本发明涉及平面度检测领域，具体为一种晶圆磨削后的平面度检测装置。
背景技术：
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
2、平面度是晶圆的一个关键参数，直接影响到晶圆的质量，若晶圆平面度不足或表面存在缺陷，将导致蚀刻、封装等制造过程中出现下次产品，进而影响晶圆制成芯片的后续应用，现有中国公开专利文献：cn217058784u公开了一种玻璃晶圆平面度检测装置，通过放置槽使得玻璃晶圆能够更加稳定的放置，在检测过程中不会进行移动，使得检测结果更加可信真实，限位块的设置保证了检测探头与待检测的玻璃晶圆之间保持有安全的距离，而橡胶垫的设置可以进行缓冲保护玻璃晶圆不会受到伤害，但是晶圆在检测完成后，由于晶圆属于硬脆材料，若在取料时，晶圆的侧面与放置座之间出现挤压，易造成晶圆出现崩边的情况。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种晶圆磨削后的平面度检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
3、一种晶圆磨削后的平面度检测装置，包括：装置底座与固定安装于所述装置底座顶部的移动台，所述移动台的移动端固定安装有底架，所述底架的顶部固定安装有放置座，所述装置底座的顶部固定安装有安装架，所述安装架的外侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定安装有检测探头；还包括：定料机构，用于对所述放置座上的晶圆定位吸附，所述定料机构安装于所述放置座的内侧；抬料机构，用于将所述放置座上的晶圆抬起取料，所述抬料机构安装于所述放置座的内侧；护料机构，用于为所述放置座上的晶圆提供取料防护，所述护料机构安装于所述放置座的顶部。
4、优选的，所述定料机构包括滑动安装于所述放置座内侧的滑台，所述滑台的外侧设置有凸环，所述凸环与所述放置座的内侧相接触，所述放置座为空心结构，所述放置座的内侧固定安装有定位盘，所述定位盘的底部与所述放置座的底部之间转动安装有螺杆，所述滑台的底部固定安装有四个呈中心对称分布的推杆，所述推杆滑动贯穿所述定位盘，四个所述推杆的底端之间固定安装有与所述螺杆相配合的移动块，使螺杆转动时，能够通过移动块与推杆带动滑台沿着放置座的内侧上下移动，所述安装架的内侧固定安装有电机，所述电机的输出端与所述螺杆的底端固定连接，电机能够带动螺杆转动，所述滑台的内侧固定安装有四个呈中心对称分布的吸气管，所述吸气管的外侧滑动安装有延伸至所述滑台下方的套筒，所述定位盘的底部固定安装有电动气泵，所述电动气泵通过连接管与四个所述套筒对接，使电动气泵通过套筒与吸气管对滑台上的晶圆吸附固定，所述套筒的内侧还设置有用于关闭所述吸气管的密封组件。
5、优选的，所述抬料机构包括滑动安装于所述滑台内侧的顶杆，所述顶杆的顶部固定安装有顶板，所述滑台的顶部设置有橡胶板，所述橡胶板的表面开设有与四个所述吸气管相对应的吸气孔，使吸气管能够将晶圆吸附在橡胶板上，所述橡胶板的底部固定安装有四个呈中心对称分布的插杆，所述滑台顶部开设有供所述插杆限位插接的插槽，所述顶杆的外侧固定安装有滑环，所述滑环的顶部与所述滑台的内侧之间固定安装有弹簧一，便于滑环复位，所述滑台的内侧滑动安装有四个呈中心对称分布的推块，所述推块靠近所述顶杆的一侧固定安装有抵杆，所述抵杆的一端固定安装有三角块，所述顶杆的底端为圆弧形结构并与所述三角块的斜面相接触，使三角块能够在移动时，推动顶杆向上移动，使顶板推动橡胶板的底部，实现橡胶板的顶部凸起，所述放置座的内侧固定安装有四个分别位于四个所述推块正上方的抵块，所述抵块的底部为斜面结构，所述推块靠近所述抵块的一侧为弧形结构，使推块在与抵块的斜面相接触时，能够使推块沿着滑台的内侧移动。
6、优选的，所述护料机构包括四个呈中心对称转动安装于所述滑台凸环上的活动杆，所述放置座的顶部开设有供所述活动杆限位滑动的穿孔，所述活动杆的外侧设置有定位环，所述定位环固定安装于所述放置座的顶部内壁，所述定位环的内侧固定安装有两个呈中心对称分别的螺旋条，所述活动杆的外侧开设有与所述螺旋条相配合的螺旋槽，使活动杆在移动时，能够使螺旋槽沿着螺旋条的外侧移动，实现活动杆的自转，所述活动杆的顶部固定安装有位于所述滑台上方的挡板，所述挡板的外侧设置有橡胶护条，所述橡胶护条呈弧形结构，减少与晶圆的接触面，所述放置座的顶部开设有供所述挡板收入的收纳槽，所述橡胶护条靠近所述活动杆的一侧固定安装有拉板，所述拉板的底部与所述挡板的顶部相接触，所述挡板的顶部开设有供所述拉板限位插接的u形卡槽，便于安装拉板。
