本实用新型涉及配件加工用技术领域，尤其涉及一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置。
背景技术：
物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方式有真空镀，真空溅射和离子镀三种。
现有的钛腔体模拟片配件由于面积太小，无法完全覆盖晶圆加热器，导致反应的附属物会沉积到晶圆加热器的表面，从而影响加热器的使用寿命，从而需要扩大模拟片配件的规格大小。
技术实现要素：
本实用新型提出的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，解决了钛腔体模拟片配件加工过程中快速生产的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，包括第一壳体，所述第一壳体的内部设有固定板，所述第一壳体的底部内壁上通过螺栓连接有电机，所述电机的输出端安装有转轴，所述转轴上通过螺栓连接有主动齿轮，所述主动齿轮的两侧设有从动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮之间啮合传动，所述从动齿轮的底部安装有蜗杆，两个所述蜗杆远离电机的一侧设有蜗轮，且蜗杆与蜗轮之间啮合传动，两个所述蜗轮远离蜗杆的一侧设有第一螺杆，所述第一螺杆上螺纹连接有活动环，两个所述活动环相互靠近一侧的外圈上铰接有第一撑杆，所述第一撑杆的顶端铰接有滑块，所述滑块的底部铰接有第二撑杆，所述第二撑杆的底端铰接有第二壳体，所述第二壳体的内部设有第二螺杆，所述第二螺杆上活动连接有刀具。
优选的，所述固定板的中部壳壁上开设有第一槽孔，所述转轴的顶端穿过第一槽孔，所述转轴的顶端安装有横板，所述横板上螺栓连接有两个l型板，所述横板上等距开设有两个凹槽组，每个所述凹槽组包括有五个凹槽，所述l型板通过螺栓连接于凹槽中。
优选的，两个所述蜗轮上通过螺栓连接有传动轴，两个所述传动轴的背面一端均转动连接于第一壳体的背面内壁上，两个所述第一螺杆的表面开设有齿痕，所述蜗轮与第一螺杆之间啮合传动，所述第一螺杆上套接有弹簧，所述弹簧的底端焊接于活动环上。
优选的，所述第一槽孔的两侧设有位于固定板上的第二槽孔，所述第一螺杆的顶端穿过第二槽孔，所述第一螺杆的两端通过螺栓连接有第一轴承，所述第一轴承靠近第一壳体顶部与底部壳壁的一侧固定连接于第一壳体的顶部与底部内壁上。
优选的，两个所述蜗杆的底端安装有第二轴承，所述第二轴承的底部固定连接于第一壳体的底部内壁上，所述第一壳体的顶部壳壁上开设有两个滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述第一壳体顶部内壁的中部焊接有伸缩杆，所述伸缩杆的底端焊接于第二壳体上。
优选的，所述第二螺杆的左端转动连接于第二壳体的左侧内壁上，所述第二螺杆的右端穿过第二壳体的右侧壳壁，所述第二螺杆上螺纹套接有两个螺纹环，所述螺纹环的底部通过螺栓连接有刀具，所述第二壳体的底部壳壁上开设有第三槽孔，两个所述刀具的底端穿过第三槽孔，两个所述螺纹环的运动方向相反。
与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过安装电机、转动齿轮、从动齿轮、蜗杆、蜗轮、第一螺杆、活动环、弹簧、第一撑杆、第二撑杆和第二壳体的组合使得装置可以调整刀具的高度，从而方便对配件加工前后进行取放，而第二壳体、第二螺杆、螺纹环和刀具的组合使得装置能够准确的调整刀具的间隔，从而可以加工出不同规格的配件，而转轴、横板和l型板的组合使得装置能够快速的加工出配件。
综上所述，本实用新型通过各种结构的组合使得装置不仅能够对配件的加工以机械取代人工，从而不仅提高工作效率，降低工作人员的负担，且本装置能够方便准确的加工出不同规格的配件，从而提高装置的适用范围，而通过增大该配件的直径，从而可以完全覆盖晶圆加热器的表面，反应的附属物不会沉积到晶圆加热器的表面，延长晶圆加热器的使用寿命，减小成本。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置的正面剖视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置的工作结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置的a处局部结构放大示意图。
图中：1第一壳体、2固定板、3电机、4主动齿轮、5从动齿轮、6蜗杆、7蜗轮、8第一螺杆、9活动环、10第一撑杆、11第二撑杆、12第二壳体、13第二螺杆、14刀具。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，包括第一壳体1，第一壳体1的内部设有固定板2，第一壳体1的底部内壁上通过螺栓连接有电机3，电机3的输出端安装有转轴，转轴上通过螺栓连接有主动齿轮4，主动齿轮4的两侧设有从动齿轮5，且主动齿轮4与从动齿轮5之间啮合传动，从动齿轮5的底部安装有蜗杆6，两个蜗杆6远离电机3的一侧设有蜗轮7，且蜗杆6与蜗轮7之间啮合传动，两个蜗轮7远离蜗杆6的一侧设有第一螺杆8，第一螺杆8上螺纹连接有活动环9，两个活动环9相互靠近一侧的外圈上铰接有第一撑杆10，第一撑杆10的顶端铰接有滑块，滑块的底部铰接有第二撑杆11，第二撑杆11的底端铰接有第二壳体12，第二壳体12的内部设有第二螺杆13，第二螺杆13上活动连接有刀具14。
