本技术涉及光伏和半导体，尤其涉及一种半片产品加工设备、钝化产线、太阳能电池片生产线及生产工艺。
背景技术：
1、半导体和光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，且半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上。目前行业内针对半导体和光伏材料的尺寸有了更多元化的需求，由于原材料都是标准尺寸，因此为了得到更小尺寸的材料会将原标准尺寸的材料进行裁切，原标准尺寸的材料经裁切后得到的半片材料会产生断面，断面会对材料的性能产生负面影响，因此需要对断面进行镀膜钝化。原子层沉积(atomic layerdeposition，ald)是一种镀膜钝化技术，已经广泛应用于半导体和光伏材料的加工，针对具体的加工需求需要选择相应的加工装置。
2、但是，目前半导体和光伏材料的裁切装置、镀膜装置等相互独立设置，需要搬运车等机构实现材料在各装置之间流转，同时半片产品加工设备的自动化程度低，导致半片产品加工设备的生产效率低。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例提供了一种半片产品加工设备、钝化产线、太阳能电池片生产线及生产工艺，解决了半片产品加工设备的生产效率低的问题。
2、第一方面，本技术一实施例提供了一种半片产品加工设备，包括：裂片装置，被配置为将整片的产品切割为至少两个待加工的半片产品；成盒装置，与所述裂片装置相邻设置，所述成盒装置的至少一侧设置有料盒放置空间，所述料盒放置空间被配置为容纳料盒，所述成盒装置被配置为将待加工的所述半片产品装入位于所述料盒放置空间的所述料盒；搬盒装置，与所述成盒装置相邻设置，所述搬盒装置的至少一侧设置有舟结构放置空间，所述舟结构放置空间被配置为容纳舟结构，所述搬盒装置被配置为将位于所述料盒放置空间的装载有待加工的所述半片产品的所述料盒搬运至位于所述舟结构放置空间的所述舟结构，或者将装载有已加工的所述半片产品的所述料盒从位于所述舟结构放置空间的所述舟结构卸载下来；反应炉，被配置为对所述半片产品进行镀膜；舟运输装置，设置于所述搬盒装置和所述反应炉之间，被配置为将装载有待加工的所述半片产品的所述舟结构运输至所述反应炉，以使所述反应炉对所述舟结构承载的所述半片产品进行镀膜，或者将装载有已加工的所述半片产品的所述舟结构由所述反应炉运出。
3、在一些实施例中，所述半片产品加工设备还包括：至少两个料盒流转装置，与所述搬盒装置相邻设置，沿竖直方向间隔设置，其中，一个所述料盒流转装置被配置为运输空载的所述料盒，另一个所述料盒流转装置被配置为运输装载有已加工的所述半片产品的所述料盒；下盒装置，与所述料盒流转装置相邻设置，被配置为将空载的所述料盒由所述料盒流转装置搬运至所述料盒放置空间；其中，所述搬盒装置进一步被配置为，将所述舟结构承载的装载有已加工的所述半片产品的所述料盒从所述舟结构搬运至所述料盒流转装置。
4、在一些实施例中，所述反应炉的数量为多个；其中，所述舟运输装置包括：至少一个推舟装置，与多个所述反应炉相邻设置，被配置为将所述舟结构送入任意一个所述反应炉或者将所述舟结构从任意一个所述反应炉运出；多个舟结构缓存装置，与所述推舟装置相邻设置，被配置为缓存所述舟结构；搬舟装置，与所述推舟装置、所述舟结构缓存装置和所述舟结构放置空间相邻设置，被配置为将所述舟结构由所述舟结构放置空间搬运至所述舟结构缓存装置，并将所述舟结构由所述舟结构缓存装置搬运至所述推舟装置，或者将所述舟结构由所述推舟装置搬运至所述舟结构缓存装置，并将所述舟结构由所述舟结构缓存装置搬运至所述舟结构放置空间。
