本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种半导体显影设备的传输装置。
背景技术：
显影设备是将光刻后曝光好的产品通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备。一般由传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统、程序控制系统等部分组成。在集成电路、光电行业、半导体等领域被广泛应用。显影设备在使用时，产品需要通过传输装置输送至显影设备，现有的传输装置通常采用输送带，产品放置于输送带后进行传输。但是，此种方式传输的效率较低。
技术实现要素：
本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种能够提升输送效率，使用灵活性更好的半导体显影设备的传输装置。
具体技术方案如下：一种半导体显影设备的传输装置，包括容纳盒，所述容纳盒包括上盖，底座，支架和支撑板，上盖和底座之间设有多个容纳腔，相邻容纳腔之间通过支撑板间隔，所述支撑板两侧设置支架，多个支架沿竖直方向设置，支架、底座、上盖和支撑板均设有通孔，螺钉穿设在通孔中并通过螺母锁紧，所述支撑板包括第一支撑臂和第二支撑臂，第一支撑臂和第二支撑臂对称设置且与支架连接。
作为优选方案，所述支撑板包括延伸部，延伸部位于第一支撑臂和第二支撑臂之间。
作为优选方案，所述底座包括侧板和连接板，侧板设置在连接板两侧，连接板两端与侧板连接。
作为优选方案，所述侧板具有插槽，所述连接板两端具有插头，插头与插槽连接。
作为优选方案，所述插槽与通孔连通，所述插头设有配接孔，配接孔与通孔对应设置。
本实用新型的技术效果：本实用新型的一种半导体显影设备的传输装置能够通过容纳盒容纳多件产品，可以同时输送大量产品，输送效率较高；此外，其组装和拆卸方式，方便能够根据产品进行尺寸调整。
附图说明
图1是本实用新型实施例的一种半导体显影设备的传输装置的示意图。
图2是本实用新型实施例的容纳盒的示意图。
图3是本实用新型实施例的支架和支撑板的示意图。
图4是本实用新型实施例的产品放置时的示意图。
图5是本实用新型实施例的底座的示意图。
具体实施方式
下面，结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明，但本实用新型并不局限于所列的实施例。
如图1至图5所示，本实施例的一种半导体显影设备的传输装置，包括容纳盒1，所述容纳盒1包括上盖2，底座3，支架4和支撑板5，上盖和底座之间设有多个容纳腔6，相邻容纳腔6之间通过支撑板5间隔，所述支撑板5两侧设置支架4，多个支架4沿竖直方向设置。支架4、底座3、上盖2和支撑板5均设有通孔7，螺钉穿设在通孔7中并通过螺母锁紧，所述支撑板5包括第一支撑臂51和第二支撑臂52，第一支撑臂51和第二支撑臂52对称设置且与支架4连接。上述技术方案中，容纳盒1可设置在输送带等输送装置上，通过设置多个容纳腔6，能够容纳一次容纳多个产品，从而使输送时能够提升输送效率。通过设置支架4和支撑板5，使得相邻支撑板5和两侧的支架4能够形成容纳腔6，产品放置在支撑板5上。通过设置通孔7，使得容纳盒1在组装时，通过螺钉能够自上而下贯穿容纳盒，将上盖，底座，支架和支撑板串联起来后通过螺母锁紧，方便组装和拆卸。通过对称设置的第一支撑臂51和第二支撑臂52，能够支撑产品10同时能够降低支撑板5的重量。通过上述技术方案，能够使传输装置一次输送多个产品，提升产品的传输效率；此外，容纳盒1方便组装和拆卸，能够根据不同产品定制容纳腔的尺寸，使用灵活性更好。
本实施例中，所述支撑板5包括延伸部53，延伸部53位于第一支撑臂51和第二支撑臂52之间。通过上述技术方案，能够在产品质量较大时，通过增加延伸部53，增加支撑点，从而提升支撑稳定性。
本实施例中，所述底座3包括侧板31和连接板32，侧板31设置在连接板32两侧，连接板32两端与侧板31连接，从而使底座3能够拆卸或组装。
本实施例中，所述侧板31具有插槽311，所述连接板32两端具有插头321，插头321与插槽311连接，从而通过插接的方式方便组装。
本实施例中，所述插槽311与通孔7连通，所述插头321设有配接孔322，配接孔322与通孔7对应设置。通过上述技术方案，使得插头321和插槽311插接时，能够使配接孔322与通孔7对应设置，螺钉能够穿过配接孔，使得连接板32和侧板31能够锁紧。
本实施例的一种半导体显影设备的传输装置能够通过容纳盒容纳多件产品，可以同时输送大量产品，输送效率较高；此外，其组装和拆卸方式，方便能够根据产品进行尺寸调整。
需要指出的是，上述较佳实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
1.一种半导体显影设备的传输装置，其特征在于，包括容纳盒，所述容纳盒包括上盖，底座，支架和支撑板，上盖和底座之间设有多个容纳腔，相邻容纳腔之间通过支撑板间隔，所述支撑板两侧设置支架，多个支架沿竖直方向设置，支架、底座、上盖和支撑板均设有通孔，螺钉穿设在通孔中并通过螺母锁紧，所述支撑板包括第一支撑臂和第二支撑臂，第一支撑臂和第二支撑臂对称设置且与支架连接。
2.根据权利要求1所述的半导体显影设备的传输装置，其特征在于，所述支撑板包括延伸部，延伸部位于第一支撑臂和第二支撑臂之间。
3.根据权利要求2所述的半导体显影设备的传输装置，其特征在于，所述底座包括侧板和连接板，侧板设置在连接板两侧，连接板两端与侧板连接。
4.根据权利要求3所述的半导体显影设备的传输装置，其特征在于，所述侧板具有插槽，所述连接板两端具有插头，插头与插槽连接。
5.根据权利要求4所述的半导体显影设备的传输装置，其特征在于，所述插槽与通孔连通，所述插头设有配接孔，配接孔与通孔对应设置。
技术总结