本发明涉及弹性波装置。
背景技术:
1、以往,弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来,提出了下述的专利文献1所记载那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中,在支承体上设置有压电层。在压电层上,设置有idt(interdigital transducer,叉指换能器)电极。idt电极具有1对梳齿状电极。各梳齿状电极具有汇流条以及多个电极指。1对梳齿状电极彼此在压电层上彼此相互交错对插。1对梳齿状电极与相互不同的电位连接。通过对idt电极施加交流电压,来激励厚度剪切模式的体波。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1:美国发明专利第10491192号说明书
技术实现思路
1、发明要解决的问题
2、在专利文献1所记载的弹性波装置中,在支承体设置有贯通孔。在支承体上设置有压电层,使得覆盖贯通孔。因此,在压电层以及支承体的层叠体中,压电层中的覆盖贯通孔的部分为薄膜状。
3、相邻的电极指彼此相互对置的区域位于该薄膜状的部分。在将该区域设为交叉区域时,在交叉区域以及汇流条之间,应力容易集中。因此,在薄膜状的部分产生了裂纹的情况下,有时该裂纹在交叉区域以及汇流条之间扩展。由此,idt电极的电极指容易断线。若电极指的断线的根数变多,则有时相对于idt电极串联地产生静电电容。由于该原因,有时滤波器特性会变化。
4、本发明的目的在于,提供能够抑制裂纹的扩展的弹性波装置。
5、用于解决问题的技术方案
6、本发明涉及的弹性波装置具备:支承构件,具有支承基板;压电层,设置于所述支承构件,具有相互对置的第1主面以及第2主面;和idt电极,设置于所述压电层的所述第1主面以及所述第2主面之中的至少一者,所述idt电极具有相互对置的第1汇流条部以及第2汇流条部、和多个电极指,所述多个电极指包括一端与所述第1汇流条部连接的至少1根第1电极指、以及一端与所述第2汇流条部连接的至少1根第2电极指,所述第1电极指和所述第2电极指彼此相互交错对插,在从与所述第1电极指以及所述第2电极指延伸的方向正交的方向观察时,相邻的所述第1电极指以及所述第2电极指相互重叠的区域为交叉区域,在所述支承构件设置有空洞部,所述空洞部在俯视下与所述交叉区域重叠,所述第1汇流条部以及所述第2汇流条部之中的至少一者具有外侧汇流条和至少1根突起电极,所述外侧汇流条在俯视下不与所述空洞部重叠,所述至少1根突起电极从所述外侧汇流条向所述交叉区域侧延伸,与所述多个电极指之中不连接于该外侧汇流条的电极指对置,所述突起电极在俯视下与所述空洞部的外周缘重叠。
7、发明效果
8、根据本发明,能够提供能够抑制裂纹的扩展的弹性波装置。
1.一种弹性波装置,具备:
2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,
4.根据权利要求3所述的弹性波装置,其中,
5.根据权利要求1~4中任一项所述的弹性波装置,其中,
6.根据权利要求1~5中任一项所述的弹性波装置,其中,
7.根据权利要求1~6中任一项所述的弹性波装置,其中,
8.根据权利要求7所述的弹性波装置,其中,
9.根据权利要求1~8中任一项所述的弹性波装置,其中,
10.根据权利要求1~9中任一项所述的弹性波装置,其中,
11.根据权利要求1~5中任一项所述的弹性波装置,其中,
