本发明属于电子元器件清洗领域，尤其涉及一种显示面板用正性光刻胶剥离液及其制备方法和应用。
背景技术：
1、目前，在液晶面板和触摸屏等制造过程中，需要通过多次图形掩膜照射曝光及蚀刻等工序在硅晶圆或玻璃基片上形成多层精密的微电路，形成微电路之后，光刻胶剥离液将涂覆在微电路上作为掩膜的光刻胶除去。
2、然而，随着集成电路技术发展，金属布线出现双层或三层结构变化，其结构向细微化发展，这对光刻胶剥离液的剥离能力提出了更高的要求，同时要求剥离液对金属布线腐蚀趋于最小化。
3、现有的正性光刻胶的剥离液通常含有醇胺、酰胺或醇醚，其易吸水，致使剥离液在使用时水分逐渐升高，醇胺、酰胺或醇醚遇水会分解，剥离液中的氢氧根离子会对金属层造成腐蚀；同时，醇胺分解将会导致剥离液对光刻胶剥离能力的下降，影响剥离液寿命及使用周期。
4、因此，本发明提出了一种能够去除剥离液水分，且不腐蚀金属层的正性光刻胶剥离液及应用。
技术实现思路
1、本发明解决的技术问题：现有的正性光刻胶剥离液中含有的有机溶剂均易吸水，醇胺、酰胺或醇醚遇水会分解，剥离液中的氢氧根离子会对金属层造成腐蚀；醇胺分解将会导致剥离液对光刻胶剥离能力的下降，影响剥离液寿命及使用周期。
2、鉴于现有技术中存在的技术问题，本发明设计了一种显示面板用正性光刻胶剥离液及其制备方法和应用。
3、需要注意的是，在本发明中，除非另有规定，涉及组成限定和描述的“包括”的具体含义，既包含了开放式的“包括”、“包含”等及其类似含义，也包含了封闭式的“由…组成”等及其类似含义。
4、为了解决上述存在的技术问题，本发明采用了以下方案：
5、一种显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分：
6、除水添加剂 0.2-1份；
7、有机胺 5-20份；
8、有机溶剂 20-60份；
9、缓蚀剂 0.2-0.8份。
10、进一步地，所述的除水添加剂包括醇胺盐酸盐和酯类化合物。
11、进一步地，所述的醇胺盐酸盐和酯类化合物的质量比为1:1-1:5。
12、进一步地，所述的醇胺盐酸盐为乙醇胺盐酸盐、n,n-二乙基乙醇胺盐酸盐、乙醇胺苯甲酸盐酸盐、6-氨基-2-甲基-2-庚醇盐酸盐中的一种或多种；
13、所述的酯类化合物为乙酸乙酯或丁酸乙酯。
14、进一步地，所述的有机胺为乙醇胺、二甲基乙醇胺、n-甲基甲酰胺、n-乙基甲酰胺中的一种或几种。
15、进一步地，所述的有机溶剂为二乙二醇单丁醚、二甲基亚砜、二乙二醇甲醚中的一种或几种。
16、进一步地，所述的缓蚀剂为苯并三唑、甲苯三唑、甲基苯并三氮唑中的一种或几种。
17、本发明还提供了一种所述的显示面板用正性光刻胶剥离液的制备方法，其特征在于包含以下步骤：
18、步骤1：分别称取各自用量的各个组分；
19、步骤2：将除水添加剂外的所有组分在室温下搅拌，直至所有物料混合均匀，然后缓慢加入除水添加剂，搅拌至均匀透明，即得所述的显示面板用正性光刻胶剥离液。
20、本发明还提供一种所述的显示面板用正性光刻胶剥离液的使用方法，其特征在于包含以下步骤：
21、步骤1：将所述的显示面板用正性光刻胶剥离液加热至40-60℃，待温度稳定后，将基板放入剥离液中持续振荡；
22、步骤2：将上述震荡处理后的基板用超纯水冲洗至少两次，去除残留的剥离液，最后氮气吹干，完成剥离处理，得到去除光刻胶的基板。
23、本发明还提供一种所述的显示面板用正性光刻胶剥离液在正性光刻胶剥离中的用途。
24、在本发明中，醇胺盐酸盐和酯类化合物的质量比优选为1:2。
25、在本发明中，醇胺盐酸盐优选为乙醇胺盐酸盐；酯类化合物优选为乙酸乙酯。
