本实用新型涉及遮覆板及母材加工技术领域，具体地说，涉及一种遮覆板及母材的喷砂装置。
背景技术：
在半导体制程中，必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生，以维持半导体制程设备的效能，并可延长设备的使用寿命。以物理气相沉积制程为例，物理气相沉积制程主要是在一基板上沉积一薄膜。首先利用一直流电源分别电性耦接至一背板及一遮覆板，通过该背板及该遮覆板于该反应室腔体内形成电场将离子枪束击向金属靶材，在离子枪束撞击靶材后，会将该靶材上的金属溅射在该基板、遮覆板上而形成该薄膜，因此必须对遮覆板进行洗净与再生，防止后续工作时该遮覆板上的金属镀膜破裂或剥落所产生之微尘粒子散布至基板而影响良率。所谓洗净系指针对反应室腔体中该遮覆板及母材及该母材之金属镀膜的材质选用适当之方法与材料予以去除，例如以酸性或碱性之化学溶液浸泡反应室腔体，将形成于遮覆板及母材表面之金属镀膜溶解分离。所谓再生是指洗净后再以喷砂及整形等方式恢复该遮覆板及母材原有外形与表面特性。
但是，现有的喷砂装置每次只能对遮覆板及母材的一面进行喷砂，当需要对遮覆板及母材的另一面进行喷砂时，需要对遮覆板及母材进行人工翻面处理，耗费了大量的时间，降低了工作效率。鉴于此，我们提出一种遮覆板及母材的喷砂装置。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种遮覆板及母材的喷砂装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种遮覆板及母材的喷砂装置，包括喷砂箱，所述喷砂箱的内部靠近两侧处均设有固定装置，所述固定装置包括固定座，所述固定座的上方设有固定板，所述固定板的内部开设有两个第一导向孔和两个第二导向孔，所述固定板的上方设有顶板，所述固定座的顶壁通过螺栓固定有两个支撑柱，所述支撑柱的顶端穿过第一导向孔且与所述顶板之间通过螺栓固定连接，所述固定座的顶壁焊接有两个螺纹杆，所述螺纹杆的顶端穿过第二导向孔且螺纹连接有螺母，所述固定板与所述顶板之间焊接有两个弹簧，两个所述固定座相互远离的一侧外壁上均焊接有转轴；所述喷砂箱的顶部内壁靠近中间位置处设有加压箱，所述加压箱的底壁连接有多个喷砂管，所述喷砂管的末端连接有喷头。
优选的，所述喷砂箱的左侧壁通过螺栓固定安装有电机，所述电机的输出轴端部延伸至所述喷砂箱的内部且与位于左侧处的转轴同轴连接。
优选的，所述喷砂箱上方设有储料箱，所述储料箱的顶壁焊接有进料斗，所述储料箱的底壁靠近中心位置处焊接有下料管，所述下料管的底端延伸至所述加压箱的内部，所述下料管上安装有电磁阀。
优选的，所述储料箱的底壁靠近两侧处均焊接有支撑块，所述支撑块的底部通过螺栓固定在所述喷砂箱上，所述加压箱通过螺栓固定在所述喷砂箱的顶部内壁上。
优选的，所述喷砂箱的顶壁靠近左侧处通过螺栓固定安装有气泵，所述气泵的出气端连接有进气管，所述加压箱的左侧壁焊接有进气罩，所述进气管的末端穿过所述喷砂箱且延伸至所述进气罩的内部。
优选的，所述喷砂箱的前侧壁开口处铰接有两个箱门，所述箱门的内部开设有观察孔，且观察孔的内壁上粘接有观察窗，所述箱门的外壁上通过螺栓固定有门把手。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
该遮覆板及母材的喷砂装置，通过固定装置和电机的设置，可将遮覆板及母材稳定的夹紧固定住，方便喷砂工作的进行，并且可对遮覆板及母材进行旋转翻面，便于对遮覆板及母材的正反面进行喷砂处理，提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型中喷砂箱的内部结构示意图；
图3为本实用新型中储料箱的仰视结构示意图；
图4为本实用新型中加压箱的仰视结构示意图；
图5为本实用新型中固定装置的结构示意图。
图中各标号的意义为：1、喷砂箱；10、箱门；11、门把手；12、观察窗；2、电机；3、储料箱；30、进料斗；31、支撑块；32、下料管；33、电磁阀；4、加压箱；40、进气罩；41、进气管；42、喷砂管；43、喷头；5、气泵；6、固定装置；60、固定座；61、转轴；62、支撑柱；63、螺纹杆；630、螺母；64、固定板；65、弹簧；66、顶板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1-图5，本实用新型提供一种技术方案：
一种遮覆板及母材的喷砂装置，包括喷砂箱1，喷砂箱1的内部靠近两侧处均设有固定装置6，固定装置6包括固定座60，固定座60的上方设有固定板64，固定板64的内部开设有两个第一导向孔和两个第二导向孔，固定板64的上方设有顶板66，固定座60的顶壁通过螺栓固定有两个支撑柱62，支撑柱62的顶端穿过第一导向孔且与顶板66之间通过螺栓固定连接，固定座60的顶壁焊接有两个螺纹杆63，螺纹杆63的顶端穿过第二导向孔且螺纹连接有螺母630，固定板64与顶板66之间焊接有两个弹簧65，两个固定座60相互远离的一侧外壁上均焊接有转轴61；喷砂箱1的顶部内壁靠近中间位置处设有加压箱4，加压箱4的底壁连接有多个喷砂管42，喷砂管42的末端连接有喷头43。
