本实用新型涉及一种水平装置，尤其涉及一种适用于曝光设备的水平装置。
背景技术：
在晶圆的曝光制程中，光掩模与晶圆之间的平行度非常重要，其直接影响晶圆的制程良率。在一般的曝光设备中，用以承载晶圆的载台以球接的方式与其下方的底座相连接，当晶圆与光掩模接触时，载台与底座之间的相互球接的凹球面及凸球面以真空吸附的方式相互固定，以维持晶圆与光掩模之间的水平度。然而，真空吸附较不稳定，且若有异物进入凹球面及凸球面之间将使真空度不足而影响晶圆与光掩模之间的水平度。
技术实现要素：
本实用新型提供一种水平装置，可使晶圆与光掩模之间有良好的水平度。
本实用新型的水平装置适用于曝光设备，曝光设备包括光掩模。水平装置包括底座、多个导柱、载台、驱动单元及定位模块。各导柱可升降地设置于底座上。载台配置于这些导柱上方且适于承载晶圆。各导柱的顶端可动地支撑载台，以使载台通过这些导柱而万向地连接于底座。驱动单元适于驱动底座上升，以使载台上的晶圆往上接触光掩模。定位模块配置于底座且适于在载台上的晶圆接触光掩模之后定位载台。
在本实用新型的实施例中，上述的各导柱的顶端具有滚珠并通过滚珠而可动地支撑载台。
在本实用新型的实施例中，上述的载台具有多个延伸部，这些延伸部分别可动地连接于这些导柱，定位模块包括多个定位机构，这些定位机构适于分别定位这些延伸部以定位载台。
在本实用新型的实施例中，上述的水平装置包括感测模块，其中感测模块配置于底座上且适于感测载台上的晶圆与光掩模的接触状态。
在本实用新型的实施例中，上述的定位模块依据感测模块所感测的接触状态而定位载台。
在本实用新型的实施例中，上述的感测模块包括多个汽缸，各汽缸连接于底座与载台之间，感测模块依据各汽缸的压缩量而感测接触状态。
在本实用新型的实施例中，上述的驱动单元为步进马达且连接于底座的底端。
基于上述，在本实用新型的水平装置中，载台通过多个导柱而万向地连接于底座，使载台上的晶圆可通过载台相对于底座的万向移动而完整地接触光掩模。并且，水平装置在其底座上设有定位模块，以在载台上的晶圆接触光掩模之后利用定位模块定位载台，以确实地维持晶圆与光掩模之间的水平度。
为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
附图说明
图1是本实用新型一实施例的水平装置的侧视图；
图2是图1的水平装置的部分构件俯视图。
具体实施方式
图1是本实用新型一实施例的水平装置的侧视图。图2是图1的水平装置的部分构件俯视图。图1的剖面对应于图2的i-i线。为使附图较为清楚，图2未示出图1的承载部132、晶圆60及光掩模50。请参考图1及图2，本实施例的水平装置100适用于曝光设备，所述曝光设备包括光掩模50。水平装置100包括底座110、多个导柱120(示出为三个)、载台130、驱动单元140及定位模块150。三个导柱120及其所对应的构件的设置与作用方式可为相同，图1主要示出其中一个导柱120及其所对应的构件的完整结构以利说明。
各导柱120可升降地设置于底座110上。载台130配置于这些导柱120上方且适于承载晶圆60。各导柱120的顶端可动地支撑载台130，以使载台130通过这些导柱120而万向地连接于底座110。驱动单元140例如是步进马达且连接于底座110的底端而适于驱动底座110上升，以使载台130上的晶圆60往上接触光掩模50(如图1所示状态)。定位模块150配置于底座110且适于在载台130上的晶圆60接触光掩模50之后定位载台130。
如上所述，在本实施例的水平装置100中，载台130通过多个导柱120而万向地连接于底座110，使载台130上的晶圆60可通过载台130相对于底座110的万向移动而完整地接触光掩模50。并且，水平装置100在其底座110上设有定位模块150，以在载台130上的晶圆60接触光掩模50之后利用定位模块150定位载台130，以确实地维持晶圆60与光掩模50之间的水平度。