26、在本发明中，有机胺优选为乙醇胺或二甲基乙醇胺；有机溶剂优选为二乙二醇单丁醚；缓蚀剂优选为甲基苯并三氮唑。
27、在本发明的正性光刻胶剥离液的使用方法中，步骤1的加热温度可以优选为50℃，不同厚度的光刻胶，震荡剥离时间一般不相同，一般为1min左右。步骤2中的清洗时间约1min。
28、本发明除水添加剂具有独特优势：
29、醇胺盐酸盐和酯类化合物具有除水和稳定剥离液的双重功能，其除水功能可以降低醇胺、酰胺或醇醚的水解机率。
30、稳定功能则是调节该体系的ph，保证剥离液的有效成分，保持剥离液的剥离能力，从而使得该体系具有更长的使用寿命。
31、本发明酯类化合物的除水机理：
32、酯在碱性环境中水解生成相对应的酸和醇类化合物，其中酸类化合物与碱发生中和反应，不仅避免了乙醇胺含量过高所引起的副反应，而且使得酯水解反应彻底，两者形成良性互补，达到稳定剥离液的效果。
33、本发明醇胺盐酸盐的除水机理：
34、羟基具有良好的吸附水分子的作用；其水解生成的醇胺增加了剥离液的剥离能力，并降低水分含量。
35、本发明提供了一种显示面板用正性光刻胶剥离液及其制备方法和应用具有如下有益效果：
36、1.本发明采用醇胺盐酸盐和酯类化合物作为除水添加剂，具有除水和稳定剥离液的双重功能，其除水功能可以降低醇胺、酰胺或醇醚的水解机率，而稳定功能则是调节该体系的ph，保证剥离液的有效成分，使得剥离液的剥离能力得到持续，从而使得剥离液具有更长的使用寿命。
37、2.本发明酯类化合物在碱性环境中水解生成相对应的酸和醇类化合物，其中酸类化合物与碱发生中和反应，不仅避免了乙醇胺含量过高所引起的副反应，而且使得酯水解反应彻底，两者形成良性互补，达到稳定剥离液的效果。
38、3.本发明醇胺盐酸盐的羟基具有良好的吸附水分子的作用；其水解生成的乙醇胺增加了剥离液的剥离能力，并降低水分含量。
39、本发明的正性光刻胶剥离液能有效的解决目前有机溶剂均易吸水，醇胺、酰胺或醇醚遇水会分解，剥离液中的氢氧根离子会对金属层造成腐蚀的问题，能够更好的保证剥离液对光刻胶剥离能力，保证使用寿命。
1.一种显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分：
2.根据权利要求1所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于：所述的除水添加剂包括醇胺盐酸盐和酯类化合物。
3.根据权利要求2所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于：所述的醇胺盐酸盐和酯类化合物的质量比为1:1-1:5。
4.根据权利要求3所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于：所述的有机胺为乙醇胺、二甲基乙醇胺、n-甲基甲酰胺、n-乙基甲酰胺中的一种或几种。
6.根据权利要求1所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于：所述的有机溶剂为二乙二醇单丁醚、二甲基亚砜、二乙二醇甲醚中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，其特征在于：所述的缓蚀剂为苯并三唑、甲苯三唑、甲基苯并三氮唑中的一种或几种。
8.一种权利要求1-7任一项所述的显示面板用正性光刻胶剥离液的制备方法，其特征在于包含以下步骤：
9.一种权利要求1-7任一项所述的显示面板用正性光刻胶剥离液，的使用方法，其特征在于包含以下步骤：
10.一种权利要求1-7任一项所述的显示面板用正性光刻胶剥离液在正性光刻胶剥离中的用途。
