本技术涉及集成电路制造，尤其涉及一种集成电路制造的电镀槽结构。
背景技术：
1、电镀槽是电镀设备中最基础的设备,主要功能是装置溶液。镀槽的使用方式有按手工操作的工艺流程生产线直线排列，也有因地制宜的根据现场空间分开镀种排列,如果是机械自动生产线,则基本上是按工艺流程排列的。在电镀过程中，为提高电镀质量，避免溶液出现浓度极化，防止镀件表面出现针孔、麻点等不良现象，需要对电镀溶液持续进行搅拌。
2、然而，电镀液使用时需要进行搅拌以保证浓度均一，进而保证电镀的质量，但是目前的搅拌混合组件结构复杂也难以保证混合的均匀度，如公开号为cn26736191u的一种用于集成电路制造的电镀槽结构。
3、针对于此，本申请提出一种集成电路制造的电镀槽结构。
技术实现思路
1、针对现有技术中所存在的不足，本实用新型提供了一种集成电路制造的电镀槽结构。
2、本实用新型的实施例提供了一种集成电路制造的电镀槽结构，包括：
3、用于盛装电镀液的电镀箱；
4、能够实现电镀箱内电镀液循环流动混合的多功能循环组件；所述多功能循环组件包括能够拆卸安装在电镀箱内的导流筒，所述导流筒内设有共轴且被驱动转动的转动杆，所述转动杆的上端固定有安装块，所述安装块上固定有用于电镀液循环流动的螺旋叶，所述导流筒内安装有位于螺旋叶上方的加热管，所述导流筒内安装有位于螺旋叶下方的滤网。
5、进一步地，所述电镀箱的底部安装有电机，所述转动杆贯穿电镀箱并与其转动连接，所述转动杆与电机的输出端固定连接。
6、进一步地，所述电镀箱的底部安装有呈环形分布的两个螺杆和两个支撑杆，所述导流筒的底部设有两个插槽和两个螺纹槽，所述螺杆与螺纹槽啮合连接，所述支撑杆滑动连接在插槽内。
7、进一步地，所述螺杆与电镀箱的内底部转动连接，所述支撑杆与电镀箱的内底部固定连接。
8、进一步地，所述加热管通过短杆固定在导流筒上。
9、进一步地，所述滤网的中部贯穿设有通槽，所述转动杆贯穿通槽设置。
10、相比于现有技术，本实用新型具有如下有益效果：
11、本实用新型螺旋叶转动能够将电镀液通过导流筒向上输送，如此可以实现电镀液在电镀箱内循环流动，实现均匀混合，通过滤网能够对电解液中的杂质进行过滤，避免电镀产品造成影响。
1.一种集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于，其中：
3.根据权利要求1所述的一种集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于，其中：
4.根据权利要求3所述的一种集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于，其中：
5.根据权利要求1所述的一种集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于，其中：
6.根据权利要求1所述的一种集成电路制造的电镀槽结构，其特征在于，其中：