详细而言，本实施例的载台130包括承载部132、多个延伸部134(示出为三个)及底板136。承载部132用以承载晶圆60，这些延伸部134从承载部132的底端延伸出且连接于底板136，这些导柱120沿着上下方向可滑动地设置于底座110且分别对应于这些延伸部134。各导柱120的顶端具有滚珠122并通过滚珠122而可动地连接对应的延伸部134。在晶圆60接触光掩模50的过程中，各导柱120受力而随之相对于底座110上下滑动，且载台130随之万向地相对于底座110移动而使晶圆60能够确实地紧靠于光掩模50。
需说明的是，各导柱120与底座110之间例如连接有弹性件124(如弹簧)，以使各导柱120的顶端的滚珠122通过对应的弹性件124的弹性力而保持为顶靠于对应的延伸部134的状态。图1的弹性件124仅为示意，弹性件124实际上可通过其他适当方式连接于底座110与导柱120之间且可为其他适当形式的弹性件，本实用新型不对此加以限制。
在本实施例中，定位模块150包括多个定位机构152(图2示出为三个)，为使附图较为清楚，图1仅示出其中一个定位机构152。这些定位机构152适于分别定位这些延伸部134以定位载台130。本实施例的各定位机构152通过穿过底板136的连接件154而连接于底座110。在其他实施例中，定位机构152可设置于其他位置并通过其他适当方式而固定于底座110，本实用新型不对此加以限制。此外，图1及图2的定位机构152仅为示意，其可通过紧抵、夹持、卡合等方式而定位载台130的延伸部134，本实用新型不对此加以限制。
本实施例的水平装置100还包括感测模块160，感测模块160配置于底座110上且适于感测载台130上的晶圆60与光掩模50的接触状态，且定位模块150依据感测模块160所感测的所述接触状态而定位载台130。具体而言，感测模块160可包括多个汽缸162(图1示出一个)，各汽缸162连接于底座110与载台130的底板136之间，感测模块160可依据各汽缸162的压缩量而判断晶圆60与光掩模50是否已确实相互紧抵，即感测晶圆60与光掩模50的所述接触状态。在其他实施例中，感测模块160可为其他适当形式，本实用新型不对此加以限制。
综上所述，在本实用新型的水平装置中，载台通过多个导柱而万向地连接于底座，使载台上的晶圆可通过载台相对于底座的万向移动而完整地接触光掩模。并且，水平装置在其底座上设有定位模块，以在载台上的晶圆接触光掩模之后利用定位模块定位载台，以确实地维持晶圆与光掩模之间的水平度。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
1.一种水平装置，适用于曝光设备，所述曝光设备包括光掩模，其特征在于，包括：
底座；
多个导柱，各所述导柱可升降地设置于所述底座上；
载台，配置于所述多个导柱上方且适于承载晶圆，其中各所述导柱的顶端可动地支撑所述载台，以使所述载台通过所述多个导柱而万向地连接于所述底座；
驱动单元，适于驱动所述底座上升，以使所述载台上的所述晶圆往上接触所述光掩模；以及
定位模块，配置于所述底座且适于在所述载台上的所述晶圆接触所述光掩模之后定位所述载台。
2.根据权利要求1所述的水平装置，其特征在于，各所述导柱的所述顶端具有滚珠并通过所述滚珠而可动地支撑所述载台。
3.根据权利要求1所述的水平装置，其特征在于，所述载台具有多个延伸部，所述多个延伸部分别可动地连接于所述多个导柱，所述定位模块包括多个定位机构，所述多个定位机构适于分别定位所述多个延伸部以定位所述载台。
4.根据权利要求1所述的水平装置，其特征在于，包括感测模块，其中所述感测模块配置于所述底座上且适于感测所述载台上的所述晶圆与所述光掩模的接触状态。
5.根据权利要求4所述的水平装置，其特征在于，所述定位模块依据所述感测模块所感测的所述接触状态而定位所述载台。
6.根据权利要求4所述的水平装置，其特征在于，所述感测模块包括多个汽缸，各所述汽缸连接于所述底座与所述载台之间，所述感测模块依据各所述汽缸的压缩量而感测所述接触状态。
7.根据权利要求1所述的水平装置，其特征在于，所述驱动单元为步进马达且连接于所述底座的底端。
技术总结