本发明涉及晶舟领域,具体为一种晶舟部件的快速精确拼装方法及其专用夹具。
背景技术:
1、晶舟是半导体工业中用于储存、运送以及加工晶片的装置,晶舟的主要功能是保护晶片在运输、转移和处理过程中不受破坏,确保晶片的完整性和加工质量;图1是市场上常见的晶舟,该晶舟主要由两个圆环组成,两个圆环之间固定有多个支撑杆,支撑杆的末端通过螺栓与圆环固定,支撑杆上开设有放置槽,该晶舟通过设置的多个放置槽,方便放置多个晶片,而多个支撑杆对晶片起到了有效的承载作用。
2、目前,由于晶舟是多个部件组成,因此在晶舟的加工过程中,需要对晶舟进行组装处理,在对上述晶舟进行组装时,需要工作人员将支撑杆的两端与两侧的圆环通过螺栓进行固定,而在组装的过程中,圆环和支撑杆缺乏有效的固定结构,导致组装操作时多有不便,影响了晶舟组装的效率和质量,鉴于此,我们提出一种晶舟部件的快速精确拼装方法及其专用夹具。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种晶舟部件的快速精确拼装方法及其专用夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,一方面,本发明提供一种晶舟部件的快速精确拼装方法,包括以下步骤:
3、s1、将其中一个支撑杆穿过缺口并向卡槽内挤压,支撑杆则卡入卡槽内;
4、s2、重复如上s1步骤并依次将多个支撑杆卡入多个卡槽内;
5、s3、将相邻的两个夹块从圆环的开口处穿过;
6、s4、转动第一调节头,第一调节头带动第一双头丝杆转动,两个连接块同步相对反向运动,连接块带动夹块运动,当夹块的外壁抵紧圆环的开口内壁,停止转动第一调节头,圆盘即被固定;
7、s5、重复如上s4步骤,将另外一个圆盘固定在另外一侧的固定座上;
8、s6、转动第二调节头,第二调节头带动第二双头丝杆转动,两个支板同步相对向内侧运动,支板带动固定座运动,固定座带动两侧的圆盘向支撑杆靠近;当两侧的圆盘抵紧支撑杆的末端处,停止转动第二调节头;
9、s7、将多个螺栓依次穿过圆盘并分别拧入多个支撑杆的末端,圆盘即与支撑杆固定,晶舟组装即完成。
10、另一方面,本发明还提供一种的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,用于上述的晶舟部件的快速精确拼装方法,包括第一夹持组件,第一夹持组件包括底座,底座顶部开设有条形槽,条形槽内转动安装有第二双头丝杆;第二双头丝杆的两端螺纹处均螺纹连接有竖板,两个竖板的两个相对立的一端面均固定有固定座,两个固定座的两个相对立的一端面均开设有安装槽,安装槽内均转动安装有第一双头丝杆,第一双头丝杆的两端螺纹处均螺纹连接有连接块,连接块的端部均固定有夹块,夹块的外壁边缘处均固定有限位板。
11、优选的,两个所述固定座之间处还固定有第二夹持组件,第二夹持组件包括两个相对称且与底座顶部固定的支板,两个支板的顶端之间处固定有支架,支架的开口内位于两侧壁处均固定有两个托板,托板的末端处固定有固定块,固定块顶部开设有缺口,缺口下方开设有卡槽。
12、优选的,所述竖板的截面形状呈矩形,且竖板的尺寸与条形槽的尺寸相适配。
13、优选的,所述第二双头丝杆的前端同轴键连接有第二调节头,且第二调节头的外壁开设有防滑槽。
14、优选的,所述安装槽的两侧壁均固定有导轨,连接块的两侧壁均开设有与导轨滑动连接的导向槽。
15、优选的,所述第一双头丝杆的顶端同轴键连接有第一调节头,且第一调节头的外壁开设有防滑槽。
16、优选的,所述夹块和限位板为一体成型结构,且限位板呈凸出状。
17、优选的,所述托板和固定块为一体成型结构,且托板和固定块均为塑料材质的制成品。
18、优选的,所述支架的截面形状呈u型,且支架通过螺栓与支板固定连接。
19、与现有技术相比,本发明的有益效果:
20、通过设置的第一夹持组件,方便对晶舟的圆盘部件进行夹持固定,通过设置的第二夹持组件,方便对多个支撑杆进行固定,而在组装时两侧的圆盘可移动至支撑杆的两端与支撑杆对接,进而方便工作人员将圆盘通过螺栓与支撑杆进行固定,该设计在组装晶舟的过程中可以对晶舟部件进行夹持固定,提供了晶舟组装的便利性,提高了晶舟组装的质量和效率。
1.一种晶舟部件的快速精确拼装方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.一种晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,用于实现权利要求1所述的晶舟部件的快速精确拼装方法,其特征在于:包括第一夹持组件(1),第一夹持组件(1)包括底座(10),底座(10)顶部开设有条形槽(101),条形槽(101)内转动安装有第二双头丝杆(16);第二双头丝杆(16)的两端螺纹处均螺纹连接有竖板(11),两个竖板(11)的两个相对立的一端面均固定有固定座(12),两个固定座(12)的两个相对立的一端面均开设有安装槽(120),安装槽(120)内均转动安装有第一双头丝杆(13),第一双头丝杆(13)的两端螺纹处均螺纹连接有连接块(14),连接块(14)的端部均固定有夹块(15),夹块(15)的外壁边缘处均固定有限位板(150)。
3.根据权利要求2所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:两个所述固定座(12)之间处还固定有第二夹持组件(2),第二夹持组件(2)包括两个相对称且与底座(10)顶部固定的支板(21),两个支板(21)的顶端之间处固定有支架(20),支架(20)的开口内位于两侧壁处均固定有两个托板(22),托板(22)的末端处固定有固定块(23),固定块(23)顶部开设有缺口(231),缺口(231)下方开设有卡槽(230)。
4.根据权利要求2所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述竖板(11)的截面形状呈矩形,且竖板(11)的尺寸与条形槽(101)的尺寸相适配。
5.根据权利要求2所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述第二双头丝杆(16)的前端同轴键连接有第二调节头(160),且第二调节头(160)的外壁开设有防滑槽。
6.根据权利要求3所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述安装槽(120)的两侧壁均固定有导轨(121),连接块(14)的两侧壁均开设有与导轨(121)滑动连接的导向槽(140)。
7.根据权利要求2所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述第一双头丝杆(13)的顶端同轴键连接有第一调节头(131),且第一调节头(131)的外壁开设有防滑槽。
8.根据权利要求2所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述夹块(15)和限位板(150)为一体成型结构,且限位板(150)呈凸出状。
9.根据权利要求3所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述托板(22)和固定块(23)为一体成型结构,且托板(22)和固定块(23)均为塑料材质的制成品。
10.根据权利要求3所述的晶舟部件的快速精确拼装专用夹具,其特征在于:所述支架(20)的截面形状呈u型,且支架(20)通过螺栓与支板(21)固定连接。