本实施例中，喷砂箱1的左侧壁通过螺栓固定安装有电机2，电机2的输出轴端部延伸至喷砂箱1的内部且与位于左侧处的转轴61同轴连接，喷砂箱1的右侧内壁上焊接有轴承，位于右侧处的转轴61的末端焊接在轴承的内环上且与轴承的外环之间转动连接。
本实施例中，电机2、电磁阀33和气泵5均为现有的常规技术，在此不作赘述。
本实施例中，喷砂箱1上方设有储料箱3，储料箱3的顶壁焊接有进料斗30，储料箱3的底壁靠近中心位置处焊接有下料管32，下料管32的底端延伸至加压箱4的内部，下料管32上安装有电磁阀33，通过进料斗30可向储料箱3加入砂，通过调节电磁阀33可控制储料箱3内的砂通过下料管32进入到加压箱4内。
进一步的，储料箱3的底壁靠近两侧处均焊接有支撑块31，支撑块31的底部通过螺栓固定在喷砂箱1上，可将储料箱3稳定地固定在喷砂箱1上，加压箱4通过螺栓固定在喷砂箱1的顶部内壁上，便于将加压箱4牢牢地固定在喷砂箱1上。
本实施例中，喷砂箱1的顶壁靠近左侧处通过螺栓固定安装有气泵5，气泵5的出气端连接有进气管41，加压箱4的左侧壁焊接有进气罩40，进气管41的末端穿过喷砂箱1且延伸至进气罩40的内部，通过气泵5可对加压箱4内加压使加压箱4内的砂通过喷头43喷出。
本实施例中，喷砂箱1的前侧壁开口处铰接有两个箱门10，便于将箱门10打开或关闭，箱门10的内部开设有观察孔，且观察孔的内壁上粘接有观察窗12，通过观察窗12方便观察喷砂箱1内部的状况，箱门10的外壁上通过螺栓固定有门把手11。
本实施例的遮覆板及母材的喷砂装置在使用时，先打开箱门10将需要喷砂的遮覆板及母材放入到固定座60上，然后推压固定板64使其压在遮覆板及母材上，拧紧螺母630，可将遮覆板及母材稳定的压紧固定住，再关闭箱门10，将电机2、电磁阀33和气泵5依次接通外界电源并使其工作，打开电磁阀33可使储料箱3内的砂通过下料管32进入到加压箱4内，过气泵5可对加压箱4内加压使加压箱4内的砂通过喷头43喷入到遮覆板及母材上，通过电机2可带动转轴61和固定座60转动，从而可带动遮覆板及母材旋转，便于对遮覆板及母材的正反面进行喷砂。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
1.一种遮覆板及母材的喷砂装置，包括喷砂箱(1)，其特征在于：所述喷砂箱(1)的内部靠近两侧处均设有固定装置(6)，所述固定装置(6)包括固定座(60)，所述固定座(60)的上方设有固定板(64)，所述固定板(64)的内部开设有两个第一导向孔和两个第二导向孔，所述固定板(64)的上方设有顶板(66)，所述固定座(60)的顶壁通过螺栓固定有两个支撑柱(62)，所述支撑柱(62)的顶端穿过第一导向孔且与所述顶板(66)之间通过螺栓固定连接，所述固定座(60)的顶壁焊接有两个螺纹杆(63)，所述螺纹杆(63)的顶端穿过第二导向孔且螺纹连接有螺母(630)，所述固定板(64)与所述顶板(66)之间焊接有两个弹簧(65)，两个所述固定座(60)相互远离的一侧外壁上均焊接有转轴(61)；所述喷砂箱(1)的顶部内壁靠近中间位置处设有加压箱(4)，所述加压箱(4)的底壁连接有多个喷砂管(42)，所述喷砂管(42)的末端连接有喷头(43)。
2.根据权利要求1所述的遮覆板及母材的喷砂装置，其特征在于：所述喷砂箱(1)的左侧壁通过螺栓固定安装有电机(2)，所述电机(2)的输出轴端部延伸至所述喷砂箱(1)的内部且与位于左侧处的转轴(61)同轴连接。
3.根据权利要求1所述的遮覆板及母材的喷砂装置，其特征在于：所述喷砂箱(1)上方设有储料箱(3)，所述储料箱(3)的顶壁焊接有进料斗(30)，所述储料箱(3)的底壁靠近中心位置处焊接有下料管(32)，所述下料管(32)的底端延伸至所述加压箱(4)的内部，所述下料管(32)上安装有电磁阀(33)。
4.根据权利要求3所述的遮覆板及母材的喷砂装置，其特征在于：所述储料箱(3)的底壁靠近两侧处均焊接有支撑块(31)，所述支撑块(31)的底部通过螺栓固定在所述喷砂箱(1)上，所述加压箱(4)通过螺栓固定在所述喷砂箱(1)的顶部内壁上。
5.根据权利要求1所述的遮覆板及母材的喷砂装置，其特征在于：所述喷砂箱(1)的顶壁靠近左侧处通过螺栓固定安装有气泵(5)，所述气泵(5)的出气端连接有进气管(41)，所述加压箱(4)的左侧壁焊接有进气罩(40)，所述进气管(41)的末端穿过所述喷砂箱(1)且延伸至所述进气罩(40)的内部。
6.根据权利要求1所述的遮覆板及母材的喷砂装置，其特征在于：所述喷砂箱(1)的前侧壁开口处铰接有两个箱门(10)，所述箱门(10)的内部开设有观察孔，且观察孔的内壁上粘接有观察窗(12)，所述箱门(10)的外壁上通过螺栓固定有门把手(11)。
技术总结