本申请涉及单晶炉，具体地涉及一种用于单晶炉副室的清扫工具。
背景技术：
1、单晶炉是在惰性气体(主要包括，氮气、氦气)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。反应挥发物会在单晶炉副室内壁上沉积，长期的沉积趋向于落在单晶炉主室的多晶材料上，致使多晶材料收到污染，从而影响产出的籽晶棒的纯度。
2、目前，单晶炉副室常用的清扫工具是人工使用加长的不锈钢杆绑着纤维纸进行反复清扫，然后再开通氩气吹去残留的纤维纸屑，工具的重量大，与副室内壁接触面小且不充分，使用一段时间后接触面出现歪斜且只能清扫，没有同步的吹扫功能，需要开氩气将里面残留的纤维纸屑吹扫干净，增加了氩气使用量及成本。
技术实现思路
1、为了克服上述现有技术所述的至少一种缺陷，本申请的目的是提供一种用于单晶炉副室的清扫工具，包括拖杆、环状构件以及气流管道组件，其特征在于，所述气流管道组件包括输气管和连接至所述输气管顶端的环形管道构件，所述环形管道构件具有若干沿其径向向外朝向的喷嘴；所述拖杆为中空的，所述输气管置于所述拖杆内；所述环状构件固定至所述拖杆的顶端，并且在竖直方向上，所述环形管道构件高于所述环状构件。
2、根据一实施例，所述环状构件呈轮圈的形状，且具有内圆柱面、外圆柱面以及连接所述内圆柱面与所述外圆柱面的若干连接件。
3、根据另一实施例，所述环状构件由弹性材料构成，或者，若干所述连接件和/或所述外圆柱面由弹性材料构成。
4、根据再一实施例，所述内圆柱面固定至所述拖杆的顶端。
5、根据再一实施例，所述外圆柱面的外侧表面具有附接装置，用于附接清扫物料。
6、根据再一实施例，所述清扫物料包括纤维纸。
7、根据再一实施例，所述喷嘴从所述环形管道构件沿其径向向外伸出。
8、根据再一实施例，所述喷嘴与所述连接件一一对应，所述喷嘴搁置在所述连接件的上方。
9、根据再一实施例，所述气流管道组件还包括可调开关，用于调节若干所述喷嘴的流量。
10、根据再一实施例，所述拖杆是可伸缩的。
11、本申请的清扫工具采用了长度可调节的拖杆，无需人工反复推拉拖杆来擦拭单晶炉副室的内壁，节省人力。而且，本申请的清扫工具实现了同时进行清扫和利用气体吹扫的手段，提升了清洁效果，并且节省惰性气体(例如，氩气)的使用量。另外，环状构件，或者至少是连接件和/或外圆柱面由弹性材料构成，使得环状构件具备弹性的特性，其与单晶炉副室的内壁接触时能够增加彼此之间的压力甚至摩擦力，最终导致清扫物料更有力地擦拭单晶炉副室的内壁。进一步地，为气流管道组件配置可调开关，操作人员由此能够按需调节吹扫气体的使用量，并且以此方式确保吹扫手段的清洁效果均匀且彻底。
1.一种用于单晶炉副室的清扫工具，包括拖杆、环状构件以及气流管道组件，其特征在于，所述气流管道组件包括输气管和连接至所述输气管顶端的环形管道构件，所述环形管道构件具有若干沿其径向向外朝向的喷嘴；所述拖杆为中空的，所述输气管置于所述拖杆内；所述环状构件固定至所述拖杆的顶端，并且在竖直方向上，所述环形管道构件高于所述环状构件。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述环状构件呈轮圈的形状，且具有内圆柱面、外圆柱面以及连接所述内圆柱面与所述外圆柱面的若干连接件。
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述环状构件由弹性材料构成，或者，若干所述连接件和/或所述外圆柱面由弹性材料构成。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述内圆柱面固定至所述拖杆的顶端。
5.根据权利要求4所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述外圆柱面的外侧表面具有附接装置，用于附接清扫物料。
6.根据权利要求5所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述清扫物料包括纤维纸。
7.根据权利要求6所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述喷嘴从所述环形管道构件沿其径向向外伸出。
8.根据权利要求7所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述喷嘴与所述连接件一一对应，所述喷嘴搁置在所述连接件的上方。
9.根据权利要求1所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述气流管道组件还包括可调开关，用于调节若干所述喷嘴的流量。
10.根据权利要求1所述的用于单晶炉副室的清扫工具，其特征在于，所述拖杆是可伸缩的。
