本技术涉及压力容器,具体涉及一种炉腔体排气结构及压力容器。
背景技术:
1、压力容器是一种能够承受压力的密闭容器,在化工与石油化工领域,主要用于传热、传质、反应等工艺过程,以及贮存、运输有压力的气体或液化气体;在其他工业与民用领域亦有广泛的应用,如空气压缩机。各类专用压缩机及制冷压缩机的辅机(冷却器、缓冲器、油水分离器、贮气罐、蒸发器、液体冷却剂贮罐等)、锅炉等均属压力容器。在新能源行业中,单晶硅炉、双晶硅炉、蓝宝石炉、氢气罐等一些领域的设备也属于压力容器。
2、在单晶硅炉、双晶硅炉、蓝宝石炉等压力容器的生产工艺中,若采用直拉式工艺,需要向炉体内通入氩气进行冷却,并带走生产过程中所产生的废气,废气中由于含有硅化物及其他杂质,硅化物会在排气过程中冷凝,而凝结在管道或者排气孔内,时间长了产生堵塞,从而影响产品的生产速度和质量。
3、在现有技术中,在排气孔中安装衬套,通过衬套作为硅化物的沉积平台,通过每次拉晶结束后,更换该衬套即可,但是在上述技术中,若硅化物沉积比较严重,导致在生产过程中排气孔堵塞,而会影响晶硅的生产速度。在另一些技术中,还采用如下技术:在排气孔中安装排气管,并通过改变排气孔的位置,将排气孔置于底部,并使其置于加热器和保温罩之间,便于废气快速排出,以减少排气孔的堵塞,但是,若排气孔置于底部,会带走加热器的热量,并在废气流至底部时,因为温度降低或者孔径变小而导致温度大幅降低,使部分的废气会发生冷凝,也会导致排气孔产生堵塞的问题。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足,本实用新型目的之一在于提供一种炉腔体排气结构,解决上述传统的问题。
2、本实用新型目的之二在于提供一种采用该炉腔体排气结构的压力容器,如单晶硅炉、双晶硅炉、蓝宝石炉等。
3、本实用新型目的之一采用如下技术方案实现:
4、一种炉腔体排气结构,包括炉体及安装在所述炉体上的排气装置,所述炉体的侧壁设有多个排气孔,所述排气孔的最低位置与坩埚的最高位置在同一水平线上;所述排气装置包括安装件、安装在所述安装件上的排气管及与所述排气管相连的闪蒸罐,所述安装件用于容置于所述排气孔内,所述安装件设有多个第一安装孔,所述第一安装孔轴向贯穿所述安装件设置;所述排气管的一端用于安装在所述第一安装孔内,所述排气管的另一端与所述闪蒸罐活动相连,所述闪蒸罐设有与真空泵相连的出气管。
5、优选地,所述安装件与所述排气孔通过螺纹相连。
6、优选地,所述排气孔呈圆形状。
7、优选地,所述安装件呈圆柱状。
8、优选地,所述闪蒸罐包括上部的闪蒸部及下部的沉淀收集部,所述出气管设于所述闪蒸部的上方。
9、优选地,所述沉淀收集部与所述闪蒸部为螺纹相连。
10、优选地,所述排气装置还包括安装在所述安装件上的电加热器,所述安装件还包括第二安装孔,所述第二安装孔位于所述安装件的中部,所述电加热器用于安装在所述第二安装孔内,各所述第一安装孔围绕所述第二安装孔的周围设置。
11、优选地,所述第二安装孔朝向于所述炉体内的一端为封闭端。
12、本实用新型目的之二采用如下技术方案实现:
13、一种压力容器,所述压力容器为单晶硅炉、双晶硅炉、蓝宝石炉中的一种,所述压力容器包括上述所述的炉腔体排气结构。
14、相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
15、1、本实用新型的炉腔体排气结构通过将排气孔设置在与坩埚出口相同水平线上,可以快速地将硅化物等冷凝物抽出炉体,避免冷凝物冷凝在产品或者炉体的其他部位上,同时,废气在排出时,由于温度还处于较高的温度下,一般不会在排气装置的排气管上冷凝,但是,当冷凝物发生堵塞时,可以简单地更换该排气装置,从而能够大大地延长炉体的使用寿命,而排气装置上还设有闪蒸罐,可通过闪蒸的作用,将冷凝物在闪蒸罐内冷凝下来,避免冷凝物对其他管道造成堵塞,从而能够减少排气孔的堵塞,保证拉晶速度和质量。
16、2、在本实用新型中,通过设置了电加热器,配合排气装置的作用,对安装件的部位进行加热,以避免发生由于安装件会因变径而导致部分的冷凝物在排气管上冷凝的问题。
1.一种炉腔体排气结构,其特征在于,包括炉体及安装在所述炉体上的排气装置,所述炉体的侧壁设有多个排气孔,所述排气孔的最低位置与坩埚的最高位置在同一水平线上;所述排气装置包括安装件、安装在所述安装件上的排气管及与所述排气管相连的闪蒸罐,所述安装件用于容置于所述排气孔内,所述安装件设有多个第一安装孔,所述第一安装孔轴向贯穿所述安装件设置;所述排气管的一端用于安装在所述第一安装孔内,所述排气管的另一端与所述闪蒸罐活动相连,所述闪蒸罐设有与真空泵相连的出气管。
2.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述安装件与所述排气孔通过螺纹相连。
3.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述排气孔呈圆形状。
4.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述安装件呈圆柱状。
5.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述闪蒸罐包括上部的闪蒸部及下部的沉淀收集部,所述出气管设于所述闪蒸部的上方。
6.根据权利要求5所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述沉淀收集部与所述闪蒸部为螺纹相连。
7.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述排气装置还包括安装在所述安装件上的电加热器,所述安装件还包括第二安装孔,所述第二安装孔位于所述安装件的中部,所述电加热器用于安装在所述第二安装孔内,各所述第一安装孔围绕所述第二安装孔的周围设置。
8.根据权利要求7所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述第二安装孔朝向于所述炉体内的一端为封闭端。
9.一种压力容器,所述压力容器为单晶硅炉、双晶硅炉、蓝宝石炉中的一种,其特征在于,所述压力容器包括如权利要求1-8任一项所述的炉腔体排气结构。
