本实用新型涉及一种旋转固持装置，特别是涉及一种用于固持基板并将基板旋转的基板旋转固持装置。
背景技术：
一般在半导体制程中，有些步骤需要旋转基板以将附着在基板上的液体通过离心力甩出基板，而使基板干燥。
现有用于旋转基板的旋转装置可依照转速高低的需求配合不同的固持基板的方式。通常转速较高的旋转装置会通过真空吸附的方式来固持基板。而转速较低的旋转装置，参阅图1，可通过多个分布在旋转座91上的支撑限位件92来共同支撑基板s并将基板s限位，使基板s在被旋转座91带动旋转的过程中不会离开旋转座91。另配合参阅图2，现有的支撑限位件92具有一圆柱状基座921及一自该基座921的顶面921a同轴凸出的圆柱状靠抵柱922，该基座921的顶面921a供基板s的背面靠抵，该靠抵柱922的侧面供基板s的周缘靠抵。由图1与图2可看出，基板s的背面靠抵于支撑限位件92的基座921的顶面921a是呈面接触，目前该基座921的顶面921a外周至该靠抵柱922外周之间在基座921直径方向上的距离d为2mm。由于基板s是由多个支撑限位件92共同支撑，当基板s自前一个工作站由机械手臂传送至旋转装置时，机械手臂必须将基板s放置于全部的支撑限位件92上，否则基板s会倾斜掉落而使传送失败，但是目前的传送容许误差仅有0.5mm，容易传送失败。
以现有的支撑限位件92结构而言，若要增加传送容许误差，则需增加该基座921的顶面921a外周至该靠抵柱922外周之间在基座921直径方向上的距离d。然而，如此会导致基板s背面靠抵于基座921的顶面921a的接触面积增加，而使基板s背面与基座921的顶面921a的接触区域更不易干燥。
技术实现要素：
本实用新型的一目的，在于提供一种可使基板接触区域容易干燥且能增加传送容许误差的基板旋转固持装置。
本实用新型的基板旋转固持装置在一些实施态样中，是适用于固持基板并带动该基板旋转，该基板旋转固持装置包含旋转机构及多个支撑单元。该旋转机构包括旋转座，该旋转座具有承载面。所述支撑单元布设于该承载面，用以共同支撑并固持该基板。每一支撑单元包括座体、安装部、支撑部，及两个限位部。该座体具有位于相反两侧的底面及顶面，该安装部自该底面延伸并连接该旋转座，该支撑部及所述限位部设于该顶面，该支撑部具有用以供该基板的背面靠抵的接触弧面，所述限位部彼此相间隔且相较于该支撑部远离该承载面的中心以供该基板的周缘靠抵。
在一些实施态样中，每一限位部呈圆柱状凸出于该顶面。
在一些实施态样中，该座体具有连接该安装部的主段及自该主段沿平行该承载面方向延伸的延伸段，该主段及该延伸段的底面共同形成该座体的底面，该主段及该延伸段的顶面共同形成该座体的顶面，该支撑部设于该主段且所述限位部设于该延伸段靠近末端处，该延伸段可操作地以该安装部为轴摆动一定角度，借此调整所述限位部相对于该基板周缘的位置。
在一些实施态样中，该支撑部相较于该座体的转动轴心靠近该承载面的中心。
在一些实施态样中，该主段呈圆柱状且该延伸段自该主段至末端渐缩，而使该座体呈水滴状。
在一些实施态样中，所述限位部可拆地设于该座体。
在一些实施态样中，该支撑部可拆地设于该座体。
在一些实施态样中，该支撑部呈中央隆起的弧面块状凸出于该座体的顶面。
本实用新型具有以下功效：通过每一支撑单元的支撑部具有接触弧面，能够减少与该基板的背面的接触面积，且通过两个限位部彼此相间隔地共同供该基板的周缘靠抵，也能减少每一限位部与该基板的周缘的接触面积，并在所述限位部之间形成间隙以供空气流通，而使该基板的背面及周缘与该支撑单元的接触区域都更容易干燥。而且通过每一支撑单元的限位部与支撑部的配置，能扩张所述支撑单元之间可供放置该基板的范围，如此可增加传送该基板时的容许误差。
附图说明
本实用新型的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
图1是说明现有技术的旋转装置的俯视示意图；
图2是说明该旋转装置的支撑限位件与基板的作用关系的不完整的侧视示意图；
图3是本实用新型基板旋转固持装置的第一实施例的立体图；
图4是该第一实施例的支撑单元的立体图；
图5是该第一实施例的支撑单元在未将基板限位时的俯视图；
图6是该第一实施例的支撑单元在将该基板限位时的俯视图；及
图7是本实用新型基板旋转固持装置的第二实施例的俯视图。
具体实施方式
在本实用新型被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
参阅图3与图4，本实用新型基板旋转固持装置100的第一实施例适用于固持一基板s并带动该基板s旋转，该基板旋转固持装置100包含一旋转机构1及多个支撑单元2。
该旋转机构1包括一旋转座11，该旋转座11具有一承载面111。该旋转机构1的具体实施方式可采用现有技术，故不再详细说明。
所述支撑单元2布设于该承载面111，用以共同支撑并固持该基板s。每一支撑单元2包括一座体21、一安装部22、一支撑部23，及两个限位部24。该座体21具有位于相反两侧的一底面211及一顶面212。该安装部22自该底面211延伸并连接该旋转座11。该支撑部23及所述限位部24设于该顶面212，该支撑部23具有一用以供该基板s的背面靠抵的接触弧面231，所述限位部24彼此相间隔且相较于该支撑部23远离该承载面111的中心c以供该基板s的周缘靠抵。
