本技术涉及蒸发台设备，具体为一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置。
背景技术：
1、电子束蒸发台是一种用于物理学领域的核仪器，它是一种用于真空镀膜的设备，可以用于多种金属、合金、和非金属蒸发镀膜，它能支持同时安装电子束蒸发和热蒸发的多功能蒸发台，它在真空下利用电子束直接加热蒸发材料，并将其运输到基板上形成一个薄膜，因为电子束蒸发台内部的部分金属源的熔点和沸点接近，容易对坩埚外部造成污染，所以需要一种shutter板机构来更好杜绝产品污染。
2、现有技术在使用的过程中还存在以下缺陷：
3、1、现有技术中的蒸发台内部的坩埚上端缺少一种能对坩埚表面进行保护，便捷调整的shutter板防污染装置，如果不对坩埚上端进行保护，坩埚内部金属源的熔化可能和沸腾同时产生，容易飞溅到坩埚外部对蒸发台内部的设备造成一定程度的污染，不利于对装置的保护；
4、2、现有技术中的蒸发台的shutter板，多为单层，覆盖面积较为单一，无法更好的调整对坩埚上端的覆盖面积，无法更好的根据不同的金属源来选择不同的覆盖面积，无法迅速的调整覆盖面积，不利于更好的推动电子束蒸发台的工作。
5、鉴于此我们提出一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置来解决现有的问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，包括蒸发台，所述蒸发台内部设置有真空腔，所述真空腔下端安装有安装底座，所述安装底座上端安装有散热板，所述散热板上段安装有坩埚底座，所述坩埚底座上安装有坩埚，所述散热板一侧安装有制冷器，所述真空腔一侧安装有铰链座，所述铰链座上安装有打击束源，所述真空腔顶部安装有安装板，所述安装板上安装有装夹台，所述装夹台上安装有靶材，所述安装底座一侧安装有固定底座，所述固定底座上端安装有转动柱，所述转动柱上安装有第二传动齿，所述第二传动齿一侧安装有第一传动齿，所述第一传动齿连接有转盘，所述转盘上安装有把手，所述转动柱上安装有安装台，所述安装台连接有安装杆，所述安装杆下端安装有shutter板，所述shutter板上端设置有上板，所述上板下端安装有下板，所述上板和下板均设置有数组通孔。
3、优选的，所述转动柱表面均匀设置有螺旋纹。
4、优选的，所述制冷器一侧安装有导热管道，所述导热管道一端接入制冷器，且导热管道另一端接入蒸发台外部，所述导热管道与蒸发台连接处安装有内密封圈。
5、优选的，所述蒸发台上端一侧设置有真空接口，所述真空接口与蒸发台连接处安装有外密封圈。
6、优选的，所述真空腔远离铰链座一侧安装有框架，所述框架上安装有加速模块。
7、优选的，所述安装板下端一侧安装有防护挡板。
8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
9、1、本实用新型通过在蒸发台内部的坩埚上端设置一种能对坩埚表面进行保护，可以便捷调整的shutter板防污染装置，因为坩埚内部的金属源的熔化可能和沸腾同时产生，该保护装置能有效保护飞溅的金属源，能很好的保护内部的装置，一定程度上能防止内部的污染。
10、2、本实用新型通过在蒸发台上端的shutter板上设计双层结构，上板和下板上均设置有通孔，通过上板的转动改变两块板的中间的空隙面积，从而实现改变整个shutter板对坩埚上端的覆盖面积，可以很好的根据不同的靶材和金属源来对其进行调整，提高整体的工作效率。
1.一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，包括蒸发台(1)，其特征在于：所述蒸发台(1)内部设置有真空腔(8)，所述真空腔(8)下端安装有安装底座(14)，所述安装底座(14)上端安装有散热板(15)，所述散热板(15)上段安装有坩埚底座(13)，所述坩埚底座(13)上安装有坩埚(16)，所述散热板(15)一侧安装有制冷器(17)，所述真空腔(8)一侧安装有铰链座(2)，所述铰链座(2)上安装有打击束源(3)，所述真空腔(8)顶部安装有安装板(5)，所述安装板(5)上安装有装夹台(4)，所述装夹台(4)上安装有靶材(6)，所述安装底座(14)一侧安装有固定底座(20)，所述固定底座(20)上端安装有转动柱(26)，所述转动柱(26)上安装有第二传动齿(21)，所述第二传动齿(21)一侧安装有第一传动齿(28)，所述第一传动齿(28)连接有转盘(27)，所述转盘(27)上安装有把手(29)，所述转动柱(26)上安装有安装台(25)，所述安装台(25)连接有安装杆(24)，所述安装杆(24)下端安装有shutter板(23)，所述shutter板(23)上端设置有上板(30)，所述上板(30)下端安装有下板(32)，所述上板(30)和下板(32)均设置有数组通孔(31)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，其特征在于：所述转动柱(26)表面均匀设置有螺旋纹(22)。
3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，其特征在于：所述制冷器(17)一侧安装有导热管道(18)，所述导热管道(18)一端接入制冷器(17)，且导热管道(18)另一端接入蒸发台(1)外部，所述导热管道(18)与蒸发台(1)连接处安装有内密封圈(19)。
4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，其特征在于：所述蒸发台(1)上端一侧设置有真空接口(10)，所述真空接口(10)与蒸发台(1)连接处安装有外密封圈(9)。
5.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，其特征在于：所述真空腔(8)远离铰链座(2)一侧安装有框架(12)，所述框架(12)上安装有加速模块(11)。
6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用shutter板防污染装置，其特征在于：所述安装板(5)下端一侧安装有防护挡板(7)。