5、在一些实施例中，所述推舟装置的数量为多个；多个所述反应炉沿第一方向排列，多个所述推舟装置沿所述第一方向排列，多个所述舟结构缓存装置沿所述第一方向排列，所述舟结构缓存装置、所述推舟装置与所述反应炉沿第二方向排列，所述第二方向与所述第一方向交叉；和/或，所述搬舟装置设置于所述舟结构缓存装置和所述推舟装置的上方。
6、在一些实施例中，所述推舟装置的数量为多个，多个所述推舟装置沿第一方向排列；多个所述反应炉沿所述第一方向排列，且沿竖直方向排列成多层，所述推舟装置能够沿竖直方向运动，以将所述舟结构送入任意一层的所述反应炉或者将所述舟结构从任意一层的所述反应炉运出。
7、在一些实施例中，所述搬舟装置包括：第一直线运动机构，被配置为能够沿所述第二方向运动；第二直线运动机构，与所述第一直线运动机构连接，被配置为能够沿所述第一方向运动，其中，所述第二直线运动机构在所述第一直线运动机构的带动下，还能够沿所述第二方向运动；抓舟机构，与所述第二直线运动机构连接，被配置为抓取所述舟结构，其中，所述抓舟机构在所述第二直线运动机构的带动下，能够沿所述第一方向和所述第二方向运动。
8、在一些实施例中，所述半片产品加工设备还包括：清洗装置，设置于所述裂片装置与所述成盒装置之间，被配置为接收所述裂片装置上的待加工的所述半片产品，并对待加工的所述半片产品进行清洗；其中，所述成盒装置进一步配置为将清洗后的待加工的所述半片产品装入位于所述料盒放置空间的所述料盒。
9、在一些实施例中，所述裂片装置包括：至少一个接料机构，被配置为接收整片的所述产品；至少两个裂片机构，每个所述接料机构与至少一个所述裂片机构连接，所述裂片机构被配置为接收所述接料机构输送的待加工的所述产品，并将待加工的所述产品切割为至少两个待加工的所述半片产品；其中，所述清洗装置包括：至少两个清洗机构，分别与至少两个所述裂片机构连接，被配置为接收所述裂片机构上的待加工的所述半片产品，并对待加工的所述半片产品进行清洗；其中，所述成盒装置包括：至少两个成盒机构，分别与至少两个所述清洗机构连接，被配置为接收所述清洗机构上的清洗后的待加工的所述半片产品，并将清洗后的待加工的所述半片产品装入位于所述料盒放置空间的所述料盒。
10、在一些实施例中，所述半片产品加工设备还包括：料盒缓存装置，与所述料盒流转装置相邻设置，被配置为缓存装载有已加工的所述半片产品的所述料盒；下料装置，设置于所述料盒流转装置和所述料盒缓存装置的上方，被配置为将装载有已加工的所述半片产品的所述料盒从所述料盒流转装置搬运至所述料盒缓存装置；产品运输装置，被配置为运输已加工的所述半片产品；导片装置，与所述下料装置和所述产品运输装置相邻设置，被配置为获取所述料盒缓存装置承载的所述料盒中的已加工的所述半片产品，并将已加工的所述半片产品放置于所述产品运输装置。
11、在一些实施例中，所述半片产品加工设备还包括：光学检测装置，与所述产品运输装置相邻设置，被配置为接收所述产品运输装置输送的已加工的所述半片产品，并对已加工的所述半片产品进行光学检测；电致发光检测装置，与所述光学检测装置相邻设置，被配置为接收经过光学检测后的已加工的所述半片产品，并对光学检测后的已加工的所述半片产品进行电致发光检测。
12、在一些实施例中，所述半片产品加工设备还包括：红外成像检测装置，与所述电致发光检测装置相邻设置，被配置为接收电致发光检测后的已加工的所述半片产品，并对电致发光检测后的已加工的所述半片产品进行红外成像检测。
13、在一些实施例中，所述半片产品加工设备还包括：分选装置，与所述红外成像检测装置相邻设置，被配置为接收红外成像检测后的已加工的所述半片产品，并将红外成像检测后的已加工的所述半片产品分选为多个等级；多个下片装置，与所述分选装置相邻设置，分别被配置为接收多个等级的所述半片产品。