7、优选的，所述密封组件包括设置于所述套筒底部的圆形块，所述圆形块通过四个凸块与所述套筒的内侧对接，所述圆形块的顶部固定安装有延伸至所述吸气管内侧的支杆，所述支杆的顶端固定安装有密封球，所述支杆的外侧设置有密封环，所述密封环固定安装于所述吸气管的内侧，所述密封环的顶部开设有供所述密封球限位插接的球形槽，密封球在插入球形槽内时，能够对密封环进行密封，所述密封环的内径大于所述支杆的外径，使密封球远离密封环时，能够使电动气泵通过套筒与吸气管对晶圆进行吸附。
8、优选的，所述圆形块的外径与所述套筒的内径相对应，所述圆形块的外侧为橡胶材质，便于对密封环的底部密封。
9、优选的，所述定位盘的顶部与所述放置座的顶部内壁之间固定安装有多个呈中心对称滑动贯穿所述滑台凸环的导向杆，提高滑台移动的平稳性。
10、优选的，所述插杆为橡胶材质，所述插杆的底端开设有柱形凸块，便于安装与固定橡胶板。
11、优选的，所述抵杆的外侧滑动安装有定位板，所述定位板与所述推块之间固定安装有弹簧二，便于推块复位。
12、优选的，所述顶板的顶部为圆弧形结构，所述橡胶板的底部与所述顶板的顶部固定连接，便于推动橡胶板的顶部凸起。
13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
14、本发明通过定料机构，采用抽气吸附的方式，能够对放置座上的晶圆固定在放置座上，便于移动台带动底架上的放置座在检测探头的下方作水平移动，提高晶圆检测的精确性，并在检测完成后，推动晶圆向上移动，便于取料，解决晶圆的侧边出现碰撞的问题，从而达到了提高检测精确性与便于取料的效果。
15、本发明通过抬料机构，吸气管能够将晶圆吸附在橡胶板上，提高对晶圆固定的稳定性，并能够在滑台向上复位时，使顶板推动橡胶板的底部，使橡胶板的顶部凸起，便于晶圆与吸气管的端部分离，利用橡胶板与晶圆之间的距离差，使工作人员能够对拿起晶圆并对晶圆翻面，便于对晶圆连续检测，从而达到了提高晶圆检测效率的效果。
16、本发明通过护料机构，能够在圆台向上复位时，使四个橡胶护条向晶圆的外侧方向靠拢，为晶圆的侧边提供防护，防止晶圆从滑台上掉落，并且，工作人员能够通过对称的两个橡胶护条将晶圆拿起，从而达到了安全取料的效果。
1.一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于，包括：装置底座（1）与固定安装于所述装置底座（1）顶部的移动台（2），所述移动台（2）的移动端固定安装有底架（3），所述底架（3）的顶部固定安装有放置座（4），所述装置底座（1）的顶部固定安装有安装架（5），所述安装架（5）的外侧固定安装有电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的输出端固定安装有检测探头（7）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述定料机构包括滑动安装于所述放置座（4）内侧的滑台（8），所述滑台（8）的外侧设置有凸环，所述凸环与所述放置座（4）的内侧相接触，所述放置座（4）为空心结构，所述放置座（4）的内侧固定安装有定位盘（9），所述定位盘（9）的底部与所述放置座（4）的底部之间转动安装有螺杆（10），所述滑台（8）的底部固定安装有四个呈中心对称分布的推杆（11），所述推杆（11）滑动贯穿所述定位盘（9），四个所述推杆（11）的底端之间固定安装有与所述螺杆（10）相配合的移动块（12），所述安装架（5）的内侧固定安装有电机（31），所述电机（31）的输出端与所述螺杆（10）的底端固定连接，所述滑台（8）的内侧固定安装有四个呈中心对称分布的吸气管（39），所述吸气管（39）的外侧滑动安装有延伸至所述滑台（8）下方的套筒（13），所述定位盘（9）的底部固定安装有电动气泵（14），所述电动气泵（14）通过连接管与四个所述套筒（13）对接，所述套筒（13）的内侧还设置有用于关闭所述吸气管（39）的密封组件。