本技术涉及半导体制造，特别涉及一种加热器的监测装置。
背景技术：
1、在半导体制造过程中通常需要使用cvd(chemical vapor deposition，化学气相沉积)设备，如图1所示，cvd设备包括腔体1、加热器2(heater，加热器)、连接器3和导轨4；用于发生化学反应的气体从外部输入腔体1内；加热器2用于放置和加热晶圆，加热器2的上端设置在腔体1内；连接器3包括水平件31和竖直件32，水平件31和竖直件32之间通过螺丝连接，加热器2的下端与水平件31连接，竖直件32与导轨4内的套筒连接；导轨4内的丝杠可以驱动套筒上下移动，进而使加热器2上的晶圆在腔体1内上下移动，以调整晶圆的成膜厚度和成膜速度。
2、然而，如图2所示，目前的加热器2的状态没有被监测，当连接水平件31和竖直件32的螺丝松动时，导致加热器2倾斜，加热器2上的晶圆倾斜后，导致半导体的均匀性较差，甚至出现不良品。另外，如果套筒和丝杠磨损严重，将导致连接器3异常抖动，连接器3异常抖动导致加热器2和晶圆异常抖动，最终导致半导体的均匀性较差，甚至出现不良品。
技术实现思路
1、本实用新型提供了一种加热器的监测装置，以解决加热器的状态没有被监测的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种加热器的监测装置，所述加热器的上端设置在腔体内，所述加热器的下端设置在所述腔体外并且与水平件连接；所述装置包括水平度监测模块、可编程逻辑控制器和报警器，所述水平度监测模块和所述报警器分别与所述可编程逻辑控制器通信连接；所述水平度监测模块包括激光器和四象限光电池，所述激光器和所述四象限光电池相对设置，所述激光器发出的激光正对所述四象限光电池的中心。
3、可选的，所述激光器安装在所述腔体的下表面上，所述四象限光电池安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
4、可选的，所述激光器通过螺丝安装在所述腔体的下表面上。
5、可选的，所述四象限光电池通过螺丝安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
6、可选的，所述激光器安装在所述水平件上或所述加热器的下端上，所述四象限光电池安装在所述腔体的下表面上。
7、可选的，所述激光器通过螺丝安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
8、可选的，所述四象限光电池通过螺丝安装在所述腔体的下表面上。
9、可选的，所述装置还包括振动传感器，所述振动传感器与所述可编程逻辑控制器通信连接；所述振动传感器安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
10、可选的，所述装置还包括显示屏，所述显示屏与所述可编程逻辑控制器通信连接。
11、本实施例还提供了另一种加热器的监测装置，所述加热器的上端设置在腔体内，所述加热器的下端设置在所述腔体外并且与水平件连接；所述装置包括水平度监测模块、可编程逻辑控制器和报警器，所述水平度监测模块和所述报警器分别与所述可编程逻辑控制器通信连接；所述水平度监测模块包括倾角传感器；所述倾角传感器安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
12、本实用新型提供了一种加热器的监测装置，包括水平度监测模块、可编程逻辑控制器和报警器，通过水平度监测模块可以实时获取加热器的水平程度信号，水平度监测模块将监测到的水平程度信号发送给可编程逻辑控制器，可编程逻辑控制器将接收到的水平程度信号和预先存储的水平程度数值范围进行对比，如果接收到的水平程度信号在预先存储的水平程度数值范围内，则判定加热器的水平程度在范围内，此时不启动报警器；如果接收到的水平程度信号不在预先存储的水平程度数值范围内，则判定加热器的水平程度超范围，此时启动报警器，从而提醒作业人员及时调整加热器的水平程度。本装置具有意想不到的效果是可以实时监测加热器的水平程度，避免因加热器倾斜而导致半导体的均匀性较差或出现不良品。
1.一种加热器的监测装置，所述加热器的上端设置在腔体内，所述加热器的下端设置在所述腔体外并且与水平件连接；其特征在于，所述装置包括水平度监测模块、可编程逻辑控制器和报警器，所述水平度监测模块和所述报警器分别与所述可编程逻辑控制器通信连接；所述水平度监测模块包括激光器和四象限光电池，所述激光器和所述四象限光电池相对设置，所述激光器发出的激光正对所述四象限光电池的中心。
2.如权利要求1所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述激光器安装在所述腔体的下表面上，所述四象限光电池安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
3.如权利要求2所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述激光器通过螺丝安装在所述腔体的下表面上。
4.如权利要求2所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述四象限光电池通过螺丝安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
5.如权利要求1所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述激光器安装在所述水平件上或所述加热器的下端上，所述四象限光电池安装在所述腔体的下表面上。
6.如权利要求5所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述激光器通过螺丝安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
7.如权利要求5所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述四象限光电池通过螺丝安装在所述腔体的下表面上。
8.如权利要求1所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述装置还包括振动传感器，所述振动传感器与所述可编程逻辑控制器通信连接；所述振动传感器安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
9.如权利要求1所述的一种加热器的监测装置，其特征在于，所述装置还包括显示屏，所述显示屏与所述可编程逻辑控制器通信连接。
10.一种加热器的监测装置，所述加热器的上端设置在腔体内，所述加热器的下端设置在所述腔体外并且与水平件连接；其特征在于，所述装置包括水平度监测模块、可编程逻辑控制器和报警器，所述水平度监测模块和所述报警器分别与所述可编程逻辑控制器通信连接；所述水平度监测模块包括倾角传感器；所述倾角传感器安装在所述水平件上或所述加热器的下端上。