14、在一些实施例中，运输装载有已加工的所述半片产品的所述料盒的所述料盒流转装置包括：料盒流转机构，运输装载有已加工的所述半片产品的所述料盒；第一料盒转向机构，与所述料盒流转机构相邻设置，被配置为接收装载有已加工的所述半片产品的所述料盒，并在水平面内对所述料盒进行旋转；其中，所述下料装置进一步被配置为，将装载有已加工的所述半片产品的所述料盒从所述第一料盒转向机构搬运至所述料盒缓存装置。
15、在一些实施例中，所述成盒装置包括：成盒机构，与所述裂片装置相邻设置，被配置为将待加工的所述半片产品装入位于所述料盒放置空间的所述料盒；第二料盒转向机构，与所述成盒机构相邻设置，被配置为获取位于所述料盒放置空间的所述料盒，并在水平面内对所述料盒进行旋转；其中，所述搬盒装置进一步被配置为将位于所述第二料盒转向机构的装载有待加工的所述半片产品的所述料盒搬运至位于所述舟结构放置空间的所述舟结构。
16、第二方面，本技术一实施例提供了一种钝化产线，包括：至少一个如第一方面所述的半片产品加工设备；其中，在所述钝化产线包括多个所述半片产品加工设备的情况下，多个所述半片产品加工设备在水平面内呈矩阵排列，和/或，多个所述半片产品加工设备在竖直平面内呈矩阵排列。
17、第三方面，本技术一实施例提供了一种太阳能电池片生产线，包括：至少一个如第一方面所述的半片产品加工设备。
18、第四方面，本技术一实施例提供了一种太阳能电池片生产工艺，所述太阳能电池片生产工艺采用：至少一个如第一方面所述的半片产品加工设备。
19、本技术实施例提供的半片产品加工设备将裂片装置、成盒装置、搬盒装置、反应炉和舟运输装置集成在一起，实现了对半片产品的自动化加工，无需自动导航(automaticguided vehicle，agv)小车流转搬运，集成化设备大大提高了空间利用率，提高了生产效率。
1.一种半片产品加工设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半片产品加工设备，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的半片产品加工设备，其特征在于，所述反应炉的数量为多个；
4.根据权利要求3所述的半片产品加工设备，其特征在于，所述推舟装置的数量为多个；
5.根据权利要求3所述的半片产品加工设备，其特征在于，所述推舟装置的数量为多个，多个所述推舟装置沿第一方向排列；
6.根据权利要求4所述的半片产品加工设备，其特征在于，所述搬舟装置包括：
7.根据权利要求1至6任一项所述的半片产品加工设备，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求7所述的半片产品加工设备，其特征在于，所述裂片装置包括：
9.根据权利要求2至6任一项所述的半片产品加工设备，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求9所述的半片产品加工设备，其特征在于，还包括：
11.根据权利要求10所述的半片产品加工设备，其特征在于，还包括：
12.根据权利要求11所述的半片产品加工设备，其特征在于，还包括：
13.根据权利要求9所述的半片产品加工设备，其特征在于，运输装载有已加工的所述半片产品的所述料盒的所述料盒流转装置包括：
14.根据权利要求1至6任一项所述的半片产品加工设备，其特征在于，所述成盒装置包括：
15.一种钝化产线，其特征在于，包括：
16.一种太阳能电池片生产线，其特征在于，包括：
17.一种太阳能电池片生产工艺，其特征在于，所述太阳能电池片生产工艺采用：至少一个如权利要求1至14任一项所述的半片产品加工设备。