在本实施例中，该座体21具有一连接该安装部22的主段213及一自该主段213沿平行该承载面111方向延伸的延伸段214。该主段213及该延伸段214的底面共同形成该座体21的底面211，该主段213及该延伸段214的顶面共同形成该座体21的顶面212。具体而言，该主段213呈圆柱状且该延伸段214自该主段213至末端渐缩，而使该座体21呈水滴状。该支撑部23设于该主段213且呈中央隆起的弧面块状凸出于该顶面212。所述限位部24设于该延伸段214靠近末端处，每一限位部24呈圆柱状凸出于该顶面212。另配合参阅图5与图6，该安装部22固定于该旋转座11，该座体21可转动地与该安装部22连接，使该延伸段214可操作地以该安装部22为轴摆动一定角度，借此调整所述限位部24相对于该基板s周缘的位置。如图5所示，在该基板s被置入该旋转座11前，每一座体21的延伸段214较偏靠该旋转座11的外侧，而使所述限位部24与该承载面111的中心c的距离较远，即能扩张可供放置该基板s的范围，如此可增加传送该基板s时的容许误差。在本实施例中，传送容许误差可大于2mm。如图6所示，当该基板s被放置于所述支撑单元2后，再使每一座体21的延伸段214往该承载面111的中心c方向摆动，以使所述限位部24靠抵于该基板s的周缘，而能更稳固地固持该基板s。而且，在本实施例中，每一支撑单元2的支撑部23相较于该座体21的转动轴心a靠近该承载面111的中心c，借此可确保在该座体21转动时该基板s仍位于该支撑部23上方，而能被该支撑部23支撑。
在本实施例中，每一支撑部23的接触弧面231与该基板s接触的接触面积的直径约为0.5mm，能大幅减少与该基板s的接触面积，而使该基板s的背面与所述支撑部23接触的区域容易干燥。
在本实施例中，每一支撑单元2通过两个限位部24共同靠抵于该基板s的周缘，能够共同分担该基板s在旋转过程中施加在所述限位部24的力量，而能减少每一限位部24的受力。因为每一限位部24可受较小的力，所以相较于现有技术的单一靠抵柱922(见图1)而言，该限位部24的直径可以较为缩小，即能具备足以承受该基板s的施力所需的结构强度。由于所述限位部24的直径较小也能减少与该基板s周缘的接触面积，而且所述限位部24彼此相间隔，而使所述限位部24之间有间隙以利于空气流通，进而使该基板s的背面及周缘与该支撑单元2的接触区域都更容易干燥。
此外，在本实施例中，所述限位部24及该支撑部23可拆地设于该座体21，借此，当所述限位部24及该支撑部23磨耗或损坏时可更换新品，以节省材料成本。当然，在变化的实施例，所述限位部24及该支撑部23与该座体21一体成形也可实施。
参阅图7，本实用新型基板旋转固持装置100的第二实施例与该第一实施例的差异在于，每一支撑单元2的座体21呈圆柱状且不能转动，但是同样具有与第一实施例相同的功效，也就是说同样能增加传送该基板s时的容许误差，且能使该基板s的背面及周缘与该支撑单元2的接触区域都更容易干燥。在第二实施例的每一支撑单元2中，所述限位部24相较于现有技术的单一靠抵柱922(见图1)而言，由于单一靠抵柱922需要较大的直径才能有足够的支撑强度，而所述限位部24间隔设置能够平均分摊受力，所以可以有较小的直径，如此能使所述限位部24与该承载面111的中心c的距离较远，即能扩张可供放置该基板s的范围，从而增加传送该基板s时的容许误差。在本实施例中，传送容许误差同样可大于2mm。
以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。
1.一种基板旋转固持装置，适用于固持基板并带动该基板旋转，其特征在于：该基板旋转固持装置包含：
旋转机构，包括旋转座，该旋转座具有承载面；及
多个支撑单元，布设于该承载面，用以共同支撑并固持该基板，每一支撑单元包括座体、安装部、支撑部，及两个限位部，该座体具有位于相反两侧的底面及顶面，该安装部自该底面延伸并连接该旋转座，该支撑部及所述限位部设于该顶面，该支撑部具有用以供该基板的背面靠抵的接触弧面，所述限位部彼此相间隔且相较于该支撑部远离该承载面的中心以供该基板的周缘靠抵。
2.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：每一限位部呈圆柱状凸出于该顶面。
3.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：该座体具有连接该安装部的主段及自该主段沿平行该承载面方向延伸的延伸段，该主段及该延伸段的底面共同形成该座体的底面，该主段及该延伸段的顶面共同形成该座体的顶面，该支撑部设于该主段且所述限位部设于该延伸段靠近末端处，该延伸段可操作地以该安装部为轴摆动一定角度，借此调整所述限位部相对于该基板周缘的位置。
4.根据权利要求3所述基板旋转固持装置，其特征在于：该支撑部相较于该座体的转动轴心靠近该承载面的中心。
5.根据权利要求3所述基板旋转固持装置，其特征在于：该主段呈圆柱状且该延伸段自该主段至末端渐缩，而使该座体呈水滴状。
6.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：所述限位部可拆地设于该座体。
7.根据权利要求1或6所述基板旋转固持装置，其特征在于：该支撑部可拆地设于该座体。
8.根据权利要求1所述基板旋转固持装置，其特征在于：该支撑部呈中央隆起的弧面块状凸出于该座体的顶面。
技术总结