复合导液软管(20)的一端为螺旋弹性结构并套装在中空环板(7)底部一侧的内部。


技术总结
本发明涉及晶圆划片机技术领域,且公开了一种发光面板元器件加工用晶圆划片机,包括划片机箱、待加工产品、套装在划片机箱底部内侧XY轴移动平台、套装在划片机箱顶部内侧的激光划片机构、安装在划片机箱一侧的操控面板,XY轴移动平台的顶部设置有中空环板。该发光面板元器件加工用晶圆划片机,对于待加工产品加工前的安装,可在啮合输出组件通过齿轮环啮合传动倒T型环板同步旋转的同时利用多个压力检测组件对待加工产品进行多点对压对中,保证在待加工产品与激光划片机构对准的精确度,继而与划片机箱、激光划片机构、激光划片机构、排液阀管以及操控面板组成的晶圆划片机组合使用后,能够进一步提升加工效率和加工质量。

技术研发人员:石超,李成明,杨少延,刘祥林,崔草香,朱瑞平,郭柏君,陈兆显,李晓东
受保护的技术使用者:国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/17
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