一种光电感测器件的制作方法

专利2026-02-28  5


本发明涉及光电感测,尤其涉及一种光电感测器件。


背景技术:

1、全光谱pd感测器件是一种具备光选择性,用于感测光线辐射强度的器件,可整体接收心率、血氧、血压、血糖等不同的波段光的辐射信息,获取相应的生理指标信息,因此常应用于医学领域。其实现的原理为当入射光照射在光电感测器件的感光面上时,不同波段光的辐射强度导致感测器件产生的光电流灵敏度不相同。但光电感测器件容易受到环境光的干扰和影响,导致光电感测器件的信噪比差,造成感测结果不佳。目前的解决方案通常为提高光电感测器件的接收光源的光辐射功率强度,或增大光电感测器件的感光面积,进而提高光电流灵敏度,但上述两种方法均会导致成本剧增。


技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的不足,本发明提供了一种光电感测器件,通过在光电感测器件的感光面上设置有光调制层,用于光调制特定波段或方向的入射环境光,可减少环境光干扰产生的噪声,提高信噪比,提高器件的集成度,进而提高光电感测器件的工作精度和工作效率。

2、本发明提供了一种光电感测器件,所述光电感测器件包括基板、若干个光电二极管芯片、封装体,所述若干个光电二极管芯片和封装体设置在所述基板上,所述封装体包覆所述若干个光电二极管芯片;

3、所述封装体的顶部设置有光调制层,所述光调制层中掺杂或沉积有光调制介质材料,所述光调制层用于对照射在所述光电感测器件上的光进行波长或方向的调制,所述光调制层包括若干个光调制区域,不同光调制区域用于光调制不同波长或方向的光。

4、进一步的,所述光调制层的厚度为1μm-100μm。

5、进一步的,所述光调制层包括第一光调制区域和第二光调制区域,所述第一光调制区域与第二光调制区域的面积比为1:1-1:10。

6、进一步的,所述光调制层的顶面上设置有第一光调制结构,所述第一光调制结构包括若干个第一凸起,任意一个所述第一凸起的表面上设置有光透过层和光阻挡层。

7、进一步的,任意一个所述第一凸起的高度为0.02μm-2μm。

8、进一步的,任意两个相邻的所述第一凸起的间距为0.02μm-2μm。

9、进一步的,所述光调制层的顶面上设置有第二光调制结构,所述第二光调制结构为倾斜浮雕光栅。

10、进一步的,所述第二光调制结构的倾斜角度为30°-60°。

11、进一步的,所述第二光调制结构的线密度小于等于9000线/mm。

12、进一步的,所述光电二极管芯片的顶面到所述光调制层的底面的距离为1μm-100μm。

13、本发明提供了一种光电感测器件,在光电感测器件的封装体的顶面上设置有光调制层,并分别划分为不同透光率的光调制区域,以及设置有第一光调制结构和第二光调制结构,可用于光调制特定波段或方向的入射环境光,减少环境光干扰产生的噪声,优化信噪比,减低成本,提高器件的集成度,进而提高光电感测器件的工作精度和工作效率。



技术特征:

1.一种光电感测器件,其特征在于,所述光电感测器件包括基板、若干个光电二极管芯片、封装体,所述若干个光电二极管芯片和封装体设置在所述基板上,所述封装体包覆所述若干个光电二极管芯片;

2.如权利要求1所述的光电感测器件,其特征在于,所述光调制层的厚度为1μm-100μm。

3.如权利要求1所述的光电感测器件,其特征在于,所述光调制层包括第一光调制区域和第二光调制区域,所述第一光调制区域与第二光调制区域的面积比为1:1-1:10。

4.如权利要求1所述的光电感测器件,其特征在于,所述光调制层的顶面上设置有第一光调制结构,所述第一光调制结构包括若干个第一凸起,任意一个所述第一凸起的表面上设置有光透过层和光阻挡层。

5.如权利要求4所述的光电感测器件,其特征在于,任意一个所述第一凸起的高度为0.02μm-2μm。

6.如权利要求4所述的光电感测器件,其特征在于,任意两个相邻的所述第一凸起的间距为0.02μm-2μm。

7.如权利要求1所述的光电感测器件,其特征在于,所述光调制层的顶面上设置有第二光调制结构,所述第二光调制结构为倾斜浮雕光栅。

8.如权利要求7所述的光电感测器件,其特征在于,所述第二光调制结构的倾斜角度为30°-60°。

9.如权利要求7所述的光电感测器件,其特征在于,所述第二光调制结构的线密度小于等于9000线/mm。

10.如权利要求1所述的光电感测器件,其特征在于,所述光电二极管芯片的顶面到所述光调制层的底面的距离为1μm-100μm。


技术总结
本发明公开了一种光电感测器件,所述光电感测器件包括基板、若干个光电二极管芯片、封装体,所述若干个光电二极管芯片和封装体设置在所述基板上,所述封装体包覆所述若干个光电二极管芯片;所述封装体的顶部设置有光调制层,所述光调制层中掺杂或沉积有光调制介质材料,所述光调制层用于对照射在所述光电感测器件上的光进行波长或方向的调制,所述光调制层包括若干个调制区域,不同调制区域用于调制不同波长或方向的光。本发明通过在光电感测器件的感光面上设置有光调制层,用于光调制特定波段或方向的入射环境光,可减少环境光干扰产生的噪声,优化信噪比,提高器件的集成度,进而提高光电感测器件的工作精度和工作效率。

技术研发人员:李子莹,李海峰,唐庆圆
受保护的技术使用者:广东风华芯电科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/17
转载请注明原文地址:https://xbbs.6miu.com/read-30220.html