本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种光罩夹取装置。
背景技术：
1、随着半导体工艺的发展，半导体芯片的面积越来越小，芯片内的半导体器件关键尺寸也不断缩小，因此半导体工艺能力受到的考验也越来越大，工艺的精准度与工艺变异的控制也变得更加重要。在制造半导体芯片的工艺中，最重要的工艺过程就是光刻，光刻工艺的质量会直接影响到最终形成芯片的性能。
2、当前半导体芯片生产制造技术中，光刻工艺需要用到特定的工具—光罩，光刻机在曝光过程中将光罩上的特定形貌信息“刻画”在晶圆上面。针对不同产品或者同一产品的不同层，所需要的光罩并不是一样的，因此在半导体芯片制造过程中，需要用到大量的不同的光罩，不同光罩的转换是需要光刻机来完成。
3、现有在光刻机中转换不同光罩时，需要用到光罩机器人将光罩从光罩存放单元中取出。作为中转仓库机构，光罩存放单元可以同时存放12块光罩，在光刻工艺前，可以将所需的光罩提前放至光罩存放单元中，然后在光刻过程中通过读光罩条形码的形式记忆光罩id信息，光刻过程中会自动根据产品配方信息转换不同光罩。而在转换及传输光罩过程中，机台宕机有时候会丢失光罩信息，此时由于光刻机无法识别机台内各位置是否有光罩，以及对应的光罩信息丢失，此时需要手动取出光罩后进行初始化；在手动取出机台内光罩过程中，由于光刻机内部空间狭窄，操作空间极其有限，以及光罩存放单元的空间间隙较小，极易对光罩造成划伤，进而影响生产效率。
技术实现思路
1、本实用新型解决的技术问题是提供一种光罩夹取装置，避免人为造成光罩损伤。
2、为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供光罩夹取装置，包括：抓取组件，用于抓取光罩；水平调节机构，与所述抓取组件连接，用于控制所述抓取组件在水平方向移动；升降机构，与所述抓取组件相连接，用于控制所述抓取组件在垂直方向移动；承载台，用于承载并连接所述水平调节机构和所述升降机构。
3、可选的，所述抓取组件包括：相对设置的两个夹臂；夹臂连接件，分别与两个所述夹臂固定连接，以控制两个所述夹臂夹取光罩。
4、可选的，所述水平调节机构包括：与所述抓取组件连接的x轴调节组件和与所述承载台连接的y轴调节组件。
5、可选的，所述x轴调节组件包括：x轴旋转构件，与所述x轴旋转构件连接的x轴旋转支撑座。
6、可选的，所述x轴旋转构件包括：x轴旋转杆，以及位于所述x轴旋转杆端部的x轴旋转手柄，所述x轴旋转杆与所述x轴旋转手柄通过螺接或铆接或焊接或一体成型等方式连接。
7、可选的，所述x轴旋转支撑座包括：底座，与所述底座连接的支撑柱，所述支撑柱通过螺接或铆接或卡接或焊接等方式固定于所述底座上。
8、可选的，所述x轴旋转杆与所述支撑柱连接。
9、可选的，所述y轴调节组件包括：y轴旋转构件，与所述y轴旋转构件连接的y轴旋转支撑座。
10、可选的，所述y轴旋转构件包括：y轴旋转杆，以及位于所述y轴旋转杆端部的y轴旋转手柄，所述y轴旋转杆与所述y轴旋转手柄可以通过螺接或铆接或焊接或一体成型等方式连接。
11、可选的，所述y轴旋转支撑座包括第一支撑体和第二支撑体，所述第二支撑体与所述第一支撑体水平设置，支撑并连接所述y轴旋转构件，所述y轴旋转构件贯穿所述第一支撑体和所述第二支撑体。
12、可选的，所述升降机构包括：与所述承载台螺纹连接或丝杆连接或压力连接的升降杆，及与所述升降杆连接的升降旋转柄。
13、可选的，升降旋转杆，与所述升降旋转杆连接的升降旋转手柄，套设于所述升降旋转杆上的限位结构。
14、可选的，所述限位结构包括：限位块和限位柱，所述限位块套设于所述升降旋转杆上，所述限位柱通过所述限位块与所述升降旋转杆上限位孔的配合固定。
15、可选的，所述承载台包括：顶板，底板，连接板和连接柱，
16、可选的，所述顶板与所述升降旋转杆的端部固定连接，且与所述连接柱固定连接，所述升降旋转杆与所述连接柱共同支撑所述顶板。
17、可选的，所述连接板与所述第一支撑体固定连接。
18、可选的，所述底板与所述第二支撑体固定连接。
19、与现有技术相比，本实用新型实施例的技术方案具有以下有益效果：采用光罩夹取装置从光刻机中取放光罩，能有效防止手动取光罩而对光罩造成人为划伤。
20、进一步，水平调节机构和升降机构能很好的将抓取组件与被取光罩保持在同一平面上，通过控制三个方向自由度来精准控制取放光罩动作。
1.一种光罩夹取装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述抓取组件包括：相对设置的第一夹臂和第二夹臂；
3.如权利要求1所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述水平调节机构包括：与所述抓取组件连接的x轴调节组件和与所述承载台连接的y轴调节组件。
4.如权利要求3所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述x轴调节组件包括：x轴旋转构件，与所述x轴旋转构件连接的x轴旋转支撑座。
5.如权利要求4所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述x轴旋转构件包括：x轴旋转杆，以及位于所述x轴旋转杆端部的x轴旋转手柄，所述x轴旋转杆与所述x轴旋转手柄通过螺接或铆接或焊接或一体成型的方式连接。
6.如权利要求4所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述x轴旋转支撑座包括：底座，与所述底座连接的支撑柱，所述支撑柱通过螺接或铆接或卡接或焊接的方式固定于所述底座上。
7.如权利要求6所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述x轴旋转杆与所述支撑柱连接。
8.如权利要求3所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述y轴调节组件包括：y轴旋转构件，与所述y轴旋转构件连接的y轴旋转支撑座。
9.如权利要求8所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述y轴旋转构件包括：y轴旋转杆，以及位于所述y轴旋转杆端部的y轴旋转手柄，所述y轴旋转杆与所述y轴旋转手柄可以通过螺接或铆接或焊接或一体成型的方式连接。
10.如权利要求8所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述y轴旋转支撑座包括第一支撑体和第二支撑体，所述第二支撑体与所述第一支撑体水平设置，支撑并连接所述y轴旋转构件，所述y轴旋转构件贯穿所述第一支撑体和所述第二支撑体。
11.如权利要求10所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述升降机构包括：升降旋转杆，与所述升降旋转杆连接的升降旋转手柄，套设于所述升降旋转杆上的限位结构。
12.如权利要求11所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述限位结构包括：限位块和限位柱，所述限位块套设于所述升降旋转杆上，所述限位柱通过所述限位块与所述升降旋转杆上限位孔的配合固定。
13.如权利要求12所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述承载台包括：顶板，底板，连接板和连接柱。
14.如权利要求13所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述顶板与所述升降旋转杆的端部固定连接，且与所述连接柱固定连接，所述升降旋转杆与所述连接柱共同支撑所述顶板。
15.如权利要求13所述的光罩夹取装置，其特征在于，所述连接板与所述第一支撑体固定连接。
16.如权利要求13所述的光罩夹取装置，其特征在于，还包括：所述底板与所述第二支撑体固定连接。
