本申请涉及太阳能电池沉积镀膜，特别是涉及一种pecvd设备及支撑杆组件。
背景技术：
1、topcon(tunnel oxide passivated contact，隧穿氧化层钝化接触)电池是一种光伏晶硅电池，由于其具有高转换效率、低衰减性能以及高量产性价比等优点，逐步被广泛应用。
2、topcon电池采用pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学气相沉积)路线沉积隧穿氧化硅和掺杂非晶硅，石墨舟作为载片工具，装片后石墨舟角搭在支撑杆上，通过电极杆或者放电座电极进行放电。由于沉积隧穿氧化硅很薄，且对放电过程的放电波动较为敏感，长期使用后支撑杆上会沉积掺杂非晶硅，造成支撑杆导通，从而影响石墨舟阴阳极放电，严重时会出现射频电源放电报警，需要定期对支撑杆进行维护或者更换处理，影响生产效率。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种pecvd设备及支撑杆组件，有利于延长支撑杆组件的使用寿命，降低维护频次，提高生产效率。
2、一种支撑杆组件，包括：
3、绝缘杆；
4、第一绝缘隔套，所述第一绝缘隔套包括第一内套环以及第一外套环，所述第一内套环套设于所述绝缘杆，所述第一外套环套设于所述第一内套环，所述第一外套环的端部对应凸出于所述第一内套环的端部，所述第一内套环的端部与所述第一外套环的内侧壁围设形成第一收容空间；
5、第二绝缘隔套，所述第二绝缘隔套与所述第一绝缘隔套沿所述绝缘杆的轴向交替排列，所述第二绝缘隔套包括第二内套环以及第二外套环，所述第二内套环套设于所述绝缘杆，所述第二外套环套设于所述第二内套环，所述第二内套环的端部对应凸出于所述第二外套环的端部，所述第二内套环的外侧壁与所述第二外套环的端部围设形成第二收容空间；其中，所述第一外套环设于所述第二收容空间，所述第二内套环设于所述第一收容空间，所述第一外套环的端部与所述第二外套环的端部间隙配合，所述第一外套环的内侧壁与所述第二内套环的外侧壁间隙配合。
6、在其中一个实施例中，所述第一外套环的内侧壁与所述第二内套环的外侧壁之间的间隙为0.2mm～6mm。
7、在其中一个实施例中，所述第一外套环的端部与所述第二外套环的端部之间的间隙为0.5mm～10mm。
8、在其中一个实施例中，所述第一内套环的端部与所述第二内套环的端部抵接配合；或者，所述第一内套环的端部与所述第二内套环的端部间隙配合。
9、在其中一个实施例中，所述第一内套环的内径与所述第二内套环的内径相等，且所述第一内套环的内径以及所述第二内套环的内径均与所述绝缘杆的外径适配。
10、在其中一个实施例中，所述第一外套环的外径与所述第二外套环的外径相等。
11、在其中一个实施例中，所述第一内套环的厚度大于所述第一外套环的厚度，所述第二内套环的厚度小于所述第二外套环的厚度。
12、在其中一个实施例中，所述第一绝缘隔套以及所述第二绝缘隔套均为陶瓷套。
13、一种pecvd设备，包括上述的支撑杆组件。
14、在其中一个实施例中，所述pecvd设备还包括石墨舟，所述石墨舟的舟角搭接于所述第一绝缘隔套和/或所述第二绝缘隔套；或者，所述石墨舟包括多个舟片，所有所述舟片均设有安装孔，所述支撑杆组件设于所述安装孔内用以连接所有所述舟片。
15、上述的pecvd设备及支撑杆组件，在非晶硅沉积的过程中，非晶硅主要沉积在第一外套环和第二外套环的外表面、以及第一外套环的端部和第二外套环端部之间的间隙，而很少甚至无法沉积在第一外套环的内侧壁和第二内套环的外侧壁之间的间隙、以及第一内套环的端部和第二内套环的端部之间的位置，结合绝缘杆、第一绝缘隔套以及第二绝缘隔套均为绝缘体，如此可降低第一绝缘隔套以及第二绝缘隔套在非晶硅沉积过程中导通的可能性。将石墨舟的舟角搭接在第一绝缘隔套和/或第二绝缘隔套后，由于第一绝缘隔套以及第二绝缘隔套之间绝缘，因此也不存在前后舟角导通的情况，即不会影响石墨舟阴阳极放电。如此，有利于延长支撑杆组件的使用寿命，降低维护频次，提高pecvd设备的开机率，进而提高生产效率。
1.一种支撑杆组件(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一外套环(122)的内侧壁与所述第二内套环(131)的外侧壁之间的间隙为0.2mm～6mm。
3.根据权利要求1所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一外套环(122)的端部与所述第二外套环(132)的端部之间的间隙为0.5mm～10mm。
4.根据权利要求1所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一内套环(121)的端部与所述第二内套环(131)的端部抵接配合；或者，所述第一内套环(121)的端部与所述第二内套环(131)的端部间隙配合。
5.根据权利要求1所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一内套环(121)的内径与所述第二内套环(131)的内径相等，且所述第一内套环(121)的内径以及所述第二内套环(131)的内径均与所述绝缘杆(11)的外径适配。
6.根据权利要求5所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一外套环(122)的外径与所述第二外套环(132)的外径相等。
7.根据权利要求6所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一内套环(121)的厚度大于所述第一外套环(122)的厚度，所述第二内套环(131)的厚度小于所述第二外套环(132)的厚度。
8.根据权利要求1至7任一项所述的支撑杆组件(10)，其特征在于，所述第一绝缘隔套(12)以及所述第二绝缘隔套(13)均为陶瓷套。
9.一种pecvd设备，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的支撑杆组件(10)。
10.根据权利要求9所述的pecvd设备，其特征在于，所述pecvd设备还包括石墨舟(20)，所述石墨舟(20)的舟角搭接于所述第一绝缘隔套(12)和/或所述第二绝缘隔套(13)；