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述抬料机构包括滑动安装于所述滑台（8）内侧的顶杆（15），所述顶杆（15）的顶部固定安装有顶板（16），所述滑台（8）的顶部设置有橡胶板（17），所述橡胶板（17）的表面开设有与四个所述吸气管（39）相对应的吸气孔，所述橡胶板（17）的底部固定安装有四个呈中心对称分布的插杆（18），所述滑台（8）顶部开设有供所述插杆（18）限位插接的插槽，所述顶杆（15）的外侧固定安装有滑环（19），所述滑环（19）的顶部与所述滑台（8）的内侧之间固定安装有弹簧一（20），所述滑台（8）的内侧滑动安装有四个呈中心对称分布的推块（21），所述推块（21）靠近所述顶杆（15）的一侧固定安装有抵杆（22），所述抵杆（22）的一端固定安装有三角块（23），所述顶杆（15）的底端为圆弧形结构并与所述三角块（23）的斜面相接触，所述放置座（4）的内侧固定安装有四个分别位于四个所述推块（21）正上方的抵块（24），所述抵块（24）的底部为斜面结构，所述推块（21）靠近所述抵块（24）的一侧为弧形结构。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述护料机构包括四个呈中心对称转动安装于所述滑台（8）凸环上的活动杆（25），所述放置座（4）的顶部开设有供所述活动杆（25）限位滑动的穿孔，所述活动杆（25）的外侧设置有定位环（26），所述定位环（26）固定安装于所述放置座（4）的顶部内壁，所述定位环（26）的内侧固定安装有两个呈中心对称分别的螺旋条（27），所述活动杆（25）的外侧开设有与所述螺旋条（27）相配合的螺旋槽，所述活动杆（25）的顶部固定安装有位于所述滑台（8）上方的挡板（28），所述挡板（28）的外侧设置有橡胶护条（29），所述橡胶护条（29）呈弧形结构，所述放置座（4）的顶部开设有供所述挡板（28）收入的收纳槽，所述橡胶护条（29）靠近所述活动杆（25）的一侧固定安装有拉板（30），所述拉板（30）的底部与所述挡板（28）的顶部相接触，所述挡板（28）的顶部开设有供所述拉板（30）限位插接的u形卡槽。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述密封组件包括设置于所述套筒（13）底部的圆形块（32），所述圆形块（32）通过四个凸块与所述套筒（13）的内侧对接，所述圆形块（32）的顶部固定安装有延伸至所述吸气管（39）内侧的支杆（33），所述支杆（33）的顶端固定安装有密封球（34），所述支杆（33）的外侧设置有密封环（35），所述密封环（35）固定安装于所述吸气管（39）的内侧，所述密封环（35）的顶部开设有供所述密封球（34）限位插接的球形槽，所述密封环（35）的内径大于所述支杆（33）的外径。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述圆形块（32）的外径与所述套筒（13）的内径相对应，所述圆形块（32）的外侧为橡胶材质。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述定位盘（9）的顶部与所述放置座（4）的顶部内壁之间固定安装有多个呈中心对称滑动贯穿所述滑台（8）凸环的导向杆（36）。
8.根据权利要求3所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述插杆（18）为橡胶材质，所述插杆（18）的底端开设有柱形凸块。
9.根据权利要求3所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述抵杆（22）的外侧滑动安装有定位板（37），所述定位板（37）与所述推块（21）之间固定安装有弹簧二（38）。
10.根据权利要求3所述的一种晶圆磨削后的平面度检测装置，其特征在于：所述顶板（16）的顶部为圆弧形结构，所述橡胶板（17）的底部与所述顶板（16）的顶部固定连接。
