本申请属于固晶机,更具体地说,是涉及一种固晶装置及固晶机。
背景技术:
1、固晶机是一种用于将晶片或芯片固定在基板上的机器。现有固晶机一般包括两个伺服电机及摆臂,其中一个伺服电机用于驱动另一个伺服电机及摆臂整体旋转,另一个伺服电机用于驱动摆臂上下运动以取晶或固晶,这种驱动方式,导致摆臂的运动幅度大,工作效率低。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种固晶装置及固晶机,以解决现有技术中存在的摆臂运动幅度大及工作效率低的技术问题。
2、为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:提供一种固晶装置,包括旋转机构、旋转座、升降机构及摆臂;所述旋转座安装于所述旋转机构的输出端,所述升降机构安装于所述旋转座上;所述摆臂具有相对设置的第一端及第二端,所述摆臂还具有位于所述第一端与所述第二端之间并靠近所述第一端的连接点,所述连接点与所述升降机构的输出端连接,所述第一端与所述旋转座之间通过弹性结构活动连接,当所述连接点被所述升降机构驱动时所述摆臂做弧形摆动运动。
3、在一个实施例中,所述弹性结构包括至少一个弹片,所述弹片的一端与所述旋转座贴合固定,所述弹片的另一端与所述摆臂贴合固定。
4、在一个实施例中,所述弹性结构包括第一弹片及第二弹片,所述第一弹片与所述第二弹片相互垂直,所述第一弹片的相对两端分别贴合固定在所述旋转座及所述摆臂上;所述第二弹片的相对两端分别贴合固定在所述旋转座及所述摆臂上,所述第一弹片与所述第二弹片的垂直交叉点为所述摆臂的摆动支点。
5、在一个实施例中,所述升降机构包括音圈电机,所述音圈电机包括磁铁组件及线圈组件,所述磁铁组件安装于所述旋转座上,所述线圈组件与所述摆臂连接并跟随所述摆臂一起做弧形摆动运动。
6、在一个实施例中,所述线圈组件与所述旋转座之间连接有弹性件,所述弹性件竖直设置,所述弹性件和所述连接点分别位于所述摆臂的摆动支点的相对两侧。
7、在一个实施例中,所述线圈组件与所述摆臂的连接点之间通过连接座进行连接,所述弹性件连接于所述连接座与所述旋转座之间。
8、在一个实施例中,所述磁铁组件包括具有安装腔的磁铁架以及间隔设于所述安装腔中的电磁铁,所述磁铁架安装于所述旋转座;所述线圈组件包括线圈架及线圈,所述线圈架安装于两个所述电磁铁之间,所述线圈安装于所述线圈架。
9、在一个实施例中,所述线圈组件的一端与所述摆臂连接,所述线圈组件的另一端形成有弧形面,所述弧形面的圆心位于所述摆臂的摆动支点,所述弧形面上贴合设置有弧形的光栅尺,所述旋转座上安装有与所述光栅尺间隔设置的光栅读头。
10、在一个实施例中,所述摆臂包括摆臂本体及与所述摆臂本体的端部固接的安装座,所述第一端及所述连接点均位于所述安装座上。
11、本申请提供的固晶装置的有益效果在于:本申请实施例提供的固晶装置,通过在摆臂的第一端与旋转座之间通过弹性结构活动连接,如此可通过旋转座及弹性结构对摆臂的第一端进行运动约束,使得当升降机构驱动摆臂的连接点升降时,第一端不会跟随连接点同步升降,从而使得摆臂做弧形摆动运动,进而使得在第二端执行同样幅度的升降运动时,整个摆臂的运动幅度减小,使得摆臂的运动效率更高。此外,由于本申请中的摆臂做弧形摆动运动,无需在升降机构上设置用于直线导向的交叉导轨,简化了结构,降低了固晶装置的制作成本。
12、另一方面,本申请还提供了一种固晶机,包括上述固晶装置。
13、本申请提供的固晶机的有益效果在于:本申请实施例提供的固晶机,通过上述固晶装置的设置,使得该固晶机的工作效果更高,结构更加简单。
1.一种固晶装置,其特征在于,包括旋转机构、旋转座、升降机构及摆臂;所述旋转座安装于所述旋转机构的输出端,所述升降机构安装于所述旋转座;所述摆臂具有相对设置的第一端及第二端,所述摆臂还具有位于所述第一端与所述第二端之间并靠近所述第一端的连接点,所述连接点与所述升降机构的输出端连接,所述第一端与所述旋转座之间通过弹性结构活动连接,当所述连接点被所述升降机构驱动时所述摆臂做弧形摆动运动。
2.如权利要求1所述的固晶装置,其特征在于,所述弹性结构包括至少一个弹片,所述弹片的一端与所述旋转座贴合固定,所述弹片的另一端与所述摆臂贴合固定。
3.如权利要求1所述的固晶装置,其特征在于,所述弹性结构包括第一弹片及第二弹片,所述第一弹片与所述第二弹片相互垂直,所述第一弹片的相对两端分别贴合固定在所述旋转座及所述摆臂上;所述第二弹片的相对两端分别贴合固定在所述旋转座及所述摆臂上,所述第一弹片与所述第二弹片的垂直交叉点为所述摆臂的摆动支点。
4.如权利要求1至3任一项所述的固晶装置,其特征在于,所述升降机构包括音圈电机,所述音圈电机包括磁铁组件及线圈组件,所述磁铁组件安装于所述旋转座上,所述线圈组件与所述摆臂连接并跟随所述摆臂一起做弧形摆动运动。
5.如权利要求4所述的固晶装置,其特征在于,所述线圈组件与所述旋转座之间连接有弹性件,所述弹性件竖直设置,所述弹性件和所述连接点分别位于所述摆臂的摆动支点的相对两侧。
6.如权利要求5所述的固晶装置,其特征在于,所述线圈组件与所述摆臂的连接点之间通过连接座进行连接,所述弹性件连接于所述连接座与所述旋转座之间。
7.如权利要求4所述的固晶装置,其特征在于,所述磁铁组件包括具有安装腔的磁铁架以及间隔设于所述安装腔中的电磁铁,所述磁铁架安装于所述旋转座;所述线圈组件包括线圈架及线圈,所述线圈架安装于两个所述电磁铁之间,所述线圈安装于所述线圈架。
8.如权利要求4所述的固晶装置,其特征在于,所述线圈组件的一端与所述摆臂连接,所述线圈组件的另一端形成有弧形面,所述弧形面的圆心位于所述摆臂的摆动支点,所述弧形面上贴合设置有弧形的光栅尺,所述旋转座上安装有与所述光栅尺间隔设置的光栅读头。
9.如权利要求1至3任一项所述的固晶装置,其特征在于,所述摆臂包括摆臂本体及与所述摆臂本体的端部固接的安装座,所述第一端及所述连接点均位于所述安装座上。
10.一种固晶机,其特征在于,包括如权利要求1至9任一项所述的固晶装置。
