弹性波装置的制作方法

专利2026-09-06  1


本发明涉及弹性波装置。


背景技术:

1、以往,弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一例。在该弹性波装置中,在压电基板上设置有idt电极(interdigitaltransducer,叉指换能器)。idt电极具有交叉区域。在交叉区域中,在弹性波传播方向上电极指彼此相互重叠。交叉区域具有中央区域以及1对边缘区域。在该弹性波装置中,为了抑制横模,使边缘区域中的声速比中央区域中的声速低。作为使该声速的关系成立的结构的例子,列举了在边缘区域设置声速降低膜的结构、在边缘区域中使电极指的宽度变宽的结构。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:国际公开第2021/060150号


技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1记载的那样的弹性波装置中,为了充分抑制横模,需要中央区域以及边缘区域的声速比成为恰当的值。然而,实际上,在制造弹性波装置时,idt电极的宽度、占空比有时偏离目标值。在该情况下,中央区域以及边缘区域的声速比不会成为恰当的范围内的值,不能充分抑制横模。

3、本发明的目的在于,提供一种能够稳定地抑制横模的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备:压电性基板;和idt电极,设置在所述压电性基板上,所述idt电极具有相互对置的1对汇流条和一端与所述1对汇流条之中的任一者连接的多个电极指,所述多个电极指之中的与一个所述汇流条连接的多个电极指和与另一个所述汇流条连接的多个电极指彼此相互交错对插,在将所述多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时,所述idt电极中的、相邻的所述电极指彼此在与所述电极指延伸方向正交的方向上相互重叠的区域为交叉区域,所述交叉区域具有在所述电极指延伸方向上位于中央的中央区域、和在所述电极指延伸方向上夹着所述中央区域的1对边缘区域,所述多个电极指分别在所述1对边缘区域中包含所述电极指的宽度比所述中央区域中的该电极指的宽度宽的宽幅部,在所述1对边缘区域中,在所述多个电极指上设置有质量附加膜,在将所述idt电极的所述中央区域中的占空比设为dc、将所述1对边缘区域中的占空比设为dl时,dc<dl≤(0.9524×dc+0.0401)<0.62。

6、发明效果

7、根据本发明涉及的弹性波装置,能够稳定地抑制横模。



技术特征:

1.一种弹性波装置,具备:

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

3.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,

4.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置,其中,

6.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

7.根据权利要求1~6中任一项所述的弹性波装置,其中,

8.根据权利要求7所述的弹性波装置,其中,


技术总结
提供一种能够稳定地抑制横模的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3),IDT电极(3)具有相互对置的1对汇流条和一端与1对汇流条之中的任一者连接的多个电极指,多个电极指之中的与一个汇流条连接的多个电极指和与另一个汇流条连接的多个电极指彼此相互交错对插,在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时,IDT电极(3)中的、相邻的电极指彼此在与电极指延伸方向正交的方向上相互重叠的区域为交叉区域(X),交叉区域(X)具有在电极指延伸方向上位于中央的中央区域(C)、和在电极指延伸方向上夹着中央区域(C)的1对边缘区域(第1边缘区域(Ea)、第2边缘区域(Eb)),多个电极指分别在1对边缘区域中包含电极指的宽度比中央区域(C)中的该电极指的宽度宽的宽幅部,在1对边缘区域中,在多个电极指上设置有质量附加膜(9),在将IDT电极(3)的中央区域(C)中的占空比设为D<subgt;C</subgt;、将1对边缘区域中的占空比设为D<subgt;L</subgt;时,D<subgt;C</subgt;<D<subgt;L</subgt;≤(0.9524×D<subgt;C</subgt;+0.0401)<0.62。

技术研发人员:横山仁
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:
技术公布日:2024/12/17
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