固定板2的中部壳壁上开设有第一槽孔，转轴的顶端穿过第一槽孔，转轴的顶端安装有横板，横板上螺栓连接有两个l型板，横板上等距开设有两个凹槽组，每个凹槽组包括有五个凹槽，l型板通过螺栓连接于凹槽中，两个蜗轮7上通过螺栓连接有传动轴，两个传动轴的背面一端均转动连接于第一壳体1的背面内壁上，两个第一螺杆8的表面开设有齿痕，蜗轮7与第一螺杆8之间啮合传动，第一螺杆8上套接有弹簧，弹簧的底端焊接于活动环9上，第一槽孔的两侧设有位于固定板2上的第二槽孔，第一螺杆8的顶端穿过第二槽孔，第一螺杆8的两端通过螺栓连接有第一轴承，第一轴承靠近第一壳体1顶部与底部壳壁的一侧固定连接于第一壳体1的顶部与底部内壁上，两个蜗杆6的底端安装有第二轴承，第二轴承的底部固定连接于第一壳体1的底部内壁上，第一壳体1的顶部壳壁上开设有两个滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块，第一壳体1顶部内壁的中部焊接有伸缩杆，伸缩杆的底端焊接于第二壳体12上，第二螺杆13的左端转动连接于第二壳体12的左侧内壁上，第二螺杆13的右端穿过第二壳体12的右侧壳壁，第二螺杆13上螺纹套接有两个螺纹环，螺纹环的底部通过螺栓连接有刀具14，第二壳体12的底部壳壁上开设有第三槽孔，两个刀具14的底端穿过第三槽孔，两个螺纹环的运动方向相反。
本实施例中，首先，通过第一壳体1正面壳壁上的开口，将配件加工的原材料放置于两个l型板之间，通过l型板的螺栓固定，从而将其夹紧固定，通过第二螺杆13的旋转从而带动两个螺纹环进行反向运动，从而调整两个刀具14的间距，启动电机3正转，从而带动转轴进行旋转，转轴的旋转使得主动齿轮4与横板进行旋转，主动齿轮4与从动齿轮5之间啮合传动，从而带动蜗杆6进行旋转，而蜗杆6与蜗轮7之间啮合传动，从而带动蜗轮7进行转动，使得第一螺杆8进行转动，从而使得活动环9上移，压缩弹簧，通过第一撑杆10与第二撑杆11之间的组合，带动第二壳体12下移，拉伸伸缩杆，使得刀具14与配件材料进行接触，随着刀具14的下移与横板的旋转，从而加工出圆形的模拟片配件，当配件加工完成后，启动电机3反转，使得刀具14上移，当刀具14移动到一定距离后，关闭电机3，通过第一壳体1正面的开口将配件及废料清理出来，而配件规格的扩大，能够可以完全盖住晶圆加热器。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
1.一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，包括第一壳体(1)，其特征在于，所述第一壳体(1)的内部设有固定板(2)，所述第一壳体(1)的底部内壁上通过螺栓连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端安装有转轴，所述转轴上通过螺栓连接有主动齿轮(4)，所述主动齿轮(4)的两侧设有从动齿轮(5)，且主动齿轮(4)与从动齿轮(5)之间啮合传动，所述从动齿轮(5)的底部安装有蜗杆(6)，两个所述蜗杆(6)远离电机(3)的一侧设有蜗轮(7)，且蜗杆(6)与蜗轮(7)之间啮合传动，两个所述蜗轮(7)远离蜗杆(6)的一侧设有第一螺杆(8)，所述第一螺杆(8)上螺纹连接有活动环(9)，两个所述活动环(9)相互靠近一侧的外圈上铰接有第一撑杆(10)，所述第一撑杆(10)的顶端铰接有滑块，所述滑块的底部铰接有第二撑杆(11)，所述第二撑杆(11)的底端铰接有第二壳体(12)，所述第二壳体(12)的内部设有第二螺杆(13)，所述第二螺杆(13)上活动连接有刀具(14)。
2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，所述固定板(2)的中部壳壁上开设有第一槽孔，所述转轴的顶端穿过第一槽孔，所述转轴的顶端安装有横板，所述横板上螺栓连接有两个l型板，所述横板上等距开设有两个凹槽组，每个所述凹槽组包括有五个凹槽，所述l型板通过螺栓连接于凹槽中。
3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，两个所述蜗轮(7)上通过螺栓连接有传动轴，两个所述传动轴的背面一端均转动连接于第一壳体(1)的背面内壁上，两个所述第一螺杆(8)的表面开设有齿痕，所述蜗轮(7)与第一螺杆(8)之间啮合传动，所述第一螺杆(8)上套接有弹簧，所述弹簧的底端焊接于活动环(9)上。
4.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，所述第一槽孔的两侧设有位于固定板(2)上的第二槽孔，所述第一螺杆(8)的顶端穿过第二槽孔，所述第一螺杆(8)的两端通过螺栓连接有第一轴承，所述第一轴承靠近第一壳体(1)顶部与底部壳壁的一侧固定连接于第一壳体(1)的顶部与底部内壁上。
5.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，两个所述蜗杆(6)的底端安装有第二轴承，所述第二轴承的底部固定连接于第一壳体(1)的底部内壁上，所述第一壳体(1)的顶部壳壁上开设有两个滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述第一壳体(1)顶部内壁的中部焊接有伸缩杆，所述伸缩杆的底端焊接于第二壳体(12)上。
6.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，所述第二螺杆(13)的左端转动连接于第二壳体(12)的左侧内壁上，所述第二螺杆(13)的右端穿过第二壳体(12)的右侧壳壁，所述第二螺杆(13)上螺纹套接有两个螺纹环，所述螺纹环的底部通过螺栓连接有刀具(14)，所述第二壳体(12)的底部壳壁上开设有第三槽孔，两个所述刀具(14)的底端穿过第三槽孔，两个所述螺纹环的运动方向相反。
技术总结