弹性波装置的制作方法

专利2026-08-13  5


本发明涉及弹性波装置。


背景技术:

1、以往,弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来,提出了下述的专利文献1所记载那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中,在支承体上设置有压电层。在压电层上,设置有idt(interdigital transducer,叉指换能器)电极。idt电极具有1对梳齿状电极。各梳齿状电极具有汇流条以及多个电极指。1对梳齿状电极彼此在压电层上彼此相互交错对插。1对梳齿状电极与相互不同的电位连接。通过对idt电极施加交流电压,来激励厚度剪切模式的体波。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:美国发明专利第10491192号说明书


技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1所记载的弹性波装置中,在支承体设置有贯通孔。在支承体上设置有压电层,使得覆盖贯通孔。因此,在压电层以及支承体的层叠体中,压电层中的覆盖贯通孔的部分为薄膜状。

3、相邻的电极指彼此相互对置的区域位于该薄膜状的部分。在将该区域设为交叉区域时,在交叉区域以及汇流条之间,应力容易集中。因此,在薄膜状的部分产生了裂纹的情况下,有时该裂纹在交叉区域以及汇流条之间扩展。由此,idt电极的电极指容易断线。若电极指的断线的根数变多,则有时相对于idt电极串联地产生静电电容。由于该原因,有时滤波器特性会变化。

4、本发明的目的在于,提供能够抑制裂纹的扩展的弹性波装置。

5、用于解决问题的技术方案

6、本发明涉及的弹性波装置具备:支承构件,具有支承基板;压电层,设置于所述支承构件,具有相互对置的第1主面以及第2主面;和idt电极,设置于所述压电层的所述第1主面以及所述第2主面之中的至少一者,所述idt电极具有相互对置的第1汇流条部以及第2汇流条部、和多个电极指,所述多个电极指包括一端与所述第1汇流条部连接的至少1根第1电极指、以及一端与所述第2汇流条部连接的至少1根第2电极指,所述第1电极指和所述第2电极指彼此相互交错对插,在从与所述第1电极指以及所述第2电极指延伸的方向正交的方向观察时,相邻的所述第1电极指以及所述第2电极指相互重叠的区域为交叉区域,在所述支承构件设置有空洞部,所述空洞部在俯视下与所述交叉区域重叠,所述第1汇流条部以及所述第2汇流条部之中的至少一者具有外侧汇流条和至少1根突起电极,所述外侧汇流条在俯视下不与所述空洞部重叠,所述至少1根突起电极从所述外侧汇流条向所述交叉区域侧延伸,与所述多个电极指之中不连接于该外侧汇流条的电极指对置,所述突起电极在俯视下与所述空洞部的外周缘重叠。

7、发明效果

8、根据本发明,能够提供能够抑制裂纹的扩展的弹性波装置。



技术特征:

1.一种弹性波装置,具备:

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,

4.根据权利要求3所述的弹性波装置,其中,

5.根据权利要求1~4中任一项所述的弹性波装置,其中,

6.根据权利要求1~5中任一项所述的弹性波装置,其中,

7.根据权利要求1~6中任一项所述的弹性波装置,其中,

8.根据权利要求7所述的弹性波装置,其中,

9.根据权利要求1~8中任一项所述的弹性波装置,其中,

10.根据权利要求1~9中任一项所述的弹性波装置,其中,

11.根据权利要求1~5中任一项所述的弹性波装置,其中,


技术总结
提供能够抑制裂纹的扩展的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备:具有支承基板的支承构件;设置于支承构件并具有相互对置的第1主面(14a)以及第2主面(14b)的压电层(14);和设置于压电层(14)的第1主面(14a)以及第2主面(14b)之中的至少一者的(IDT)电极(11)。(IDT)电极(11)具有:相互对置的第1汇流条部(26)以及第2汇流条部(27);和包括一端连接于第1汇流条部(26)的至少1根第1电极指(28)以及一端连接于第2汇流条部(27)的至少1根第2电极指(29)的多个电极指。第1电极指(28)和第2电极指(29)彼此相互交错对插。在从与第1电极指(28)以及第2电极指(29)延伸的方向正交的方向观察时,相邻的第1电极指(28)以及第2电极指(29)相互重叠的区域为交叉区域(F)。在支承构件设置有空洞部(10a)。空洞部(10a)在俯视下与交叉区域(F)重叠。第1汇流条部(26)以及第2汇流条部(27)之中的至少一者具有:在俯视下不与空洞部(10a)重叠的外侧汇流条(26a、27a);和从外侧汇流条向交叉区域(F)侧延伸并与多个电极指之中不连接于该外侧汇流条的电极指对置的至少1根突起电极(26c、27c)。突起电极在俯视下与空洞部(10a)的外周缘重叠。

技术研发人员:井上和则
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:
技术公布日:2024/12/17
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