本技术涉及半导体制造，特别涉及一种无尘服检测样品的提取装置。
背景技术：
1、晶圆工厂(fabrication，fab)的工作人员在进行作业时需要穿无尘服，如果无尘服的洁净度不够，会直接影响工厂环境的洁净度以及产品的良率，所以要定期检测无尘服的洁净度。随着集成电路制程技术的快速发展及元件精小化，产品品质及良率的要求也越来越高。因此，控制好无尘服的洁净度非常重要。
2、目前，检测无尘服的洁净度的方法通常包括以下步骤：(1)在裁剪室内准备好干净的裁剪所需工具；(2)将无尘服摆放在桌子上；(3)为减少分析误差，在多名工作人员合作下，从一件无尘服的三个不同部位裁剪出固定尺寸的三片布料，作为平行样品；(4)从上述的三片布料中再分别裁剪出一小片布料，进行gc-ms(gas chromatography-massspectrometry，气相色谱-质谱)检测；(5)剩余三片布料分别放入干净的瓶子中，加入超纯水(ultrapure water，upw)，浸泡一段时间后，过滤水样，进行ic&icp-ms(ionchromatography tandem mass spectrometry&inductively coupled plasma massspectrometry，离子色谱-串联质谱&电感耦合等离子体质谱)检测。
3、然而，在无尘服检测样品的提取过程中，存在以下问题：
4、第一、样品裁剪过程中容易引入污染。因为裁剪过程是在取样室内进行的，其他人员可能在裁剪过程中进入取样室而引入污染；另外，工作人员身上如果有污染物，也会引入污染。
5、第二、样品的尺寸可能不同。由于样品是人为裁剪，人为裁剪的尺寸容易发生偏差，从而导致样品的检测结果不准确。
6、第三、浪费人力物力。裁剪过程中需要多个工作人员和多套裁剪工具，费时费力。
技术实现思路
1、本实用新型提供了一种无尘服检测样品的提取装置，以解决在无尘服检测样品的提取过程中存在的上述问题。
2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种无尘服检测样品的提取装置，包括取样室、裁剪设备、裁剪固定盘、样品盘、取样瓶、重量传感器、出水管路、控制阀和控制平台；
3、所述取样室具有一空腔，所述取样室设置有可开合的门；
4、所述裁剪设备、所述裁剪固定盘、所述样品盘、所述取样瓶、所述重量传感器和所述出水管路均设置在所述空腔内，所述控制平台设置在所述空腔外；
5、所述裁剪设备、所述重量传感器和所述控制阀分别与所述控制平台连接；
6、所述取样瓶放置在所述样品盘上；所述重量传感器安装在所述样品盘的底部；
7、所述控制阀安装在所述出水管路上。
8、可选的，所述装置还包括与所述空腔连通的进气管和排气管，所述进气管和所述排气管上均设置有阀门。
9、可选的，所述进气管与所述空腔的底部连通，所述排气管与所述空腔的顶部连通。
10、可选的，所述进气管和所述排气管的数量均为多个。
11、可选的，所述阀门为自动阀，所述阀门与所述控制平台连接。
12、可选的，所述可开合的门包括间隔设置的进料门和出样门。
13、可选的，所述进料门的外侧设置有感应平台，所述感应平台上设置有感应模块；所述进料门的内侧设置有电控锁；所述感应模块和所述电控锁均与所述控制平台连接。
14、可选的，所述感应模块为重量传感器。
15、可选的，所述裁剪设备包括机械手臂夹和机械手臂剪，所述机械手臂夹和所述机械手臂剪分别与所述控制平台连接。
16、可选的，所述装置还包括裁剪完成盘，所述裁剪完成盘设置在所述裁剪固定盘和所述样品盘之间。
17、本实用新型提供的一种无尘服检测样品的提取装置，包括取样室、裁剪设备、裁剪固定盘、样品盘、取样瓶、重量传感器、出水管路、控制阀和控制平台，取样室为样品裁剪提供相对独立的空间，防止污染物污染样品；使用裁剪设备自动裁剪无尘服，不需要多个作业人员人工裁剪；通过重量传感器和控制平台判断样品是否需要加超纯水，以满足后续无尘服的洁净度的检测需求。意想不到的效果是在无尘服检测样品的裁剪过程中不容易引入污染，样品的尺寸更加统一，明显提高了提取样品的效率。
1.一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，包括取样室、裁剪设备、裁剪固定盘、样品盘、取样瓶、重量传感器、出水管路、控制阀和控制平台；
2.如权利要求1所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述装置还包括与所述空腔连通的进气管和排气管，所述进气管和所述排气管上均设置有阀门。
3.如权利要求2所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述进气管与所述空腔的底部连通，所述排气管与所述空腔的顶部连通。
4.如权利要求2所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述进气管和所述排气管的数量均为多个。
5.如权利要求2所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述阀门为自动阀，所述阀门与所述控制平台连接。
6.如权利要求1所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述可开合的门包括间隔设置的进料门和出样门。
7.如权利要求6所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述进料门的外侧设置有感应平台，所述感应平台上设置有感应模块；所述进料门的内侧设置有电控锁；所述感应模块和所述电控锁均与所述控制平台连接。
8.如权利要求7所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述感应模块为重量传感器。
9.如权利要求1所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述裁剪设备包括机械手臂夹和机械手臂剪，所述机械手臂夹和所述机械手臂剪分别与所述控制平台连接。
10.如权利要求1所述的一种无尘服检测样品的提取装置，其特征在于，所述装置还包括裁剪完成盘，所述裁剪完成盘设置在所述裁剪固定盘和所述样品盘之间。
